Каталог вакуумного оборудования

Испарители с прямым впрыском жидкости

Отличие от обычных систем испарения

Испарители с прямым впрыском жидкости (DLI) являются надежными высокопроизводительными системами жидкостного испарения. Жидкостно-инжекционные испарители Brooks имеют некоторые отличия от традиционных систем испарения и обладают большей эффективностью, точностью и надежной системой контроля.

DLI испарители используют горячие газы, а не разогретую металлическую поверхность для испарения жидкости. Благодаря уникальной технологии распыления и теплообменникам, испарители Brooks DLI производят химически чистый пар, и обладают улучшенными тепловой, оптической и прочностной характеристиками. Различные применения испарителей:

  • Испарение воды для увлажнения топливных элементов, а так же другие применения водяного пара;
  • Жидкостные прекурсоры для химического осаждения из паровой фазы (CVD), осаждения оксидов металлов из паровой фазы(MOCVD) и атомно-слоевого осаждения (ALD);
  • Нанесение тонких пленок, таких как алмазоподобные углеродные покрытия и покрытия из стекла, для улучшения тепловых, оптических или прочностных характеристик;
  • Испарения мономеров для вакуумного осаждения полимерных пленок;
  • Создание калибровочного пара;
  • Испарения жидких углеводородов.

Технические характеристики:

  • Допустимое рабочее давление: от вакуума до нескольких атмосфер;
  • Парообразование: от 5 г/ ч до 15 кг/ч;
  • Несколько линий подачи жидкостей;
  • Материалы поверхностей, контактирующих с жидкостью и паром: нержавеющая сталь 316L с эластомерным уплотнением, электрополированная сталь 316L с никелевым уплотнением;
  • Нагреватель камеры испарения: электрический ленточный нагреватель;
  • Мощность нагревателя: от 100 Вт до >5000 Вт, в зависимости от применения; 100 В AC, 115 В AC или 230 В AC;
  • Датчики температуры: две термопары К-типа, одна для измерения температуры в камере и одна для сигнализации по перегреву;
  • Типы соединений с технологическими линиями: 1/8 " - 1" обжимное соединение или разъем NPT типа;
  • Герметичность: 1 x 10-9 см3/с по гелию.
Размеры: варьируются в зависимости от применения (400 Вт DLI испаритель 200 мм х 125 мм х 125 мм)


Пересчитать
x