Турбомолекулярные насосы серии EXT

EXT75DX; EXT556H – серия гибридных турбомолекулярных насосов, объединяющих в себе передовые технические решения. В насосах удачно использованы магнитные и керамические подшипники, а также молекулярный насос Хольвека, установленный на одной оси с ротором турбомолекулярного насоса. В качестве опор используется нижний керамический и верхний магнитный подшипники. Наличие патрубка для установки автоматического клапана напуска газа в насос при его запуске и остановки позволяет исключить поступление паров смазки из нижнего подшипника в откачиваемый объем. В состав насоса входит встроенный контроллер, который совместим с TAG и TIC контроллерами.

 
ТЕХНИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ EXT75DX EXT556H
Входной фланецISO-K100ISO-K63CF-63ISO-K40ISO-K160/CF160
Скорость откачки, л/с:
* N2
He
H2
Ar
61
57
53
66
59
54
61
57
53
42
49
48

540
580
500
510
Предельное остаточное давление с насосом:
пластинчато –роторным, Па;
диафрагменным, Па

5х10-7
5х10-6

5х10-8
5х10-7

5х10-7
5х10-6
<10-8 *
Коэффициент компрессии:
N2
He
H2
Ar
<1011
1x106
5x104

<1010
108
106
>1010
Выходной фланецISO-K16
Рекомендуемый форвакуумный насосЕ2М0.7/ RV5/nXDS5iRV12/nXDS5i
Наибольшее рабочее давление, Па:
с водяным охлаждением,
с воздушным охлаждением

2
1

1х10-1
5х10-2
Номинальная скорость вращения, об/мин 9000050000
Скорость вращения в холостом режиме49500 - 90000
Время выхода на 90 % от номинальной скорости, минуты26,5
Максимальная температура входного фланца, оС10080
Уровень шума на расстоянии 1 м, дБА<50<60
Потребляемая мощность, Вт120290
Скорость откачки промежуточного входа по азоту (Hi версия) л/с10
Вес, кг3,04,92,913,4/21,2

*Без экрана на входном фланце.
**Фланец СF



Пример подключения турбомолекулярного насоса nEXT240D к турбо-измерительному контроллеру TIC

Контролер турбо измерительный TIC автоматически распознает подключенное к нему оборудование в приведенной в таблице ниже. Форвакуумный насос nXDS10i уже не требует подключения через блок релей, т.к. его управление происходит уже через логический интерфейсный кабель. Такое комплексное решение позволяет сэкономить и облегчить работу пользователя. Для корректной работы оборудования в такой новой конфигурации пользователь может сам обновить ПО в контроллере.

AD39721000TIC turbo/inst cont 100 W RS232Контроллер турбо измерительный TIC Turbo & Instrument Controller, 100 W RS232
BD40013030Linecord 2M North Euro PlugКабель сетевой Linecord 2M North Euro Plug
CD39711805TIC relay box small backingБлок релей TIC relay box small backing
DD02372000APGX-M-NW25 STST ДатчикДатчик Пирани APGX-M-NW25 STST
ED04850000AIGX-S-NW25 ДатчикДатчик ионизационный AIGX-S-NW25
FD04850000WRG-S-NW25 ДатчикДатчик широкодиапазонный WRG-S-NW25
GA65201903RV3 pump 1-phase Насос роторно-пластинчатый RV3 1-ф.
HB72241000 EXT75DX ISO63 Насос турбомолекулярный EXT75DX ISO63
JB58052060 BX70 heater band 240 V 60 W (*) Обод прогрева BX70 240 В 60 Вт (*)
KB58066010 TAV5 vent valve Клапан напуска TAV5 vent valve
LB58053075 ACX75 air-cooler Блок воздушного охлаждения ACX75 air-cooler
MD39700833 TIC logic interface cable 2 m Кабель логического интерфейса TIC 2 м
ND39700831 TIC mains cable IEC320 M/F 2 m Сетевой кабель питания TIC mains cable IEC320
PD39700833 TIC logic interface cable 2 m Кабель логического интерфейса TIC 2 м
QD39700836 XDD/DX/EXDC extension cable 2 m (optional) Кабель удлинитель XDD/DX/EXDC 2 м (опционально)
RD39700834 TIC RS232 interface cable 2 m (optional) Кабель интерфейсный TIC RS232 2 м (опционально)
SD40001020 2 m active gauge cable Кабель датчик-котроллер 2 м
T---PC with RS232 interface (optiona)Персональный компьютер с портом интерфейса RS232 (опционально)
(*)For use with water cooled pumps only.Только при использовании блока водяного охлаждения

Пересчитать
x