Каталог вакуумного оборудования
Вакуумный натекатель предназначен для обеспечения напуска газа в вакуумную камеру с величиной потока в строго заданном небольшом диапазоне, с возможностью плавной регулировки. Основными параметрами вакуумного натекателя являются максимальная регулируемая пропускная способность, ограничивающая величину газового потока и плавность ее регулировки. Как правило, вакуумный натекатель не используется для крайнего переключения из положения “закрыто” в положение “открыто”, для подобных целей используется вакуумный клапан.
Вакуумный натекатель предназначен для обеспечения напуска газа в вакуумную камеру с величиной потока в строго заданном небольшом диапазоне, с возможностью плавной регулировки. Основными параметрами вакуумного натекателя являются максимальная регулируемая пропускная способность, ограничивающая величину газового потока и плавность ее регулировки.
Вакуумные натекатели по принципу действия делятся на механические и импульсные (с пьезоприводом). Механические вакуумные натекатели, как правило, бывают двух типов, игольчатые и мембранные и делятся по типу привода на ручные и электромеханические. По рабочему давлению вакуумные натекатели делятся на высоковакуумные и сверхвысоковакуумные.
Для быстрой разгерметизации вакуумного объема вакуумные натекатели обычно не применяются. Традиционно эту функцию выполняют вакуумные клапаны для напуска атмосферы, у которых максимальный поток в десятки раз больше.
Как правило, вакуумный натекатель не используется для крайнего переключения из положения “закрыто” в положение “открыто”, для подобных целей используется вакуумный клапан.
| Наименование | Описание | Тип соединения | Типоразмер фланцев | Тип привода | Подробная информация |
|---|---|---|---|---|---|
 VAT cерия 590 (серия 59) | Сверхвысоковакуумные (UHV) полностью металлические натекатели | CF | 16 | Ручной, шаговый двигатель | PDF Rus PDF Eng |
 VAT серия 211 | Натекатель с функцией клапана | NW | 10/16 | Ручной | PDF Rus PDF Eng |
 Edwards LV10K | Игольчатые натекатели с плавной регулировкой | NW | 10 | PDF PDF Eng | |
 Chell CMV | Высокоточные игольчатые натекатели | NW | 10 | PDF PDF Eng |
Сверхвысоковакуумные (UHV) натекатель VAT Серия 590 является полностью металлическим вакуумным натекателем из нержавеющей стали. Он предназначен для регулирования небольших газовых потоков. Металлическая конструкция сверхвысоковакуумного натекателя позволяет осуществлять прогрев корпуса до 300°C, а также обеспечивает его защиту от коррозионных и агрессивных газов. Сверхвысоковакуумный натекатель обеспечивает большое количество циклов срабатывания, не требуя при этом повторной смазки на всем сроке его эксплуатации. В качестве привода доступны модели с ручным приводом или с шаговым двигателем с интегрированным контроллером.
| Документы | описание(eng) |
|---|---|
| Документы | описание(рус) |
| Уровень течи: Корпус, седло натекателя | < 1 · 10-10 мбар·л/с |
| Диапазон давления | Сверхвысокий вакуум ... 10 бар (абс) |
| Перепад давлений при открытии | ≤ 10 бар |
| Количество циклов срабатывания | 20 000 |
| Температура1 - Корпус клапана - Ручной привод - Шаговый двигатель | ≤ 300°C ≤ 300°C ≤ 50°C |
| Скорость нагрева | ≤ 60°C/ч |
| Материал - Корпус натекателя - Диафрагма | Нержавеющая сталь AISI 660 (1.4943), AISI 316L (1.4404) Нержавеющая сталь AISI 301 (1.4310), золотое покрытие |
| Монтаж | В любом положении |
| Индикатор положения натекателя | Визуальное (шкала) |
| Проводимость (в молекулярном режиме) | 0,05 л/с |
| Диапазон настраиваемых потоков | 1 · 10-10 мбар·л/с ... 100 мбар·л/с |
| Фланец | DN16CF |
| Шаговый двигатель - Позиционное разрешение - Время закрытия | 100 000 (шаг = 0 - 90°) 3,5 с |
| Масса - Ручной привод - Шаговый двигатель | 0,94 кг 2,5 кг |
Натекатель с функцией клапана предназначен для областей применения, где требуется ручная регулировка подачи потока газа в вакуумную систему. Данный натекатель обладает встроенным отсечным клапаном, широким диапазоном регулировки, чрезвычайно малым мертвым объемом.
