Каталог вакуумного оборудования

Сухие винтовые насосы EXS

Одна из новых разработок компании Edwards – признанного мирового лидера в области сухой откачки – это серия насосов EXS. Насосы EXS – это высокотехнологичные вакуумные насосы, конструкция которых базируется на ведущей в отрасли винтовой технологии. Насосы EXS обеспечивают сухую откачку с предельной скоростью до 740 м3/ч.

Используя инновационные и современные методы моделирования и более чем столетний опыт проектирования и производства промышленных вакуумных насосов, компания Edwards модернизировала конструкцию винтовых насосов. Основанные на серии винтовых вакуумных насосов GXS, проверенной и хорошо зарекомендовавшей себя в сотнях промышленных приложений по всему миру, насосы EXS сохранили преимущества предшественника. Использование винтовой технологии характеризуется: высокоэффективной герметизацией за счет долговечных бесконтактных уплотнений с встроенной лабиринтной защитой от протечки масла, что обеспечивает отсутствие масла в вакуумном пространстве; защитой редуктора от загрязнений за счет системы продувки с потоком газа 6 л/мин; использованием высококачественных подшипников и масла с низким давлением паров для совместимости приложений и увеличения срока службы насосов; чрезвычайно низкой вибрацией за счет надежной опоры ротора и превосходной надежностью при запуске, особенно для тяжелых технологических процессов.

Конструкция винтовых насосов серии EXS оптимизирована для еще большей надежности в жестких промышленных условиях, максимальной производительности, простой философии управления, расширения возможностей технического облуживания, а так же снижения затрат на приобретение и эксплуатацию. Модифицированный профиль витка ротора насосов серии EXS, способствует сокращению обратного натекания и зазора между винтовыми парами. Это способствует повышению производительности насоса по сравнению с насосами, оснащенными винтами с квадратным профилем витка. Компактная конструкция насосов серии позволяет минимизировать заниманию насосом рабочую площадь при одновременном удобстве для сервисного облуживания. Насос оснащен газобалластным клапаном с ручным управлением потоком в диапазоне от 0 до 130 л/мин и оптимально расположенной системой водяного охлаждения с постоянным потоком. Встроенный клапан продувки позволяет улучшить производительность насоса при высоких газовых нагрузках и высоком давлении на входе, а так же добиться меньшей потребляемой мощности при больших скоростях откачки.

Насосы серии EXS могут укомплектовываться широким рядом стандартных аксессуаров, позволяющих сконфигурировать систему, точно подстраиваемую под технологический процесс. Дополнительно для заказа доступны модификации насосов полностью кастомизированные под индивидуальные потребности заказчика.

Особенности серии EXS:

  • Простота эксплуатации и высокая надежность:
    • встроенный автономный инвертор для простого подключения и связи,
    • электрический шкаф соответствующий IP54,
    • надежная система водяного охлаждения с постоянным потоком,
    • надежная система продувки с ручным регулированием потока газобалласта,
    • гладкий защитный корпус из листового метала,
    • проверенных винтовой механизм для безотказной работы даже в условиях сложных промышленных процессов.
  • Повышенная производительность:
    • оптимизированный модуль для более высокой скорости процесса откачки и меньшего времени выхода на режим,
    • низкое предельное давление до <1,2x10-2 мбар,
    • большая пропускная способность.
    • Оптимизированная конструкция насоса на базе серии GXS, успешно эксплуатируемой в сотнях промышленных приложений.
    • Доступная цена и низкая стоимость эксплуатации:
      • низкое энерго- и водопотребление,
      • отсутствие незапланированного простоя и увеличенный интервал межсервисного обслуживания,
      • компактные габариты для экономии места.
    • Экологичность: отсутствие масляного загрязнения или отработанного масла.
    Области применения:
    • высокотемпературная вакуумная пайка,
    • электронно-лучевая и плазменная сварка,
    • нитроцементация и вакуумная цементация,
    • вакуумное и плазменное азотирование,
    • спекание,
    • литьевое формование и прецизионное литье по выплавляемым моделям,
    • вакуум-дуговой переплав,
    • дегазация стали,
    • установки для моделирования условий космического пространства,
    • камеры рекуперации и загрузочного шлюза,
    • производство светодиодов,
    • выращивание кремниевых кристаллов,
    • производство солнечных батарей,
    • нанесение наноструктурированных и стеклянных покрытий, покрытий осаждением из газовой фазы,
    • поверхностная активация.

    Технические характеристики насосов серии EXS

    ПАРАМЕТРЫМОДЕЛЬ НАСОСА
    EXS750
    Предельное давление, мбар (Торр)<1,2x10-2 (<8x10-3)
    Предельная скорость откачки, м3740
    кривая откачки
    Потребляемая мощность, кВт
    предельная
    пиковая (при полной нагрузки)

    8
    22
    Максимальная скорость вращения ротора, об/мин7500
    Входной фланецISO100
    Выходной фланецNW50
    Система водяного охлаждения
    соединениерезьбовое G1/2’’ male
    поток*, л/мин12
    давление подачи (максимум), бар изб.7
    температура, °С5-40
    Система продувки
    соединениерезьбовое G1/2’’ male
    давление, бар изб.3-6,9
    поток подачи уплотнения вала*, л/мин12
    поток газобалластного клапана**, л/мин1-130
    Рабочая температура, °С5-40
    Уровень шума с глушителем, дБ(А)<70
    Выпускное давление (максимум), бар абс.1,2
    Габаритные размеры ДхШхВ, мм1650x613x642
    чертеж
    * всегда подключено
    ** ручная регулировка


Пересчитать
x