Каталог вакуумного оборудования

Ионизационные вакуумные датчики с накаленным катодом типа Байярда – Альперта

Измерение давления т.е. определение концентрации частиц в области низких давлений основано на следующем принципе: остаточный газ вначале ионизируется, затем измеряется ионный ток, который пропорционален числу молекул газа в измеряемом объеме.

Принцип работы ионизационного вакуумного датчика типа Байярда – Альперта состоит в следующем, поток электронов, испускаемых накаленным катодом, ускоряется по направлению к коллектору электронов, имеющему форму сетки и находящемуся под потенциалом. Свободные электроны, двигаясь в объеме датчика, на своем пути ионизируют молекулы газа и образуются положительно заряженные ионы. Попадая на коллектор ионов, положительно заряженные ионы газов создают коллекторный ток, который регистрируется контроллером.

Компания InstruTech®, Inc. предлагает несколько моделей ионизационных вакуумных датчиков с накаленным катодом типа Байярда – Альперта, это модели BA601, BA602, BA603.

МодельBA601BA602BA603
Диапазон измерения2.7 x 10-11 до 1.3 x 10-3 мбар
2 x 10-11 до 1 x 10-3 Торр
5.3 x 10-10 до 1.3 x 10-3 мбар
4 x 10-10 до 1 x 10-3 Торр
5.3 x 10-10 до 1.3 x 10-3 мбар
4 x 10-10 до 1 x 10-3 Торр
Погрешность (по Азоту)±20%±20%±20%
Предел при рентгеновском излучении2 x 10-11 Торр4 x 10-10 Торр4 x 10-10 Торр
Чувствительность по Азоту25 Торр-110 Торр-110 Торр-1
Дегазация – бомбардировка электронами40 Вт макс.70 Вт номинал, 100 Вт макс.100 Вт макс.
Ток катодаот 2.5 до 3.5 Aот 4 до 6 Аот 4 до 6 А
Напряжение катодаот 3 до 5 В пост. токаот 3 до 5 В пост. токаот 3 до 5 В пост. тока
Потенциал катода+30В пост. тока+30В пост. тока+30В пост. тока
Потенциал сетки+180 В пост. тока+180 В пост. тока+180 В пост. тока
Потенциал коллектора0 В0 В0 В
Температура прогрева450 °C450 °C450 °C
КоллекторВольфрам, диаметр 0,005 дюймаВольфрам, диаметр 0,010 дюймаВольфрам, диаметр 0,010 дюйма
Материал катодаДвойной катод: иттрий покрытый иридием или двойной вольфрамОдиночный/двойной катод, U-образный тип, иттрий покрытый иридием или двойной вольфрамОдиночный катод, U-образный тип, иттрий покрытый иридием или двойной вольфрам
Сетканержавеющая сталь0,025 дюйма
вольфрам
0,025 дюйма
вольфрам
Изоляторкерамикакерамикастекло-металл
Положение при установкелюбоелюбоелюбое
Стеклянная колбанетнетДиаметр - 2 1/4 дюйма
Длина - 5 дюймов
Входной фланец2 3/4 дюйма CF / NW35CF Conflat®2 3/4 дюйма CF / NW35CF Conflat® 3/4 in. Kovar metal port, 1 in. Kovar metal port, 3/4 in. glass port, 1 in. glass port, NW25KF, NW40KF, 1 1/3 дюйма / NW16CF Mini-Conflat® 2 3/4 дюйма CF / NW35CF Conflat®
Более подробно ознакомиться с техническими характеристиками этой серии можно у наших специалистов.


Пересчитать
x