Натекатель VAT серия 211 предлагается как в алюминиевом исполнении (рисунок справа), так и из нержавеющей стали (слева). Натекатель с функцией клапана сконструирован так, что при вращении дозирующей ручки происходит линейное движение дозирующей иглы и она занимает желаемое положение. Кольцо «открыть/закрыть» позиционирует тарелку клапана, осуществляя перекрытие или открытия каналов. Эти движения являются независимыми друг от друга.
Натекатель из нерж. стали позволяет регулировать поток газа в диапазоне от 5x10-6 до 1000 мбар л/с, а также имеет цифровой дисплей для точного воспроизведения газовых потоков. Натекатель из алюминия предназначен для грубой регулировки потока натекания газа и имеет диапазон регулировки от 40 до 1700 мбар л/с.
| Документы | Описание |
|---|---|
| Графики | Габаритные размеры дозирующего клапана VAT серия 211 в алюминиевом исполнении |
| Графики | Габаритные размеры дозирующего клапана VAT серия 211 в исполнении из нерж. стали |
| Графики | График зависимости потока газа от показаний цифрового индикатора на дозирующем клапане из нерж. стали |
| Графики | График зависимости потока газа от вращения рукоятки на дозирующем клапане из алюминия (1 оборот равен 12 делениям на рукоятке) |
| Типоразмер присоединительных фланцев: | |
| Корпус из нерж. стали | NW16 |
| Корпус из алюминия | NW10 |
| Диапазон регулировки потока натекания: | |
| Корпус из нерж. стали | 5×10-6 – 1000 мбар∙л/с |
| Корпус из алюминия | 40 – 1700 мбар∙л/с |
| Уровень течи: | |
| Корпус из нерж. стали | ≤ 1×10-9 мбар∙л/с |
| Корпус из алюминия | ≤ 1×10-8 мбар∙л/с |
| Максимальный перепад давлений (открыт/закрыт): | |
| Корпус из нерж. стали | ≤2,5 бар |
| Корпус из алюминия | ≤3 бар |
| Мертвый объем | 0,032 см3 |
| Рабочая температура: | |
| Корпус из нерж. стали | 80°С |
| Корпус из алюминия | 40°С |
| Температура прогрева | |
| Корпус из нерж. стали | ≤100°С |
| Корпус из алюминия | ≤150°С |
| Температура хранения | 5 … 40°С |
| Конструкционные материалы: | |
| Корпус | алюминий или нержавеющая сталь |
| Уплотнение | FКM |
| Вес: | |
| Корпус из нерж. стали | 400 г |
| Корпус из алюминия | 200 г |
| Документы | Описание |
|---|---|
| Конструкционные материалы: | |
| корпус | Алюминиевый сплав HE30 |
| седло | Медь BS2784 C2112 |
| иголка | Мартенситная нержавеющая сталь EN56AM |
| фильтр | Медь BS249 |
| Максимальная скорость подачи* | 0,1 л/с |
| Максимальное входное давление | 2 атм |
| Допускаемый поток натекания через седло клапана | 1 x 10-8 Па м3 с-1 |
| Допускаемый поток натекания внутрь полости клапана | 1 x 10-8 Па м3 с-1 |
| Тип присоединительного фланца | NW10 |
| Вес | 0,138 кг |
Высокоточный игольчатый натекатель фирмы Chell предназначен для точной регулировки напуска газа в диапазоне давлений от 0,1 Па до 1 x 10-4 Па. Натекатель CMV позволяет точно выставлять и в дальнейшем воспроизводить требуемый напуск газа. Линейное перемещение иглы в пределах канала обеспечивает высокую точность контроля напуска и длительный срок эксплуатации механизма натекателя. Натекатель CMV можно установить, как в разрыв вакуумного трубопровода, так и на панель.
Рекомендуем устанавливать на входе натекателя фильтр, для предотвращения повреждения натекателя из-за попадания пыли или песчинок.
| Документы | Описание |
|---|---|
| Графики | Габаритные размеры |
| Графики | Фланцы |
8-800-200-24-80
