Детали контроллеров жидкостного потока серии LF200 выполнены из фторопласта, который является химически инертным и устойчивым к растворению. Данная конструкция позволяет использовать регуляторы серии LF200 для управления потоками чистых и особо чистых жидкостей, деионизированной воды (и др. типов особо-чистой воды), кислот, щелочей и прочего. К тому же прямая линия потока позволяет измерять двухфазные вещества, такие как CMP шламы, приложение поперечных сил к которым может повредить их или стать причиной агломераций. Устройства серии LF200 используют метод измерения времени прохождения ультразвуковой волны в прямом и обратном направлениях для определения скорости потока жидкости. Применение ультразвукового способа измерения и передовых алгоритмов обработки сигнала обеспечивают высокую точность измерения расхода и превосходный контроль даже при наличии пузырьков в жидкости.

• Линия протока из химически инертного материала;
• Прямой путь потока, без изгибов и резких поворотов;
• Компактный корпус;
• Точность +/-1% от измеряемого значения.

В серии LF200 используется запатентованный датчик, который позволяет добиться чрезвычайно высокой точности измерений. Даже при очень низкой скорости потока, например, 50 мл/мин, LF200 может управлять потоком с точностью +/- 0,5 мл/мин. Высокоскоростная цифровая обработка сигнала обеспечивает время отклика < 2 секунды; благодаря тонкой настройке, возможно сделать время отклика < 1 секунды. Пользовательский интерфейс имеет LCD дисплей, который обеспечивает выбор индикации расхода, температуры, версии прошивки или сетевого адреса. Кнопка “Zero” предоставляет простое средство для обнуления датчика, когда жидкость не имеет протока. Доступно несколько вариантов аналогового интерфейса ввода/вывода.

Тип	Модель	Тип клапана	Пропускная способность,мл/мин	Точность	Макс. давление, psig	Входы/ выходы	Питание
Регулятор расхода жидкости	LF200	Игольчатый	50-500	+/-1% от заданного значения	60	0-5 В, 4-20 мА, 0-10 В, RS485	24 В, 0,5 А
Регулятор расхода жидкости	LF205	Пережимной	50-1000	+/-1% от заданного значения	45	0-5 В, 4-20 мА, 0-10 В, RS485	24 В, 0,5 А
Регулятор расхода жидкости	LF210	Игольчатый	150-500	+/-3% от заданного значения	60	0-5 В, 4-20 мА, 0-10 В, RS485	24 В, 0,5 А
Регулятор расхода жидкости	LF215	Пережимной	150-1000	+/-3% от заданного значения	45	0-5 В, 4-20 мА, 0-10 В, RS485	24 В, 0,5 А