Каталог вакуумного оборудования

Турбомолекулярные насосы серии nEXT

nEXT55, nEXT85, nEXT240, nEXT300, nEXT400, nEXT730, nEXT930, nEXT1230 – серия компактных гибридных турбомолекулярных насосов с высокой производительностью и коэффициентом компрессии для легких газов. Она пришла на смену моделям серии EXT со скоростью откачки в диапазоне от 60 до 400 л/с. Теперь новая серия наосов nEXT имеет более расширенный диапазон скоростей откачки от 55 до 925 л/с, что покрывает потребности большего количества технологических процессов. Отличительной особенностью насосов серии nEXT является возможность оперативной замены пользователем нижнего шарикоподшипника и картриджа со смазкой. Верхний безмасляный магнитный подшипник не требует замены. Комбинация верхнего магнитного подшипника и большого коэффициента компрессии дает возможность использовать данные насосы в чувствительных к углеводородам спектрометрах т.к. насос обладает хорошим RGA спектром.

Модели насосов nEXT55 и nEXT85 – самые компактные модели серии с уменьшенной высотой и улучшенной производительностью: по сравнению насосами аналогичных размеров скорость откачки выше практически в два раза. Модели насосов nEXT240, nEXT300 и nEXT400 являются давно проверенными и хорошо зарекомендовавшими себя на рынке турбомолекулярными насосами для научно-исследовательских приложений. Разработанные на основе симбиоза надежных технологий насосов EXT и STP эти модели расширяют выбор и гибкость для производителей оборудования и конечных пользователей для адаптации наиболее подходящего вакуумного решения к индивидуальным потребностям.

Модели насосов последнего поколения nEXT730, nEXT930 и nEXT1230 получили новую конструкцию системы подшипников, позволяющую устанавливать насос в любом положении, и USB интерфейсный порт. Помимо научно-исследовательских приложений, в которых требуется более высокая скорость откачки, эти модели предназначены для ряда промышленных процессов, таких как термообработка, нанесение покрытий и травление, ионно-лучевая сварка, ионная имплантация, процессы в вакуумных печах, дегазация и вакуумирование баллонов для чистых газов.

Наличие встроенного в насос контроллера позволяет оптимизировать работу турбомолекулярного насоса и дает возможность снижения энергопотребления и увеличения срока службы оборудования. Встроенный контроллер с интегрированным блоком питания и интерфейсом программирования и автоматизации позволяет применять насос в качестве комплектующих в OEM вакуумных системах производителей оборудования. Насосу серии nEXT для старта в ОЕМ системах, достаточно простое подключение насоса к источнику питания 24 В или 48 В (постоянного тока) мощностью более 200 Вт (рекомендованное напряжение и мощность блока питания зависит от модели насоса), что существенно снижает стоимость системы. Существующая OEM система автоматизации установки, может использовать параллельный и последовательный интерфейс для управления и мониторинга статуса насоса. При использовании насоса серии nEXT в простых откачных системах без мощной системы автоматизации его можно просто подключить к стандартному контроллеру TIC TURBO или к расширенному TIC TURBO & INSTRUMENT. Для бюджетных решений разработан специально упрощенный контроллер TAG. Все насосы серии nEXT имеют один и тот же интерфейс для контроля и мониторинга и полностью совместимы с программным обеспечением Edwards Support PC для мониторинга, настройки и управления, что упрощает интеграцию в любую новую или существующую вакуумную систему. В помощь простому пользователю ниже будет приведен раздел с иллюстрацией “Пример подключения турбомолекулярного насоса nEXT240D к турбо-измерительному контроллеру TIC”. Данная серия насосов nEXT имеет ограниченный модельный ряд по скорости откачки. Если Вам требуется насос co скоростью откачки больше чем 1250 л/с то в этом случаем мы можем предложить турбомолекулярные насосы с полностью магнитным подвесом ротора серии STP со скоростью откачки 300-4300 л/с.

Выпускаются три основные модели насосов серии nEXT:

  • Duplex «D» – стандартная версия гибридных турбомолекулярных насосов, в корпусе которых имеется турбомолекулярная (Turbo) и молекулярная (Drug) ступени откачки. В насосе применяется молекулярная ступень Сикхбана - Холвека (Siegbahn – Holweck Stage). Преимущество насосов версии D обеспечивает большую величину компрессии, включая и легкие газы, существенно больше допустимое давление на выходном фланце и большую величину максимально допустимого откачиваемого газового потока.

