Геттерные насосы NEG являются вакуумными насосами, принцип работы которых основан на хемосорбции и абсорбции. Материал геттера из сплава Zr-V-Fe обладает стабильными характеристиками и высокой скоростью поглощения по водороду.

Количество используемого материала геттера обуславливает сорбционную емкость и скорость откачки насоса NEG в диапазоне от 50 до 3500 л/с по водороду. По мере того, как насос NEG насыщается газами, его можно регенерировать без разгерметизации вакуумной системы. Преимуществом геттерного насоса является способность работать в течение длительного времени (до семи лет при давлении 1E-10 торр) без использования электричества.

Насосы NEG идеально подходят для достижения и поддержания сверхвысокого вакуума и могут использоваться в комбинации с магниторазрядными насосами для повышения скорости откачки, либо как отдельные насосы. Они идеально подходят для сверхвысоковакуумных применений из-за их компактных размеров и высокой скорости откачки по водороду. Насосы не подходят для цикличной откачки с атмосферного давления, так как это насыщает поверхность материала геттера, и их можно регенерировать только конечное число раз.

Основные преимущества:

Крайне эффективен для водорода
Очень компактный и легкий
Надежный, долговечный и не требует обслуживания
Отсутствие вибраций
Немагнитные материалы
Радиационная стойкость
Работа без электропитания

Применения:

Медицинские, промышленные и научные ускорители частиц и тракты пучков
Электронные микроскопы и электронно-лучевая литография
Установки напыления
Портативные системы
Эксперименты Cold Atom / Ion Trap
Оборудование для научных исследований и исследований поверхности

Характеристики геттерные насосов NEG

	N50 PDF	N100 PDF	N200 PDF	N300 PDF	N400 PDF
Скорость откачки по H2, л/с	55	106	208	312	412
Скорость откачки по CO, л/с	27	51	94	125	156
H2 сорбционная емкость, торр л/с	630	1170	2160	2880	3600
CO (25°C) сорбционная емкость, торр л/с	0,1	0,2	0,4	0,6	0,8
CO общая сорбционная емкость, торр л/с	284	526	972	1296	1620
Масса геттера, г	31,5	58	108	144	180
Площадь поверхности геттера, см2	187	348	642	856	1070
Вес насоса, кг	0,48	0.54	0,75	0,80	0,85
Фланец	CF40	CF40	CF40	CF40	CF40