Гелиевый течеискатель Pfeiffer ASM 390

Производитель: Pfeiffer

Масс-спектрометрические течеискатели ASM 390 и ASM 392 производителя Pfeiffer — высокоэффективные течеискатели для полупроводниковой, электронной и дисплейной промышленности, где требуются короткое время откачки и высокая чувствительность. Оба прибора полностью соответствуют стандарту Semi S2 и оснащены мощной сухой системой откачки, обеспечивающей безмасляную и чистую работу.

ASM 392 дополнительно оборудован турбомолекулярным насосом, что ускоряет процесс тестирования и сокращает время простоя. Эргономичный дизайн с удобной рабочей высотой, передним входом, вращающимся цветным дисплеем и встроенным отсеком для инструментов делает работу максимально комфортной и эффективной.

Преимущества

• Высокая чувствительность и скорость откачки

• Полностью безмасляная система

• ASM 390 — 10 л/с, ASM 392 — 25 л/с по гелию

• Быстрый вход в режим измерений при 20 hPa (мбар)

• Поворотный цветной дисплей и защита паролем

• Поддержка автоматизации (PC/PLC)

• Соответствие стандарту Semi S2

Габаритные размеры

Технические характеристики

	ASM 390	ASM 392
Метод испытания	Метод обдува и метод щупа	Метод обдува и метод щупа
Обнаруживаемые газы	⁴He; 3Не; H₂	⁴He; 3Не; H₂
Мин. обнаруживаемая скорость утечки гелия (обдув)	1 · 10-12 мбар л/с / 1 · 10-13 па м3/с	1 · 10-12 мбар л/с / 1 · 10-13 па м3/с
Мин. обнаруживаемая скорость утечки гелия (щуп)	1 · 10⁻⁸ мбар л/с / 1 · 10⁻ ⁹ па м3/с	1 · 10⁻⁸ мбар л/с / 1 · 10⁻ ⁹ па м3/с
Скорость откачки для гелия	10 л/с	25 л/с
Электропитание	100-240 В (50/60 Гц)	100-240 В (50/60 Гц)
Потребляемая мощность	800 Вт	800 Вт
Макс. потребляемая мощность	1600 Вт	1600 Вт
Макс. входное давление (тест)	20 мбар	20 мбар
Время запуска (20 °С)	<2 мин	<2 мин
Время отклика	<1 с	<1 с
Форвакуумный насос	Многоступенчатый насос Рутса	Многоступенчатый насос Рутса
Производительность	35 м3/ч	35 м3/ч
Рабочая температура	10-35 °С	10-35 °С
Коммуникационные интерфейсы	I/O, RS-232, Ethernet (PC)	I/O, RS-232, Ethernet (PC)
Уровень шума	≤ 55 дБА	≤ 55 дБА
Вес	125 кг	130 кг
Габаритные размеры	1072 х 455 х 1025 мм	1072 х 455 х 1025 мм
Входное отверстие	DN 40 ISO-KF	DN 40 ISO-KF

Компания «Интек» предлагает современное вакуумное оборудование, включая устройства, обеспечивающие контроль герметичности вакуумных систем. Если в планах купить течеискатель, в нашем каталоге всегда есть большой выбор моделей разных брендов. Мы выполняем не только поставку техники, но также квалифицированное обслуживание, включая сервис в гарантийный и постгарантийный период.