h3>GF100 Серия регуляторов массового расхода и расходомеров Данная серия предназначена для применения в полупроводниковой промышленности, MOCVD и других областях, где требуется управление потоком газа, высокая чистота и металлические соединения. Устройства серии GF обладают превосходной производительностью, надежностью и гибкостью применения. Регуляторы данной серии прошли длительные испытания по надежности, повторяемости и стабильности дольше стандартных для полупроводниковой промышленности более чем в 3 раза:

• Сверхбыстрое время установки - 300 мс;
• Устойчивость к скачкам давления (PTI), повышенная точность и применение в SDS системах (опционально);
• Технология Multiflo^тм настройка на применение с различными газами и диапазонами потока;
• Трубки датчика и отверстие клапана изготовлены из коррозионностойкого сплава Hastelloy^®.

GF40/80 регуляторы массового расхода и расходомеры

Разработаны для применений в областях производства солнечных элементов, CVD, вакуумных процессах, биореакторах и других промышленных приложений с контролем газового потока, требующих экономичные и эффективные решения:

• Эластомерная или металлическая прокладка;
• Быстрое время установки, менее 1 секунды;
• Multiflo конфигурируемость газов и диапазонов;
• Трубки датчика из коррозионностойкого сплава Hastelloy^®.

Тип	Модель	Диапазон	Точность	Макс. давление, psig (бар)	Входы/выходы	Питание
UHP PTI регулятор с металлическим уплотнением	GF125	3 стд.см3/мин – 55 стд.л/мин экв. N2	±1% при потоке (35-100% ПД)	85 (6)	0-5 В/ RS485/ DeviceNet	+/- 15 В, 11-25 В
UHP регулятор/ расходомер с металлическим уплотнением	GF120	3 стд.см3/мин – 55 стд.л/мин экв. N2	±1% при потоке (35-100% ПД)	485 (33)	0-5 В/ RS485/ DeviceNet	+/- 15 В, 11-25 В
HP регулятор/ расходомер с металлическим уплотнением	GF100	3 стд.см3/мин – 55 стд.л/мин экв. N2	±1% при потоке (10-100% ПД)	485 (33)	0-5 В/ RS485/ DeviceNet	+/- 15 В, 11-25 В
UHP регулятор/ расходомер повышенной точности с металлическим уплотнением	GF125 (HA)	5 стд.см3/мин – 10 стд.л/мин экв. N2	±1% при потоке (10-100% ПД)	85 (6)	0-5 В/ RS485/ DeviceNet	+/- 15 В, 11-25 В
UHP регулятор/ расходомер для SDS систем с металлическим уплотнением	GF 120 (SDS)	4 стд.см3/мин – 1 стд.л/мин	±1% при потоке (10-100% ПД)	485 (33)	0-5 В/ RS485/ DeviceNet	+/- 15 В, 11-25 В
Регулятор/ расходомер с металлическим уплотнением	GF80	3 стд.см3/мин – 50 стд.л/мин	±1% при потоке (10-100% ПД)	150 (10)	0-5 В/ 4-20 мА/ Profibus/RS485/ DeviceNet/ EtherCAT	15-24 В 12-24 В 11-25 В

• UHP – особо-чистые материалы
• HP- чистые материалы
• PTI – устойчивость к перепадам давления в линии подачи газа