nEXT55, nEXT85, nEXT240, nEXT300, nEXT400, nEXT730, nEXT930, nEXT1230 – серия компактных гибридных турбомолекулярных насосов с высокой производительностью и коэффициентом компрессии для легких газов. Она пришла на смену моделям серии EXT со скоростью откачки в диапазоне от 60 до 400 л/с. Теперь новая серия наосов nEXT имеет более расширенный диапазон скоростей откачки от 55 до 925 л/с, что покрывает потребности большего количества технологических процессов. Отличительной особенностью насосов серии nEXT является возможность оперативной замены пользователем нижнего шарикоподшипника и картриджа со смазкой. Верхний безмасляный магнитный подшипник не требует замены. Комбинация верхнего магнитного подшипника и большого коэффициента компрессии дает возможность использовать данные насосы в чувствительных к углеводородам спектрометрах т.к. насос обладает хорошим RGA спектром.

Модели насосов nEXT55 и nEXT85 – самые компактные модели серии с уменьшенной высотой и улучшенной производительностью: по сравнению насосами аналогичных размеров скорость откачки выше практически в два раза. Модели насосов nEXT240, nEXT300 и nEXT400 являются давно проверенными и хорошо зарекомендовавшими себя на рынке турбомолекулярными насосами для научно-исследовательских приложений. Разработанные на основе симбиоза надежных технологий насосов EXT и STP эти модели расширяют выбор и гибкость для производителей оборудования и конечных пользователей для адаптации наиболее подходящего вакуумного решения к индивидуальным потребностям.

Модели насосов последнего поколения nEXT730, nEXT930 и nEXT1230 получили новую конструкцию системы подшипников, позволяющую устанавливать насос в любом положении, и USB интерфейсный порт. Помимо научно-исследовательских приложений, в которых требуется более высокая скорость откачки, эти модели предназначены для ряда промышленных процессов, таких как термообработка, нанесение покрытий и травление, ионно-лучевая сварка, ионная имплантация, процессы в вакуумных печах, дегазация и вакуумирование баллонов для чистых газов.

Наличие встроенного в насос контроллера позволяет оптимизировать работу турбомолекулярного насоса и дает возможность снижения энергопотребления и увеличения срока службы оборудования. Встроенный контроллер с интегрированным блоком питания и интерфейсом программирования и автоматизации позволяет применять насос в качестве комплектующих в OEM вакуумных системах производителей оборудования. Насосу серии nEXT для старта в ОЕМ системах, достаточно простое подключение насоса к источнику питания 24 В или 48 В (постоянного тока) мощностью более 200 Вт (рекомендованное напряжение и мощность блока питания зависит от модели насоса), что существенно снижает стоимость системы. Существующая OEM система автоматизации установки, может использовать параллельный и последовательный интерфейс для управления и мониторинга статуса насоса. При использовании насоса серии nEXT в простых откачных системах без мощной системы автоматизации его можно просто подключить к стандартному контроллеру TIC TURBO или к расширенному TIC TURBO & INSTRUMENT. Для бюджетных решений разработан специально упрощенный контроллер TAG. Все насосы серии nEXT имеют один и тот же интерфейс для контроля и мониторинга и полностью совместимы с программным обеспечением Edwards Support PC для мониторинга, настройки и управления, что упрощает интеграцию в любую новую или существующую вакуумную систему. В помощь простому пользователю ниже будет приведен раздел с иллюстрацией “Пример подключения турбомолекулярного насоса nEXT240D к турбо-измерительному контроллеру TIC”. Данная серия насосов nEXT имеет ограниченный модельный ряд по скорости откачки. Если Вам требуется насос co скоростью откачки больше чем 1250 л/с то в этом случаем мы можем предложить турбомолекулярные насосы с полностью магнитным подвесом ротора серии STP со скоростью откачки 300-4300 л/с.

Выпускаются три основные модели насосов серии nEXT:

• Duplex «D» – стандартная версия гибридных турбомолекулярных насосов, в корпусе которых имеется турбомолекулярная (Turbo) и молекулярная (Drug) ступени откачки. В насосе применяется молекулярная ступень Сикхбана - Холвека (Siegbahn – Holweck Stage). Преимущество насосов версии D обеспечивает большую величину компрессии, включая и легкие газы, существенно больше допустимое давление на выходном фланце и большую величину максимально допустимого откачиваемого газового потока.
  
  Low vibration - насосы с дополнительным индексом “L” серии nEXT xxx DL с низким уровнем вибрации и сниженным уровнем магнитных полей Доступны только модели nEXT240DL, nEXT300DL nEXT400DL. Насосы специально спроектированы аналитического оборудования и имеют области применения, такие как РЭМ (Растровый электронный микроскоп, Scanning Electron Microscope, SEM), ПЭМ (Просвечивающий (трансмиссионный) электронный микроскоп, Transmission Electron Microscopy, TEM). Эти насосы отличаются от стандартных тем, что они устанавливаются только вертикально вверх входным фланцем и после замены подшипника требуют высокоскоростную балансировку на заводе, чтобы сохранить сниженный уровень вибраций. Эти насосы значительно дешевле, чем насос c магнитным подвесом ротора STP-iX455.
• High Compression «H» – версия гибридных турбомолекулярных насосов nEXT85H, nEXT1230H с высокой компрессией для приложений требующий хорошую откачку легких газов и RGA спектр.
• Triplex «T» – версия гибридных турбомолекулярных насосов, которые помимо турбомолекулярной (Turbo) и молекулярной (Drug) ступеней откачки оснащены также регенеративной (Regenerative) ступенью откачки, которая необходима для работы насоса в бустерном режиме. Преимущества T версии насоса, те же и еще больше по значению чем у D версии насоса;

