EXT75DX; EXT556H – серия гибридных турбомолекулярных насосов, объединяющих в себе передовые технические решения. В насосах удачно использованы магнитные и керамические подшипники, а также молекулярный насос Хольвека, установленный на одной оси с ротором турбомолекулярного насоса. В качестве опор используется нижний керамический и верхний магнитный подшипники. Наличие патрубка для установки автоматического клапана напуска газа в насос при его запуске и остановки позволяет исключить поступление паров смазки из нижнего подшипника в откачиваемый объем. В состав насоса входит встроенный контроллер, который совместим с TAG и TIC контроллерами.

Таким образом, можно индивидуально укомплектовать турбомолекулярный насос под конкретную вакуумную систему необходимыми аксессуарами и сопутствующим товарами. Производитель, так же еще производит готовые к работе комплекты турбомолекулярных насосов с контроллером и форвакуумных насосов. Комплект, смонтированный на станине и поставляется, как позиция Вакуумный откачной пост. Откачной пост T-Station укомплектованный форвакуумным насосом XDD1 или E2M1.5 является стандартным готовым решением, там где требуется небольшая скорость откачки и низкая цена. Откачной пост nEXPT имеет самое большое количество готовых вариаций комплектации насосов и аксессуаров.

*Без экрана на входном фланце.
**Фланец СF
*** Насосы EXT556H сняты с производства. На замену им рекомендуются турбомолекулярные насосы STP603, STPA803, nEXT400 или STP-iX455

Пример подключения турбомолекулярного насоса nEXT240D к турбо-измерительному контроллеру TIC

Контролер турбо измерительный TIC автоматически распознает подключенное к нему оборудование в приведенной в таблице ниже. Форвакуумный насос nXDS10i уже не требует подключения через блок релей, т.к. его управление происходит уже через логический интерфейсный кабель. Такое комплексное решение позволяет сэкономить и облегчить работу пользователя. Для корректной работы оборудования в такой новой конфигурации пользователь может сам обновить ПО в контроллере.