Каталог вакуумного оборудования
STP1003– это новый вакуумный турбомолекулярный насос с магнитным подвесом ротора. Технологии Edwards позволяют получить наилучшие характеристики для различных процессов откачки. Насос предназначен для высоковакуумной откачки рабочих объемов в полупроводниковой промышленности, машиностроении, в научных приборах, в ускорителях и других системах специального назначения.
Турбомолекулярные насосы модели STP1003 производятся в двух вариантах исполнения: STP1003 стандартная версия и STP1003C химически стойкая версия.
| Модель насоса | Скорость откачки, л/с N2/H2 | Входной фланец | Предельное остаточное давление, Па (Торр): | Максимально допустимое давление на входе, Па (Торр): | Максимально допустимое давление на выходе, Па (Торр): | Рекомен- дуемый контроллер | Габаритные размеры |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| STP301 Описание Описание Eng | 300/300 график/ график | ISO100F/ISO100/ VG100 | 6,5×10-6 (5×10-8) | 6,7х10-2 (5×10-4) | 13 (0,1) | SCU-350 Control unit | Чертеж |
| ICF152 (DN100CF) | 10-8* (10-10*) | ||||||
| STP301C Описание Описание Eng | 300/300 график/ график | ISO100F/ISO100/ VG100 | 6,5×10-6 (5×10-8) | Чертеж | |||
| ICF152 (DN100CF) | 10-7* (10-9*) | ||||||
| STPH301C Описание Eng | 300/200 график | ISO100F/ISO100/ VG100/ICF152 (DN100CF) | 10-7* (10-9*) | 266 (2) | 665 (5) | SCU-800 Control unit | Чертеж |
| STP-L301C Описание | 260/290 график | ISO100K | 6,5х10-6 (5×10-8) | 6,7×10-2 (5×10-4) | 13 (0,1) | SCU-350 Control unit | Чертеж |
| ICF152 (DN100CF) | 10-8* (10-10*) | ||||||
| STP451 Описание Описание Eng | 480/460 график | ISO160F/ISO160/ VG150 | 6,5х10-6 (5×10-8) | Чертеж | |||
| ICF203 (DN160CF) | 10-8 (10-10*) | ||||||
| STP451C Описание Описание Eng | 480/460 график | ISO160F/ISO160/ VG150 | 6,5х10-6 (5×10-8) | Чертеж | |||
| ICF203 (DN160CF) | 10-7* (10-9*) | ||||||
| STPH451C Описание Описание Eng | 450/300 график | ISO160F/ISO160/ VG150/ICF203 (DN160CF) | 10-7* (10-9*) | 266 (2) | 665 (5) | SCU-800 Control unit | |
| STP-iX455+ блок питания IPS-240 Описание | 300/300 график | IS0100/VG100 | 6,5х10-6 (5×10-8) | 1,3х10-1 (9,7х10-4) | 67 (0,5) | Встроенный | Чертеж |
| ICF152 (DN100CF) | 10-8* (10-10*) | ||||||
| 450/460 график | IS0160/VG150 | 6,5х10-6 (5×10-8) | |||||
| ICF203 (DN160CF) | 10-8* (10-10*) | ||||||
| STP-iX457 + Блок питания с дисплеем iPD-240-24V | 300/300 | VG100 ISO100 ISO100F | 6.5×10-6 (5×10-8) | 3.2×10-1(2.4×10-3) | 133 (1) | встроенный | - |
| ICF152 (DN100CF) | 10-8(10-10) | ||||||
| 450/460 | VG150 ISO160 ISO160F | 6.5×10-6 (5×10-8) | |||||
| ICF203 (DN160CF) | 10-8(10-10) | ||||||
