Система прогрева и стабилизации температуры насоса TMS

TMS (Thermal Management System) – Система прогрева и стабилизации температуры насоса для радикального снижения внутренних отложений в полупроводниковых процессах.

TMS является опцией, доступной при заказе некоторых турбомолекулярных насосов STP, приведенных в таблице.

Принцип действия заключается в следующем. Для примера, на рис ниже показаны места наиболее вероятного осаждения и накопления трихлорида алюминия в процессе травления алюминия. Как видно, внутри работающего насоса присутствует градиент давления, и с некого определенного давления трихлорид алюминия начинает конденсироваться на стенках внутренней полости насоса. Накопление осажденного материала ухудшает технические параметры насоса, снижает его ресурс, а также может стать причиной выхода насоса из строя.

На нежелательный процесс осаждения материала внутри насоса можно влиять изменением температуры стенок насоса. Как видно на представленной ниже фазовой диаграмме трихорида алюминия, увеличив температуру, можно избежать фазового перехода и конденсации материала на стенках насоса. Функционально, система прогрева и стабилизации температуры насоса состоит из контроллера TMS, который отслеживает температуру с помощью датчика, а также управляет работой обода прогрева и клапана водяного охлаждения, поддерживая повышенную температуру.


Пересчитать
x