НОВОСТИ

Декстер, штат Мичиган, 5 марта 2015 г. – k-Space Associates Inc. была удостоена гранта Программы инновационных исследований для малого бизнеса (SBIR) первой фазы для разработки прибора на основе атомно-абсорбционной спектроскопии (ААС). После того, как ААС устройство будет готово к использованию, оно позволит осуществлять in-situ измерения плотности потока отдельных частиц, таких как кремний, алюминий и силициды. Это обеспечит прецизионный контроль скорости осаждения в течение длительного времени в процессе производства пленок высокого качества.
Целью SBIR первой фазы будет развитие надежного неинтрузивного ААС устройства мониторинга многосоставного потока в процессе роста пленок с очень низким долговременным дрейфом, с высокой селективностью материала и чувствительностью, с быстрым временем отклика и широким диапазоном рабочих давлений, способным охватить как ультравысокий вакуум, так и процессы распыления. Благодаря высокой чувствительности и долговременной точности при непрерывной работе, такой прибор найдет незамедлительное применение в производстве многослойных Лауэ-линз, а также других различных тонкопленочных изделий, включая лазеры, фотоэлектрические элементы, светодиоды и др.
Ожидается, что после успешной разработки, предлагаемый инструмент станет стандартным прибором как для научно-исследовательских работ,  так и для производства тонкопленочных устройств.