Устройство турбомолекулярного насоса серии nEXT

1. Несколько вязкостных ступеней обеспечивает высокую компрессию и большее допустимое выпускное давление
2. Безсенсорный двигатель для высокой эффективности и компактности со сниженным уровнем паразитных магнитный полей.
3. Запатентованная подшипниковая система подвеса ротора сводит к минимуму шум и вибрацию передаваемую вакуумной системе.
4. Сменный картридж с маслом для быстрого промежуточного сервисного обслуживания пользователем.
5. Опциональная регенеративная ступень с "Boost" портом для сокращения числа насосов в дифференциально-откачной системе и обеспечения максимальной рационализации системы.
6. Верхний (магнитный) подшипник с постоянным магнитом для безуглеводородного вакуума и снижения вибраций и минимального износа.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ	nEXT240D	nEXT240T	nEXT300D	nEXT300T	nEXT400D	nEXT400T
Входной фланец	CF100	ISOK100-K / CF100			ISOK160-K / CF160
Выходной фланец	NW25
Промежуточный входной фланец	NW25
Скорость откачки, л/с: * N2 Ar He H2	240 230 230 165 график		300 280 340 280 график		400 380 390 325 график
Коэффициент компрессии: N2 / Ar He H2	1011 3x105 104	1011 106 1,5x104	1011 1x106 5x104	1011 3x106 105	1011 108 5x105	1011 108 106
Скорость откачки промежуточного входного фланца	13 13 11
Предельное остаточное давление, мбар* (ISO/CF)	6х10-8*/5х10-10*	5х10-8	6х10-8*/5х10-10*	5х10-8	1х10-8*/1х10-10*	1х10-8
Максимальное давление на выходе, Па: N2 He H2	9,5x102 7x102 2,5x102	20x102 8,5x102 3x102	9,5x102 7x102 2,5x102	20x102 8,5x102 3x102	103 8,6x102 3x102	2x102 8,5x102 3x102
Рекомендуемый форвакуумный насос	RV12/nXDS10i
Cпособ охлаждения	Воздух/вода
Максимальная температура входного фланца, оС	115 (воздушное охлаждение) 120 (водяное охлаждение)
Скорость вращения в холостом режиме, об/мин	33 000-60 000
Номинальная скорость вращения, об/мин	60 000
Время разгона до 90 % номинальной скорости, с	115	150	145	190	180	210
Уровень шума на расстоянии 1 м, дБА	45
Мощность двигателя, Вт	200
Вес, кг (ISO/CF)	5,7 8,8	6 9,1	5,7 8,5	6 8,8	6,5 9,5	6,8 9,8
Габаритные размеры	чертёж		чертёж		чертёж

ТЕХНИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ	nEXT730D	nEXT930D	nEXT1230H
Входной фланец	ISO160-K / CF160	ISO200-K / CF200	ISO200-K / ISO200-F / CF200
Выходной фланец	NW25		NW40
Порт продувки	NW40
Скорость откачки, л/с: * N2 Ar He H2	730 665 820 715	925 865 905 735	1250 1150 1350 1150
Коэффициент компрессии: N2 Ar He H2	>1011 >1011 1,2x108 4x106		1x1011 1x1011 4x108 1x107
Предельное остаточное давление, мбар* (ISO/CF)	3,5х10-9 / 6х10-10		5х10-9 / 5х10-10
Способ охлаждения	конвекция (воздушное и водяное опционально)		водяное (воздушное опционально)
Максимальная температура входного фланца, оС	100 (для СF фланца)
Рекомендуемый форвакуумный насос	XDS35i, E2M28
Номинальная скорость вращения, об/мин	49 200		42 000
Время разгона до 90 % номинальной скорости, с	150		180
Уровень шума на расстоянии 1 м, дБА	52
Мощность двигателя, Вт	400		500
Вес, кг (ISO/CF)	14,6 19,6	15,4 21,7	23,7 ISO-K / 24,9 ISO-F 32,6
Габаритные размеры	чертёж	чертёж	чертёж

Пример подключения турбомолекулярного насоса nEXT240D к турбо-измерительному контроллеру TIC

Контролер турбо измерительный TIC автоматически распознает подключенное к нему оборудование в приведенной в таблице ниже. Форвакуумный насос nXDS10i уже не требует подключения через блок релей, т.к. его управление происходит уже через логический интерфейсный кабель. Такое комплексное решение позволяет сэкономить и облегчить работу пользователя. Для корректной работы оборудования в такой новой конфигурации пользователь может сам обновить ПО в контроллере.

A	D39722000	Контроллер турбо измерительный TIC Turbo & Instrument Controller, 200 W RS232
B	D40013030	Кабель сетевой Linecord 2M North Euro Plug
C	D14701000	Датчик широкодиапазонный WRG-S NW25
D	A74602991	Насос диафрагменный XDD1 24Vdc
	A73601983	Насос спиральный nXDS10i
E	B8G210B01	Насос турбомолекулярный nEXT85D ISO63
	B81200100	Насос турбомолекулярный nEXT240D DN100ISO
F	B8G200820	Блок воздушного охлаждения nEXT85 Air cooler kit - wired
	B58053175	Блок воздушного охлаждения ACX nEXT RADIAL KIT 24 V STD
G	D39500835	Кабель удлинитель XDD/DX/EXDC extension cable 1m
H	D39700836	Кабель удлинитель XDD/DX/EXDC extension cable 2m (опционально)
J	D40001020	Кабель датчик-котроллер 2м.

*с форвакуумным насосом RV

Производитель турбомлекулярных насосов серии nEXT, так же производит на их базе типовые вакуумные откачные посты, они не требуют сборки и сразу готовы к работе. Откачной пост можно укомплектовать необходимой комбинацией турбомолекулярного насоса, контроллера и форвакуумного насоса.