    Low vibration - насосы с дополнительным индексом “L” серии nEXT xxx DL с низким уровнем вибрации и сниженным уровнем магнитных полей Доступны только модели nEXT240DL, nEXT300DL nEXT400DL. Насосы специально спроектированы аналитического оборудования и имеют области применения, такие как РЭМ (Растровый электронный микроскоп, Scanning Electron Microscope, SEM), ПЭМ (Просвечивающий (трансмиссионный) электронный микроскоп, Transmission Electron Microscopy, TEM). Эти насосы отличаются от стандартных тем, что они устанавливаются только вертикально вверх входным фланцем и после замены подшипника требуют высокоскоростную балансировку на заводе, чтобы сохранить сниженный уровень вибраций. Эти насосы значительно дешевле, чем насос c магнитным подвесом ротора STP-iX455.
  • High Compression «H» – версия гибридных турбомолекулярных насосов nEXT85H, nEXT1230H с высокой компрессией для приложений требующий хорошую откачку легких газов и RGA спектр.
  • Triplex «T» – версия гибридных турбомолекулярных насосов, которые помимо турбомолекулярной (Turbo) и молекулярной (Drug) ступеней откачки оснащены также регенеративной (Regenerative) ступенью откачки, которая необходима для работы насоса в бустерном режиме. Преимущества T версии насоса, те же и еще больше по значению чем у D версии насоса;


Устройство турбомолекулярного насоса серии nEXT

  1. Несколько вязкостных ступеней обеспечивает высокую компрессию и большее допустимое выпускное давление
  2. Безсенсорный двигатель для высокой эффективности и компактности со сниженным уровнем паразитных магнитный полей.
  3. Запатентованная подшипниковая система подвеса ротора сводит к минимуму шум и вибрацию передаваемую вакуумной системе.
  4. Сменный картридж с маслом для быстрого промежуточного сервисного обслуживания пользователем.
  5. Опциональная регенеративная ступень с "Boost" портом для сокращения числа насосов в дифференциально-откачной системе и обеспечения максимальной рационализации системы.
  6. Верхний (магнитный) подшипник с постоянным магнитом для безуглеводородного вакуума и снижения вибраций и минимального износа.

 

* Для заказа доступны версии iD и iH с промежуточным откачным портом

*с форвакуумным насосом RV

ТЕХНИЧЕСКИЕ
ПАРАМЕТРЫ
nEXT55nEXT85D*nEXT85H*
Входной фланецISO63-K / CF63
NW40 и ISO100-K по запросу
NW40 / ISO63-K / CF63 / ISO100-K
Выходной фланецNW16
Промежуточный входной фланецISOKF16
Скорость откачки, л/с:
* N2
Ar
He
H2

55
55
41
27

47 / 84 / 84 / 86
44 / 80 / 80 / 84
61 / 78 / 78 / 80
49 / 60 / 60 / 60
график

47 / 84 / 84 / 86
44 / 80 / 80 / 84
61 / 78 / 78 / 78
44 / 54 / 54 /54
график
Коэффициент компрессии:
N2 / Ar
He
H2

>1011
8x106
2x105

>1011
6,9x105
2,9x104

>1011
2x107
5x105
Скорость откачки
промежуточного
входного фланца
6
9
10
Предельное остаточное давление, мбар* (ISO/CF)10-7<5х10-9/<5х10-10
Максимальное давление на выходе, Па:
N2
He
H2

19x102
19x102
30x102

21x102
21x102
30x102
Рекомендуемый форвакуумный насосnXDS6inXDS6i
nXDS15i
Cпособ охлажденияВоздух/вода
Максимальная температура входного фланца, оС115 (воздушное охлаждение)
120 (водяное охлаждение)
Скорость вращения в холостом режиме, об/мин90 00049 500-90 000
Номинальная скорость вращения, об/мин90 000
Время разгона до 90 % номинальной скорости, с90 (при 120 Вт)
Уровень шума на расстоянии 1 м, дБА34
Мощность двигателя, Вт120 (max)
Вес, кг (ISO/CF)2,47
3,5
2,9 / 3,0 / 4,4 / 3,2
Габаритные размерычертёжчертёж
ТЕХНИЧЕСКИЕ
ПАРАМЕТРЫ
nEXT240DnEXT240TnEXT300DnEXT300TnEXT400DnEXT400T
Входной фланецCF100ISOK100-K / CF100ISOK160-K / CF160
Выходной фланецNW25
Промежуточный входной фланецNW25
Скорость откачки, л/с:
* N2
Ar
He
H2