| STP603 Описание Описание Eng | 650/550 график | ISO160F/ISO160/ VG150 | 10-7 (10-9) | 1,3х10-2 (1х10-4) | 13 (0,1) | SCU-800 Control unit | Чертеж |
| ICF203 (DN160CF) | 10-8* (10-10*) | ||||||
| STP603C Описание Описание Eng | 650/550 график | ISOF160/VG150 | 6,5х10-6 (5×10-8) | Чертеж | |||
| ICF203 (DN160CF) | 10-7* (10-9*) | ||||||
| STPA803C Описание | 800/520 | ISO160F/ISO160/ VG150 | 10-7* (10-9*) | 13,3 (0,1) | 270 (2) | SCU-800 Control unit | Чертеж |
| ICF203 (DN160CF) | |||||||
| STP1003 Описание Описание Eng | 1000/800 | ISO200F/ISO250F/ VG200 | 1,3х10-2 (1х10-4) | 13 (0,1) | SCU-800 Control unit | Чертеж | |
| ICF253(DN200CF) | 10-8* (10-10*) | ||||||
| STP1003C Описание Описание Eng | 1000/800 | ISO200F/ISO250F/ VG200 | 6,5х10-6 (5×10-8) | Чертеж | |||
| ICF253 (DN200CF) | 10-7* (10-9*) | ||||||
| STPA1303C Описание | 1300/800 график | ISO200F/ISO200/ ISO250/VG200/ ICF253 (DN200CF) | 10-7* (10-9*) | 1,3х10-2 (1х10-4) | 266 (2) | SCU-800 Control unit | Чертеж |
| STPA1603C Описание Описание Eng | 1600/1200 график | ISO200F/VG200/ ICF253(DN200CF) | Чертеж | ||||
| STP-iXR1606 (!1) Описание Описание Eng | 1600/1200 график | ISO200F/ISO250F/ VG200/VG250/ ICF253 (DN200CF)/ICF305 (DN250CF) | 10-7* (10-9*) | 1,3х10-2 (1х10-4) | 266 (2) | Встроенный | Чертеж |
| 1000/800 график | VG150/ISO160F/ ICF203 (DN160CF) | ||||||
| STP-iS1607 STP-iS1607C Описание Eng | 1000/600 График | ISO160F/VG150/ICF203 | 10-7 (10-9) | 10 (10-2) | 240 (1,8) | Встроенный | Чертеж |
| 1600/800 График | ISO200F/VG200/ICF253 | ||||||
| STPA2203C Описание Описание Eng | 2200/1700 | ISO250F/VG250/ ICF305 (DN250CF) | 10-7* (10-9*) | 2,7 (0,02) | 400 (3) | SCU-1600 Control unit | Чертеж |
| STP-iXR2206 (!2) Описание Описание Eng | 2200/1350 | ISO250F/VG250/ ICF305 (DN250CF) | 10-7* (10-9*) | 1,3х10-1 (1х10-3) | 266 (2) | Встроенный | |
| STP-iXA2206C Описание Описание Eng | 2200/1900 | ISO250F/VG250/ ICF305 (DN250CF) | 10-7* (10-9*) | 1,3х10-1 (1х10-3) | 266 (2) | Встроенный | Чертеж |
| STP-iS2207C Описание Eng | 2200/750 график | ISO250F/VG250/ICF305 (DN250CF) | 1x10-6* (1x10-8*) | - | 200 (1.5) | Встроенный | Чертеж |
| STP-XA2703C Описание | 2650/2050 график | ISO250F/VG250/ ICF305 (DN250CF) | 10-7* (10-9*) | - | 266 (2) | SCU-1600 Control unit | Чертеж |
| STP-iX3006 | 2300/2600 график | ISO250F/VG250/ ICF305 (СF250) | - | 133 (1) | Встроенный | Чертеж | |
| 2700/2700 график | VG300/VG350/ ISO320F/VF350/ ICF356 (CF320) | ||||||
| STP-XA3203C Описание | 3200/2300 график | ISO320F/VG300 | 10-7* (10-9*) | - | 266 (2) | SCU-1600 Control unit | Чертеж |
| STP-iXA3306 Описание Описание Eng | 2650/2050 график | IS0250F/VG250/ ICF305 (DN250CF) | - | 266 (2) | Встроенный | ||
| 3200/2300 график | IS0320F/VG300/ ICF356 (DN320CF) | ||||||
РЕКОМЕНДУЕМ |