Каталог вакуумного оборудования

Течеискатели серии MS

Масс-спектрометрические гелиевые течеискатели VIC серии MS оснащены анализатором с 180° фокусировкой в постоянном магнитном поле с двойной магнитной системой, которая обеспечивает поворот пучка заряженных ионов 2 × 90°. Наличие двух катодов позволяет не прерывать процесс поиска течей в случае выхода из строя одного из них.

Гелиевые течеискатели MS обладают всеми необходимыми конструктивными особенностями, позволяющими проводить поиск течей любым из существующих методов. В отличие от гелиевых течеискателей других производителей, течеискатели MS способны производить гарантированный поиск течей как в системах малого объема, так и в больших камерах объемом более 10 м3, не требуя при этом создания низкого давления. Встроенная калиброванная течь позволяет проводить калибровку течеискателя, если это необходимо.

В качестве форвакуумного насоса в гелиевых течеискателях MS может использоваться как масляный пластинчато-роторный насос, так и полностью безмасляная комбинация двухступенчатого диафрагменного насоса с молекулярным бустерным насосом (версия Dry). Любой течеискатель может быть оснащен дополнительным внешним форвакуумным насосом для увеличения скорости откачки и возможности поиска течей в системах большого объема. Управление течеискателем осуществляется с помощью традиционной кнопочной панели или же при помощи сенсорного экрана.

Корпус стандартной версии течеискателя изготавливается из алюминия, но в качестве опции корпус может быть изготовлен из нержавеющей стали для помещений с высокими требованиями вакуумной гигиены.

К особенностям течеискателей серии MS можно отнести:

  • включение одной кнопкой;
  • выход на рабочий режим за 3 минуты;
  • применение дополнительного бустерного молекулярного насоса в сухих версиях;
  • автоматическая калибровка;
  • корректировка показаний прибора в зависимости от температуры встроенной течи;
  • автоматическая блокировка при нарушении стандартной работы.

Большое количество аксессуаров и запасных частей значительно облегчает работу и обслуживание течеискателей MS. Течеискатели VIC серии MS имеют несколько модификаций.

MS-40 GT (заменил MS-40)

Течеискатель MS-40 GT является самым младшим в линейке гелиевых течеискателей VIC, но в то же время и одним из самых проверенных приборов в этой области. Компактные размеры и небольшой вес MS-40 GT позволяют проводить его установку и испытания на герметичность одному человеку. Данный течеискатель способен регистрировать поток гелия в диапазоне 1x10-4 – 5x10-12 Па x м3/с при использовании стандартных установленных откачных средств и в диапазоне 1 – 5x10-12 Па x м3/с при использовании внешнего насоса. Течеискатели MS-40 GT обладают сенсорным дисплеем и графическим интерфейсом на руссом языке.

MS-50 GT (заменил MS-50)

Течеискатель MS-50 GT представляет группу консольных гелиевых течеискателей, оборудованных внешним монитором, а также двумя высокопроизводительными форвакуумными насосами, позволяющими сократить время откачки тестируемого объекта. Консольные гелиевые течеискатели такого типа имеют 50 встроенных режимов испытаний и используются в тех областях, где требуется максимально точное измерение потока гелия: полупроводниковая промышленность, электроника, научные исследования и т.п. Приборы разрабатываются под задачи каждого конкретного заказчика, для наилучшего соответствия требованиям процесса контроля герметичности. Течеискатели MS-50 GT обладают большим сенсорным дисплеем и графическим интерфейсом на руссом языке.

Течеискатели серии MS-50 GT представлены разнообразными моделями для решения различных задач. В частности выпускаются:

  • высокочувствительные течеискатели (модификация MS-50 GT HS);
  • высокопроизводительные течеискатели для полупроводниковой промышленности;
  • течеискатели для контроля предварительно опрессованных изделий;
  • течеискатели с двумя портами для контроля двух объектов;
  • течеискатели с использованием в качестве пробного газа аргона.

MS-60

Течеискатель MS-60 является наиболее современным прибором в линейке течеискателей VIC. Высокая чувствительность до 5x10-13 Па x м3/с, сенсорный экран, производительные насосы наравне с небольшими габаритными размерами позволяют применять эти течеискатели во многих сферах научной и промышленной деятельности. Наличие трех режимов автоматического обнуления позволяет снизить влияние гелиевого фона на измерения до минимума.

Технические характеристики течеискателей MS:

МодельMS-40 GTMS-50 (MS-50 GT HS)MS-60
Чувствительность, Па·м3
в режиме вакуумных испытаний
в режиме щупа

4·10-12
5·10-8

3·10-12
1·10-9

5·10-13
1·10-9
Диапазон измерений потока, Па·м3
без дополнительного насоса
с дополнительным насосом

1·10-4 - 4·10-12
1 - 4·10-11

1 - 3·10-11

1·10-4 - 5·10-13
1 - 5·10-13
Режим работыАвтоматический/ручной
Время выхода на режим, мин< 3
Время отклика, с2
Резрешение по 4He14
Максимальное рабочее давление, мм.рт.ст.
в стандартной комплектации
с дополнительным насосом

7,5
760

7,5
100

7,5
750
Определяемые массыHe3, He4
Единицы измеренияатм.см3/с, мбар·л/с, Па·м3
Режимы работы течеискателяПрямоток, противоток, байпас
Высоковакуумный турбомолекулярный насос, л/с53
Форвакуумный насос, м3
стандартная версия (пластинчато-роторный)
Dry версия (комбинация диафрагменного и молекулярного)

2,5
27

11,5+27(доп.)
8,5+17(доп.)

11,5
27
Контроль давления2 датчика Пирани (на входе/фор.насос) + ионизационный датчик в камере анализатора
Входной фланец течеискателяNW251,125” патрубок / NW25NW25
Габаритные размеры, мм527 × 381 × 356654 × 778 × 895533 × 429 × 419
Масса, кг39,5215,4560,3


Пересчитать
x