Оборудование полупроводниковой промышленности

Установка плазменной очистки YES-G500-CE

Установка YES-G500-CE – специализированная система для контролируемого снятия фоторезиста и полиамида. Скорость снятия фоторезиста может достигать 7000 А/мин. Оснащена электродной системой для размещения одной подложки 50-200 мм. Установка работает под управлением оригинального программного обеспечения с графическим интерфейсом.

Конфигурации для травления в установке YES-G500-CE:

Описание конфигурации для травленияСхема расположения электродов и подложки Electron Free/Downstream Mode
Подложка располагается на отдельном электроде, находящимся под плавающим потенциалом. Разрядная зона образована двумя отдельными сетчатыми электродами.
Active Mode
Подложка располагается на заземленном электроде внутри разрядной зоны.
RIE Mode
Подложка располагается на нагруженном электроде внутри разрядной зоны.
Active Ion Trap
Подложка располагается между двумя нагруженными электродами. В районе подложки происходит накопление ионов, проникающих через сетчатые электроды.
Downstream/Electron Free Ion Trap
Подложка располагается между двумя заземленными электродами.

Основные характеристики системы YES-G500-СE:

Совместимость с чистыми помещениямиКласс 10
Диапазон температуры подложек при обработке40-145 °C
Расход N20 л/c в режиме ожидания, 3.2 л/c – максимальный, 1.7 л/c – средний.
Расход рабочих газов17 sccm при 150 мтор, с насосом 20 м3
34 sccm при 150 мтор, с насосом 30 м3
Внутренний размер рабочей камеры45.72 см x 45.72 см x 20.955 см
Размер рабочей области для размещения подложекЗависит от выбранной конфигурации для травления/очистки. Максимальный – 2968 см2 или 1500 см2 на одну электродную систему
Размеры системы59.69 см x 71.2 см x 103.81 см (сигнальная башня добавляет 27 см к высоте системы)
Материал рабочей камерыАлюминий 6061-T6
Количество входов для рабочих газов с установленными игольчатыми натекателями3 (опционально -4)
Количество регуляторов расхода газа с электронным управлениемОпционально до 4-х
Совместимость со стандартом SEMIS2
Количество рецептов процессов для редактирования и загрузки12
Диапазон программируемых длительностей выполнения рецептов0-1200 сек
Минимальный шаг таймера рецепта1 сек
Интерфейс системы управления и язык интерфейсаГрафический, английский
Тепловая нагрузка на помещение920 Вт (средняя)
Питание208-230 В, 20 А, 50/60 Гц
Потребляемая мощность с учетом форвакуумного насоса375 Вт - в режиме ожидания, 1000 Вт - максимальная, 640 Вт - средняя
Вес системы158 кг

Основные составляющие системы YES-G500-СE:


Основной блок системы YES-G500-CE включающий:
  • PLC система контроля и управления, которая может быть запрограммирована через сенсорный экран
  • Сенсорный экран оператора
  • Генератор 40 кГц, 100-500 Вт с автоматической системой подстройки частоты для оптимизации согласования нагрузки
  • Датчик давления 0.01-1000 торр
  • Система контроля температуры по показаниям термопары
  • Электродная система с возможностью переконфигурирования на 5-ть режимов работы:
    • Мягкая обработка радикалами с отсечкой электронной компоненты плазмы, подложка располагается на электроде с плавающим потенциалом
    • Обработка подложки на заземленном электроде без отсечки от плазмы
    • Обработка подложки на нагруженном электроде без отсечки от плазмы
    • Обработка подложки на нагруженном электроде с дополнительным ускорением ионов
    • Обработка подложки на заземленном электроде, удаленном от активной плазмы
  • Три линии подачи рабочих газов. Опционально устанавливается РРГ
  • Порт откачки KF 40
Опциональное и дополнительное оборудование:
  • Пластинчато-роторный двухступенчатый форвакуумный насос с фильтром масляного тумана и набором вакуумной арматуры для соединения с системой
  • Cухой спиральный форвакуумный насос с набором вакуумной арматуры для соединения с системой (необходим только один из насосов). Спиральный насос не рекомендуется использовать при работе установки со фторсодержащими газами
  • Запасной фильтрующий элемент к фильтру масляного тумана
  • Регуляторы расхода газов (РРГ) с инсталляционным комплектом, для обеспечения режимов работы в смесях газов и регулировки расходов
  • Один РРГ
  • Два РРГ
  • Три РРГ
  • Запасной электрод (плавющий, нагруженный) за 1 шт.
  • Запасной заземленный электрод со встроенной термопарой
  • Система сбора данных DAQ1 с локальным сервером
  • Трайлер для системы с 4-мя блокирующимися колесами и оборудованием для размещения выносного форвакуумного насоса
  • Набор запасных частей на 3-4 года эксплуатации


Пересчитать
x