240
230
230
165
график

300
280
340
280
график

400
380
390
325
график
Коэффициент компрессии:
N2 / Ar
He
H2

1011
3x105
104

1011
106
1,5x104

1011
1x106
5x104

1011
3x106
105

1011
108
5x105

1011
108
106
Скорость откачки
промежуточного
входного фланца
13
13
11
Предельное остаточное давление, мбар* (ISO/CF)6х10-8*/5х10-10*5х10-86х10-8*/5х10-10*5х10-81х10-8*/1х10-10*1х10-8
Максимальное давление на выходе, Па:
N2
He
H2

9,5x102
7x102
2,5x102

20x102
8,5x102
3x102

9,5x102
7x102
2,5x102

20x102
8,5x102
3x102

103
8,6x102
3x102

2x102
8,5x102
3x102
Рекомендуемый форвакуумный насосRV12/nXDS10i
Cпособ охлажденияВоздух/вода
Максимальная температура входного фланца, оС115 (воздушное охлаждение)
120 (водяное охлаждение)
Скорость вращения в холостом режиме, об/мин33 000-60 000
Номинальная скорость вращения, об/мин60 000
Время разгона до 90 % номинальной скорости, с115150145190180210
Уровень шума на расстоянии 1 м, дБА45
Мощность двигателя, Вт200
Вес, кг (ISO/CF)5,7
8,8
6
9,1
5,7
8,5
6
8,8
6,5
9,5
6,8
9,8
Габаритные размерычертёжчертёжчертёж
ТЕХНИЧЕСКИЕ
ПАРАМЕТРЫ
nEXT730DnEXT930DnEXT1230H
Входной фланецISO160-K / CF160ISO200-K / CF200ISO200-K / ISO200-F / CF200
Выходной фланецNW25NW40
Порт продувкиNW40
Скорость откачки, л/с:
* N2
Ar
He
H2

730
665
820
715

925
865
905
735

1250
1150
1350
1150
Коэффициент компрессии:
N2
Ar
He
H2

>1011
>1011
1,2x108
4x106

1x1011
1x1011
4x108
1x107
Предельное остаточное давление, мбар* (ISO/CF)3,5х10-9 / 6х10-105х10-9 / 5х10-10
Способ охлажденияконвекция (воздушное и водяное опционально)водяное (воздушное опционально)
Максимальная температура входного фланца, оС100 (для СF фланца)
Рекомендуемый форвакуумный насосXDS35i, E2M28
Номинальная скорость вращения, об/мин49 20042 000
Время разгона до 90 % номинальной скорости, с150180
Уровень шума на расстоянии 1 м, дБА52
Мощность двигателя, Вт400500
Вес, кг (ISO/CF)14,6
19,6
15,4
21,7
23,7 ISO-K / 24,9 ISO-F
32,6
Габаритные размерычертёжчертёжчертёж

Пример подключения турбомолекулярного насоса nEXT240D к турбо-измерительному контроллеру TIC

Контролер турбо измерительный TIC автоматически распознает подключенное к нему оборудование в приведенной в таблице ниже. Форвакуумный насос nXDS10i уже не требует подключения через блок релей, т.к. его управление происходит уже через логический интерфейсный кабель. Такое комплексное решение позволяет сэкономить и облегчить работу пользователя. Для корректной работы оборудования в такой новой конфигурации пользователь может сам обновить ПО в контроллере.

AD39722000Контроллер турбо измерительный TIC Turbo & Instrument Controller, 200 W RS232
BD40013030Кабель сетевой Linecord 2M North Euro Plug
CD14701000Датчик широкодиапазонный WRG-S NW25
DA74602991Насос диафрагменный XDD1 24Vdc
A73601983Насос спиральный nXDS10i
EB8G210B01Насос турбомолекулярный nEXT85D ISO63
B81200100Насос турбомолекулярный nEXT240D DN100ISO
FB8G200820Блок воздушного охлаждения nEXT85 Air cooler kit - wired
B58053175Блок воздушного охлаждения ACX nEXT RADIAL KIT 24 V STD
GD39500835Кабель удлинитель XDD/DX/EXDC extension cable 1m
HD39700836Кабель удлинитель XDD/DX/EXDC extension cable 2m (опционально)
JD40001020Кабель датчик-котроллер 2м.

*с форвакуумным насосом RV

Производитель турбомлекулярных насосов серии nEXT, так же производит на их базе типовые вакуумные откачные посты, они не требуют сборки и сразу готовы к работе. Откачной пост можно укомплектовать необходимой комбинацией турбомолекулярного насоса, контроллера и форвакуумного насоса.

Пересчитать
x