Вакуумные установки – установки, состоящие из вакуумной системы (вакуумные насосы, датчики, клапаны, ловушки, арматура) и устройств, обеспечивающих ее действие для проведения какого-либо технологического процесса. К таким установкам можно отнести вакуумные установки для лабораторных исследований, высотные испытательные установки, установки имитации космического пространства, полупроводниковые и напылительные вакуумные установки, вакуумные печи и т.д.

При подборе вакуумного оборудования для вакуумных установок требуется учитывать множество факторов. В зависимости от конкретного технологического процесса к вакуумному оборудованию предъявляются различные требования:

1. Вакуумные установки для лабораторных исследований (электронные микроскопы, хроматографы, испарители, системы фильтрации), как правило, требуют откачные средства, обладающие невысокой скоростью откачки, а также занимающие небольшую площадь. Для этой цели отлично подходят небольшие форвакуумные, турбомолекулярные насосы и высоковакуумные посты. Лабораторные вакуумные установки, работающие с агрессивными средами, можно строить на базе мембранных насосов.
   АБ
   
   Рис.1. Откачные средства для лабораторных вакуумных установок.
   А – высоковакуумный откачной пост; Б – диафрагменный насос для откачки агрессивных сред
2. В высотных испытательных установках необходимо обеспечивать заданную скороподъемность летательного аппарата. Т.е. необходимо смоделировать подъем или спуск испытуемого устройства. Для создания скороподъемности, соответствующей скорости взлета действительного самолета, вакуумное оборудование должно обеспечивать большую скорость откачки для быстрого создания необходимого уровня вакуума.
3. Установки имитации космического пространства, позволяющие исследовать влияние космического и солнечного излучений, космического холода и др. (в зависимости от поставленной задачи) требуют обеспечения вакуума в широком диапазоне: от среднего (10^-3 Торр) до сверхвысокого (10^-10 Торр). При этом вакуумная среда в имитаторах должна быть абсолютно безмасляной. Поэтому для получения низкого вакуума используются сухие винтовые и двухроторные насосы, для среднего и высокого вакуума применяются турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе, а для сверхвысокого – криогенные насосы с замкнутым циклом Гиффорда–МакМагона.
   
   Рис.2. Установка имитации космического пространства.
4. Полупроводниковые и напылительные вакуумные установки для осаждения различных материалов также требуют отсутствие углеводородов в рабочей камере, поэтому в них целесообразно использование сухих насосов как для создания высокого и сверхвысокого вакуума (турбомолекулярные и криогенные), так и для создания форвакуумного давления (спиральные, рутса). А для контроля уровня вакуума, как правило, используются мембранно-емкостные вакуумные датчики, показания которых не зависят от состава газовой среды.
   
   Рис.3. Установка магнетронного напыления.
5. Для вакуумных печей и металлургической промышленности в целом требуются насосы, обладающие большой пропускной способностью, а также износостойкостью к средам с высоким содержанием пыли и загрязнений. Для таких условий хорошо подходят когтевые и винтовые вакуумные насосы, как средства форвакуумной откачки. А для достижения высокого вакуума используют диффузионные насосы.
   
   Рис.4. Вакуумная печь.