Edwards

Компания Edwards основана в 1919 году в Лондоне.

На мировом рынке вакуумного оборудования эта компания представлена широкой гаммой высоковакуумных и механических форвакуумных насосов, вакуумметрической аппаратурой и откачными станциями. Среди вакуумных насосов, поставляемых Edwards ряд изделий, по своим параметрам, существенно превосходит аналогичные образцы других компаний. Среди них турбомолекулярные насосы с ротором на магнитном подвесе серии STP, форвакуумные насосы серий XDS и nXDS, комбинированные когтевые насосы GXS.

Турбомолекулярные насосы STP с магнитным подвесом ротора представлены линейкой состоящей из более 10 насосов с быстротой действия от 300 до 4300 л/с и предельным разрежением до 10^-10 мбар. Эти насосы имеют ряд модификаций, которые ориентированы как на откачку с повышенной быстротой действия, так и на достижение предельно низкого давления. Ряд насосов выполнен в химически стойком исполнении, что позволяет производить откачку химически агрессивных газов.

Уникальность этой серии насосов состоит в том, что их ротор не имеет традиционных подшипников, а следовательно и смазки. Это делает такие насосы абсолютно «сухими». Наличие магнитного подвеса ротора практически исключает вибрации насоса при работе. Кроме того, отсутствие подверженных износу подшипников, существенно увеличивает ресурс работы насоса, а также упрощает их обслуживание. Эти насосы незаменимы для современного технологического и аналитического оборудования. Не случайно с 1983 года промышленностью закуплено более 100 тысяч таких насосов, из которых более 85 % работает в современной полупроводниковой промышленности.

Другое техническое достижение компании - выпуск линейки форвакуумных спиральных насосов серий XDS и nXDS, обеспечивающих «безмасляную откачку» до 7х10^-3 мбар с быстротой действия от 1,7 до 26,4 л/с. Основное отличие этих насосов, от присутствующих на рынке аналогов, заключается в герметичном разделении, с помощью сильфонного ввода, рабочей камеры и приводной части насоса. Эта конструкция вакуумного ввода запатентована компанией Edwards. Благодаря такой конструкции рассматриваемые спиральные вакуумные насосы, сохраняя положительные качества насосов данного типа, обладают рядом преимуществ при реализации вакуумных технологических процессов, связанных с недопущением проникновения откачиваемых газов в атмосферу, а также необходимостью утилизации этих газов. Они позволяют:

Обеспечить откачку и утилизацию редких, химически агрессивных и радиоактивных газов без их проникновения в окружающую среду, их потерь и нарушения экологии;
Исключить разбавление технологических газов атмосферными газами, что упрощает процесс их последующей очистки;
Предотвратить поступление в вакуумную систему паров масла из подшипников, и тем самым обеспечить «сухую» (безмасляную) откачку;
Устранить воздействие вакуума и откачиваемых агрессивных газов на подшипники и электродвигатель привода, тем самым увеличивая ресурс работы насоса;
При откачке радиоактивных газов исключить их попадание в смазку, что упрощает процесс замены ее и подшипников.

Регулируемое газобалластное устройство обеспечивает откачку конденсирующихся паров и расширяет технологические возможности насосов.

Компанией Edwards созданы также две модификации спиральных вакуумных насосов с индексом «C» и «R». Первая модификация предназначена для откачки химически агрессивных веществ. Использование насосов второго типа позволяет проводить перекачку редких газов с целью их повторного применения.

Концентрируя внимание на наиболее востребуемых промышленностью образцах вакуумной техники, компанией разработан механический насос, в котором реализованы винтовой способ откачки. Этот тип насосов представлен линейкой GXS. Линейка состоит из 10 насосов различных модификаций с диапазоном скоростей откачки от 44 до 958 л/с. Предельный вакуум этих насосов достигает 1х10^-3 мбар.

Высокая надежность насоса позволяет ему сохранять работоспособность при откачке систем с повышенным газовыделением и источниками пыли. По сведениям сервисных инженеров, такие насосы уверенно работают даже при скоплении в рабочем объеме до 750 г пыли. Низкая потребляемая мощность по сравнению с аналогичными насосами, панель управления на корпусе и возможность дистанционного управления, пониженный шум, а также 5-и летний интервал сервисного обслуживания снижают эксплуатационные затраты на обслуживание этих насосов.