Вакуумные камеры

В современной промышленности и научно-исследовательской деятельности создание контролируемой среды с пониженным давлением является критически важным условием для реализации многих технологических процессов.

Компания “Интек Аналитика” предлагает высокотехнологичное оборудование, предназначенное для решения широкого спектра задач: от лабораторных исследований до серийного производства. В линейке продукции есть вакуумные камеры, разрабатываемые и изготавливаемые на собственном производстве. Производимые камеры отвечают всем требованиям: материал, чистота обработки поверхности, герметичность, эстетичный внешний вид.

Конструкция

Конструктивно камера представляет собой жёсткий герметичный резервуар объёмом от нескольких кубических сантиметров до нескольких тысяч кубических метров, способный выдерживать разницу давлений между внутренней и внешней средой. Основной материал корпуса – нержавеющая сталь или алюминиевые сплавы. Для визуального контроля процессов используются смотровые окна из стекла, кварца или акрила. Форма камер может быть цилиндрической (вертикальной или горизонтальной), коробчатой, D-образной и даже сферической. Загрузка изделий или образцов в камеру происходит через дверь или шлюз.

Вакуумная камера является частью вакуумной системы, типовая комплектация включает следующие элементы:

• непосредственно вакуумная камера;
• один или несколько вакуумных насосов, обеспечивающих откачку воздуха до заданного давления;
• запорно-регулирующая арматура (затворы, клапаны) для отсечения элементов вакуумной системы друг от друга;
• измерительные приборы (датчики вакуума, вакуумметры) для контроля давления в камере и других элементах вакуумной системы;
• вспомогательные элементы – ловушки, течеискатели, фильтры, глушители и др.

В зависимости от задач, вакуумные камеры могут комплектоваться системами нагрева, криогенными экранами, системами перемещения объекта внутри камеры. Правильно спроектированные и подобранные компоненты гарантируют, что производственный процесс будет проходить стабильно и безопасно.

Сферы использования

Область применения вакуумных обширна. Камеры используются в составе вакуумных технологических установок, испытательных и лабораторных стендов:

• в микроэлектронике, оптике, приборостроении – для нанесения тонкопленочных покрытий, плазменного травления, процессов диффузии, отжига, пайки, сварки;
• в металлургии – для дегазации металлов в процессе выплавки, электронно-лучевого переплава;
• в машиностроении – для электронно-лучевой сварки и термообработки;
• в нефтехимической промышленности – для откачки сопутствующих газов, дегазации полимеров;
• пищевой и деревообрабатывающей промышленности – для сушки продуктов и древесины.

Особенности

При выборе вакуумной камеры следует учитывать множество технологических и эксплуатационных параметров, которые влияют на размер, форму, материал и чистоту обработки внутренней поверхности. Основные из них:

• степень вакуума и время его достижения;
• состав технологической среды (нейтральная, агрессивная, с парами воды, пыли, твёрдыми частицами);
• производительность технологического процесса, проводимого в камере;
• температурный режим технологического процесса;
• наличие внутрикамерной оснастки для проведения технологического процесса.

Опытные сотрудники компании “Интек Аналитика” помогут определиться со всеми требованиями вашего процесса, который должен проходить в вакуумной камере, спроектируют и изготовят как саму камеру, так и установку целиком в полном соответствии с техническим заданием, проведут монтаж и пусконаладочные работы.