8-800-200-24-80
Каталог вакуумного оборудования
Гелиевый течеискатель ASM 390 / ASM 392
Производитель: Pfeiffer
Компания «Интек» предлагает современное вакуумное оборудование, включая устройства, обеспечивающие контроль герметичности вакуумных систем. Если в планах купить течеискатель, в нашем каталоге всегда есть большой выбор моделей разных брендов. Мы выполняем не только поставку техники, но также квалифицированное обслуживание, включая сервис в гарантийный и постгарантийный период.
Масс-спектрометрические течеискатели ASM 390 и ASM 392 производителя Pfeiffer — высокоэффективные течеискатели для полупроводниковой, электронной и дисплейной промышленности, где требуются короткое время откачки и высокая чувствительность. Оба прибора полностью соответствуют стандарту Semi S2 и оснащены мощной сухой системой откачки, обеспечивающей безмасляную и чистую работу.
ASM 392 дополнительно оборудован турбомолекулярным насосом, что ускоряет процесс тестирования и сокращает время простоя. Эргономичный дизайн с удобной рабочей высотой, передним входом, вращающимся цветным дисплеем и встроенным отсеком для инструментов делает работу максимально комфортной и эффективной.
Преимущества
-
Высокая чувствительность и скорость откачки
-
Полностью безмасляная система
-
ASM 390 — 10 л/с, ASM 392 — 25 л/с по гелию
-
Быстрый вход в режим измерений при 20 hPa (мбар)
-
Поворотный цветной дисплей и защита паролем
-
Поддержка автоматизации (PC/PLC)
-
Соответствие стандарту Semi S2
Габаритные размеры
Технические характеристики
|
|
ASM 390 |
ASM 392 |
|
Метод испытания |
Метод обдува и метод щупа |
Метод обдува и метод щупа |
|
Обнаруживаемые газы |
⁴He; 3Не; H₂ |
⁴He; 3Не; H₂ |
|
Мин. обнаруживаемая скорость утечки гелия (обдув) |
1 · 10-12 мбар л/с / 1 · 10-13 па м3/с |
1 · 10-12 мбар л/с / 1 · 10-13 па м3/с |
|
Мин. обнаруживаемая скорость утечки гелия (щуп) |
1 · 10⁻⁸ мбар л/с / 1 · 10⁻ ⁹ па м3/с |
1 · 10⁻⁸ мбар л/с / 1 · 10⁻ ⁹ па м3/с |
|
Скорость откачки для гелия |
10 л/с |
25 л/с |
|
Электропитание |
100-240 В (50/60 Гц) |
100-240 В (50/60 Гц) |
|
Потребляемая мощность |
800 Вт |
800 Вт |
|
Макс. потребляемая мощность |
1600 Вт |
1600 Вт |
|
Макс. входное давление (тест) |
20 мбар |
20 мбар |
|
Время запуска (20 °С) |
<2 мин |
<2 мин |
|
Время отклика |
<1 с |
<1 с |
|
Форвакуумный насос |
Многоступенчатый насос Рутса |
Многоступенчатый насос Рутса |
|
Производительность |
35 м3/ч |
35 м3/ч |
|
Рабочая температура |
10-35 °С |
10-35 °С |
|
Коммуникационные интерфейсы |
I/O, RS-232, Ethernet (PC) |
I/O, RS-232, Ethernet (PC) |
| Уровень шума | ≤ 55 дБА | ≤ 55 дБА |
| Вес | 125 кг | 130 кг |
| Габаритные размеры | 1072 х 455 х 1025 мм | 1072 х 455 х 1025 мм |
| Входное отверстие | DN 40 ISO-KF | DN 40 ISO-KF |
Компания «Интек» предлагает современное вакуумное оборудование, включая устройства, обеспечивающие контроль герметичности вакуумных систем. Если в планах купить течеискатель, в нашем каталоге всегда есть большой выбор моделей разных брендов. Мы выполняем не только поставку техники, но также квалифицированное обслуживание, включая сервис в гарантийный и постгарантийный период.