Оборудование полупроводниковой промышленности

Оборудование для сушки серии SRD

Оборудование серии SRD (Spin Rinse Dryer) предназначено для центрифугирования, ополаскивания и сушки. Эти системы обрабатывают одновременно до 25 пластин в одной стандартной кассете. Минимальное время сушки гарантирует более высокую производительность. Реализованная в системе последовательность технологических операций предотвращение повреждения образцов благодаря сушке без тепловых ударов. Оборудование предназначено для работы в чистых помещениях и обеспечивает не внесение частиц загрязнений.

Технологии сушки:

  • Ополаскивание и центробежная сушка
  • Ополаскивание горячей ДИ-водой
  • Сушка циркулирующим воздухом/азотом
  • Сушка подогретым воздухом/азотом


Система ополаскивания и сушки SRD

Особенности:

  • Ополаскивание и сушка пластин диаметром до 12" и подложек размером до 7х7"
  • Стандартные и специализированные роторы-держатели для специальных требований Заказчика - простая и быстрая замена
  • Обогрев резервуара технологического барабана. Технологическая камера из электрополированной нержавеющей стали.
  • Возможность нагрева азота
  • Главный выключатель на передней панели, механический замок дверцы, программируемый логический контроллер, цветной сенсорный экран и бесщеточный серводвигатель – основные части стандартного оборудования
  • Стандартизованные интерфейсы для идеального обмена данными

Опции:

  • Измерение проводимости
  • Антистатический конструктив
  • Внешний регулятор давления для азота
  • Каркасная конструкция
  • CO2 впрыскивание


Система жидкостной химической обработки с
установкой ополаскивания и сушки

Особенности:

  • Автономный корпус из высококачественной стали
  • Установка сконструирована в виде вытяжного шкафа с патрубком для вытяжки и регулируемым воздушным клапаном
  • Опционально столешница может быть изготовлена из PP, PVC, PVDF или высококачественной стали
  • Возможность встраивания всех интегрируемых компонентов RAMGRABER
  • Передняя панель доступна с ручным, электрическим или пневматическим контролем
  • Автоматическая система подачи
  • Система ополаскивания и сушки

Опции:

  • ДИ-водный пистолет
  • N2-пистолет
  • Дополнительная технологическая ванна
  • Система дозирования
  • Запись данных процесса


Пересчитать
x