Турбомолекулярные насосы серии nEXT


nEXT240; nEXT300; nEXT400; – новая серия компактных гибридных турбомолекулярных насосов с высокой производительностью и коэффициентом компрессии для легких газов. Она пришла на смену моделям серии EXT со скоростью откачки в диапазоне от 200 до 400 л/с. Отличительной особенностью насосов серии nEXT является возможность оперативной замены пользователем нижнего шарикоподшипника и картриджа со смазкой. Верхний безмасляный магнитный подшипник не требует замены. Наличие встроенного контроллера позволяет оптимизировать работу турбомолекулярного насоса для снижения энергопотребления и увеличения срока службы оборудования. Встроенный контроллер с интегрированным блоком питания и интерфейсом программирования и автоматизации позволяет применять насос в OEM вакуумных системах.

Выпускаются две основные модели насосов серии nEXT:

  • Duplex «D» – версия гибридных турбомолекулярных насосов, в корпусе которых имеется турбомолекулярная (Turbo) и молекулярная (Drug) ступени откачки. В насосе применяется молекулярная ступень Сикхбана - Холвека (Siegbahn – Holweck Stage). Преимущество насосов версии D обеспечивает большую величину компрессии, включая и легкие газы, существенно больше допустимое давление на выходном фланце и большую величину максимально допустимого откачиваемого газового потока.

    Насосы с индексом “L” серии nEXT xxx DL с низким уровнем вибрации и сниженным уровнем магнитных полей Доступны только модели nEXT240DL, nEXT300DL nEXT400DL. Насосы специально спроектированы аналитического оборудования и имеют области применения, такие как РЭМ (Растровый электронный микроскоп, Scanning Electron Microscope, SEM), ПЭМ (Просвечивающий (трансмиссионный) электронный микроскоп, Transmission Electron Microscopy, TEM). Эти насосы отличаются от стандартных тем, что они устанавливаются только вертикально вверх входным фланцем и после замены подшипника требуют высокоскоростную балансировку на заводе, чтобы сохранить сниженный уровень вибраций. Эти насосы значительно дешевле, чем насос c магнитным подвесом ротора STP-iX455.


  • Triplex «T» – версия гибридных турбомолекулярных насосов, которые помимо турбомолекулярной (Turbo) и молекулярной (Drug) ступеней откачки оснащены также регенеративной (Regenerative) ступенью откачки, которая необходима для работы насоса в бустерном режиме. Преимущества T версии насоса, те же и еще больше по значению чем у D версии насоса;


Устройство турбомолекулярного насоса серии nEXT

  1. Несколько вязкостных ступеней обеспечивает высокую компрессию и большее допустимое выпускное давление
  2. Безсенсорный двигатель для высокой эффективности и компактности со сниженным уровнем паразитных магнитный полей.
  3. Запатентованная подшипниковая система подвеса ротора сводит к минимуму шум и вибрацию передаваемую вакуумной системе.
  4. Сменный картридж с маслом для быстрого промежуточного сервисного обслуживания пользователем.
  5. Опциональная регенеративная ступень с "Boost" портом для сокращения числа насосов в дифференциально-откачной системе и обеспечения максимальной рационализации системы.
  6. Верхний (магнитный) подшипник с постоянным магнитом для безуглеводородного вакуума и снижения вибраций и минимального износа.

 
ТЕХНИЧЕСКИЕ
ПАРАМЕТРЫ
nEXT240D nEXT240T nEXT300DnEXT300TnEXT400DnEXT400T
Входной фланецISOK100 / CF100ISOK100 / CF100ISOK160 / CF160
Выходной фланецISOKF25ISOKF25ISOKF25
Промежуточный входной фланецISOKF25ISOKF25
Скорость откачки, л/с:
* N2
He
H2

240
230
165

340
300
280

400
390
325
Коэффициент компрессии:
N2
He
H2

1011
3x105
104

1011
106
1,5x104

1011
1x106
5x104

1011
3x106
105

1011
108
5x105

1011
108
106
Скорость откачки
промежуточного
входного фланца
13
13
11
Предельное остаточное давление, мбар* (ISO/CF)6х10*-8/5х10*-105х10-86х10*-8/5х10*-105х10-81х10*-8/1х10*-101х10-8
Максимальное давление на выходе, Па:
N2
He
H2

9,5x102
7x102
2,5x102

20x102
8,5x102
3x102

9,5x102
7x102
2,5x102

20x102
8,5x102
3x102

103
8,6x102
3x102

2x102
8,5x102
3x102
Рекомендуемый форвакуумный насосRV12/nXDS10i
Cпособ охлажденияВоздух/вода
Максимальная температура входного фланца, оС758070
Скорость вращения в холостом режиме, об/мин33000-60000
Номинальная скорость вращения, об/мин60 000
Время разгона до 90 % номинальной скорости, с115145180
Уровень шума на расстоянии 1 м, дБА45
Мощность двигателя, Вт200
Вес, кг (ISO/CF)5,7
8,8
6
9,1
5,7
8,5
6
9,1
8,5
9,5
6,8
8,8

*с форвакуумным насосом RV

Пример подключения турбомолекулярного насоса nEXT240D к турбо-измерительному контроллеру TIC

Контролер турбо измерительный TIC автоматически распознает подключенное к нему оборудование в приведенной в таблице ниже. Форвакуумный насос nXDS10i уже не требует подключения через блок релей, т.к. его управление происходит уже через логический интерфейсный кабель. Такое комплексное решение позволяет сэкономить и облегчить работу пользователя. Для корректной работы оборудования в такой новой конфигурации пользователь может сам обновить ПО в контроллере.

AD39722000TIC turbo and instrument controller, 200WКонтроллер турбо измерительный TIC Turbo & Instrument Controller, 200 W RS232
BD40013030Mains cable/line cordКабель сетевой Linecord 2M North Euro Plug
CD14701000WRG-S-NW25Датчик широкодиапазонный WRG-S NW25
DA73601983XDD1 24Vdc diaphragm pumpНасос спиральный nXDS10i
EB81200100EXT75DX ISO63Насос турбомолекулярный nEXT240D DN 100 ISO
FB58053175ACX75 air-coolerБлок воздушного охлаждения ACX nEXT RADIAL KIT 24 V STD
GD39500835XDD/DX/EXDC extension cableКабель насос-контроллер 1 м (serial interface)
HD39700836XDD/DX/EXDC extension cable (optional)Удлинитель XDD/DX/EXDC extension cable 2m
JD40001020Active gauge cableКабель датчик-котроллер 2 м

Пересчитать
x