Аксессуары к турбомолекулярным насосам серии EXT и nEXT


Наименование аксеcсуаров АртикулМодель насосаОписание
Клапан напуска TAV5 Vent Valve 24V DC 1/8 BspB58066010
EXT75DX, nEXT240, nEXT300, nEXT400Предназначен для технологического напуска атмосферы или сухого азота в насос и поддержания чистоты вакуумного объема. Клапан нормально открыты и имеет электромагнитный привод. Подключается к контролеру TIC Диаметр диафрагмы 0.5 мм.
Клапан напуска TAV6 Vent Valve 24V DC 1/8 BspB58066020
EXT75DX, nEXT240, nEXT300, nEXT400Предназначен для технологического напуска атмосферы или сухого азота в насос и поддержания чистоты вакуумного объема. Клапан нормально открыты и имеет электромагнитный привод. Диаметр диафрагмы 1.0 мм. Применяется в случае если суммарный объем напуска насоса и камеры более 10л.
Блок водяного охлаждения Water Cooling Block Assy EXT75DXB73600121
EXT75DXПредназначен для дополнительного водяного (жидкостного) охлаждения насоса в случае эксплуатации насоса с большой газовой нагрузке или ограниченным или недостаточным воздушным охлаждением.
Блок водяного охлаждения Water cooling accessory - nEXTB80000815
nEXT240D, nEXT300D, nEXT400DПредназначен для дополнительного водяного (жидкостного) охлаждения насоса в случае эксплуатации насоса с большой газовой нагрузке или ограниченным или недостаточным конвекционным воздушным охлаждением.
Блок воздушного охлаждения ACX75 Air CoolerB58053075
EXT75DXПредназначен для дополнительного воздушного охлаждения насоса в случае эксплуатации насоса со средней газовой нагрузкой или ограниченным или недостаточным конвекционным воздушным охлаждением.
Блок воздушного охлаждения ACX nEXT RADIAL KIT 24 V STD B58053175
nEXT240D, nEXT300D, nEXT400DПредназначен для дополнительного воздушного охлаждения насоса в случае эксплуатации насоса со средней газовой нагрузкой или ограниченным или недостаточным конвекционным воздушным охлаждением. Подключается к TIC контроллеру или другому источнику питания.
Блок воздушного охлаждения ACX nEXT AXIAL KIT 24 V STDB58053185
nEXT240D, nEXT300D, nEXT400DПредназначен для дополнительного воздушного охлаждения насоса в случае эксплуатации насоса со средней газовой нагрузкой или ограниченным или недостаточным конвекционным воздушным охлаждением. Подключается к TIC контроллеру или другому источнику питания.
Дроссель продувки PRX10 (PRX10 Purge Restrictor)B58065001
EXT75DX, nEXT240D, nEXT300D, nEXT400DПредназначен для продувки малым потоком (N2) ротора и подшипника насоса. Для подключения требуется адаптер № B58066011
Адаптер порта продувки EXT Vent Port Adapter NW10 - 1/8” BSP папаB58066011
EXT75DX, nEXT240D, nEXT300D, nEXT400DПредназначен для подключения трубопровода продувки к насосу
Кабель интерфейсный насоса nEXTB80000808
nEXT240D, nEXT300D, nEXT400DКабель интерфейсный для насоса nEXT предназначен для подключения насоса nEXT к порту ПК (9 pin female D-type) по последовательному интерфейсу (с 3 разъемами)
Сетка на входной фланец
ISO100 coarse inlet-screen nEXT240/300
ISO100 fine inlet-screen nEXT240/300
ISO160 coarse inlet-screen nEXT400
ISO160 fine inlet-screen nEXT400
B81000808
B81000809
B80000825
B80000826
nEXTСетка на входной фланец предназначена для защиты от контакта и попадания в насос инородных предметов в насос
Сетка на входной фланец
CF100 coarse inlet-screen nEXT240/300
CF100 fine inlet-screen nEXT240/300
CF160 coarse inlet-screen nEXT400
CF160 fine inlet-screen nEXT400
B80000821
B80000822
B80000823
B80000824
nEXTСетка на входной фланец предназначена для защиты от контакта и попадания в насос инородных предметов в насос
Обод для прогрева BX70 Bakeout Band 240V 50/60HzB58052060
EXT75DXПредназначен для прогрева (обезгаживания) входного CF фланца EXT75DX насоса и подключается к TIC Relay Box
Обод для прогрева:
BX250 Bakeout Band 240V 50/60Hz (nEXT240)
BX300 Bakeout Band 240V 50/60Hz (nEXT300)
BX450 Bakeout Band 240V 50/60Hz (nEXT400)
B58052061
B58052068
B58052063
nEXT (CF)Предназначен для прогрева (обезгаживания) входного CF фланца nEXT насоса и подключается к TIC Relay Box

Пример установки аксессуаров для турбомолекулярных насосов серии EXT


1. Виброизолятор
2. Уплотнение входного фланца *
3. Сетка на входной фланец *
4. Наос турбомолекулярный EXT75iDX
5. Клапан напуска (электромагнитный привод)
6. Дроссель напуска
7. Адаптер порта напуска
8. Клапана напуска c ручным приводом
9. Дроссель продувки
10. Заглушка продувочного порта
11. Фильтр входного фланца Interstage **
12. Входной фланец Interstage **
13. Блок электроники
14. Блок водного охлаждения
15. Блок воздушного охлаждения
16. Обод прогрева BX 70
17. Разъем для подключения к блоку электроники (при необходимости)*

* поставляется с насосам серии EXT (подробности указаны в руководстве по эксплуатации).

** поставляется только с насосами с опцией ‘i’ серии EXT (подробности указаны в руководстве по эксплуатации).


Пример установки аксессуаров для турбомолекулярных насосов серии nEXT №1








1. Адаптер порта напуска DN10NW - 1/8” BSP папа
2. Дроссель напуска VRX
3. Клапана напуска c ручным приводом (входит в базовую комплектацию насоса)
4. Клапан напуска TAV
5. Заглушка порта продувки (входит в базовую комплектацию насоса)
6. Дроссель продувки PRX
7. Адаптер порта продувки DN10NW
8. Блок воздушного охлаждения ACX nEXT air cooler (Radial)
9. Блок воздушного охлаждения ACX nEXT ait cooler (Axial)








Пример установки аксессуаров для турбомолекулярных насосов серии nEXT №2










1. Обод прогрева BX 250 (для установки на горловину фланца DN100CF)
2. Обод прогрева BX 250 (уже установленный на насос)
3. Блок водяного охлаждения WCX



Пересчитать
x