Каталог вакуумного оборудования
STP1003– это новый вакуумный турбомолекулярный насос с магнитным подвесом ротора. Технологии Edwards позволяют получить наилучшие характеристики для различных процессов откачки. Насос предназначен для высоковакуумной откачки рабочих объемов в полупроводниковой промышленности, машиностроении, в научных приборах, в ускорителях и других системах специального назначения.
Турбомолекулярные насосы модели STP1003 производятся в двух вариантах исполнения: STP1003 стандартная версия и STP1003C химически стойкая версия.
| Модель насоса | Скорость откачки, л/с N2/H2 |
Входной фланец | Предельное остаточное давление, Па (Торр) | Макс. давление на входе, Па (Торр) | Макс. давление на выходе, Па (Торр) | Рекомендуемый контроллер | Габаритные размеры |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
STP301 Описание Описание Eng |
300/300 | ISO100F/ISO100/ VG100 |
6,5×10-6 (5×10-8) |
6,7×10-2 (5×10-4) |
13 (0,1) | SCU-350 Control unit |
Чертеж |
| ICF152 (DN100CF) | 10-8* (10-10*) |
||||||
|
STP301C Описание Описание Eng |
300/300 | ISO100F/ISO100/ VG100 |
6,5×10-6 (5×10-8) |
Чертеж | |||
| ICF152 (DN100CF) | 10-7* (10-9*) |
||||||
|
STPH301C Описание Eng |
300/200 график |
ISO100F/ISO100/ VG100/ICF152 (DN100CF) |
10-7* (10-9*) |
266 (2) | 665 (5) | SCU-800 Control unit |
|
|
STP-L301C Описание |
260/290 | ISO100K | 6,5×10-6 (5×10-8) |
6,7×10-2 (5×10-4) |
13 (0,1) | SCU-350 Control unit |
|
| ICF152 (DN100CF) | 10-8* (10-10*) |
||||||
|
STP451 Описание Описание Eng |
480/460 | ISO160F/ISO160/ VG150 |
6,5×10-6 (5×10-8) |
Чертеж | |||
| ICF203 (DN160CF) | 10-8 (10-10*) |
||||||
|
STP451C Описание Описание Eng |
480/460 | ISO160F/ISO160/ VG150 |
6,5×10-6 (5×10-8) |
Чертеж | |||
| ICF203 (DN160CF) | 10-7* (10-9*) |
||||||
|
STPH451C Описание Описание Eng |
450/300 график |
ISO160F/ISO160/ VG150/ICF203 (DN160CF) |
10-7* (10-9*) |
266 (2) | 665 (5) | SCU-800 Control unit |
|
|
STP-iX455+ блок питания IPS-240 Описание |
300/300 | IS0100/VG100 | 6,5×10-6 (5×10-8) | 1,3×10-1 (9,7×10-4) | 67 (0,5) | Встроенный | Чертеж |
| ICF152 (DN100CF) | 10-8* (10-10*) |
||||||
| 450/460 | IS0160/VG150 | 6,5×10-6 (5×10-8) |
|||||
| ICF203 (DN160CF) | 10-8* (10-10*) |
||||||
| STP-iX457 + Блок питания с дисплеем iPD-240-24V | 300/300 | VG100 ISO100 ISO100F |
6.5×10-6 (5×10-8) |
3.2×10-1 (2.4×10-3) | 133 (1) | встроенный | - |
| ICF152 (DN100CF) |
10-8 (10-10) | ||||||
| 450/460 | VG150 ISO160 ISO160F |
6.5×10-6 (5×10-8) |
|||||
| ICF203 (DN160CF) |
10-8 (10-10) | ||||||
|
STP603 Описание Описание Eng |
650/550 | ISO160F/ISO160/ VG150 |
10-7 (10-9) |
1,3×10-2 (1×10-4) |
13 (0,1) | SCU-800 Control unit |
Чертеж |
| ICF203 (DN160CF) | 10-8* (10-10*) |
||||||
|
STP603C Описание Описание Eng |
650/550 | ISOF160/VG150 | 6,5×10-6 (5×10-8) |
Чертеж | |||
| ICF203 (DN160CF) | 10-7* (10-9*) |
||||||
|
STPA803C Описание |
800/520 | ISO160F/ISO160/ VG150 |
10-7* (10-9*) |
13,3 (0,1) | 270 (2) | SCU-800 Control unit |
Чертеж |
| ICF203 (DN160CF) | |||||||
|
STP1003 Описание Описание Eng |
1000/800 | ISO200F/ISO250F/ VG200 |
1,3×10-2 (1×10-4) |
13 (0,1) | SCU-800 Control unit |
Чертеж | |
| ICF253 (DN200CF) | 10-8* (10-10*) |
||||||
|
STP1003C Описание Описание Eng |
1000/800 | ISO200F/ISO250F/ VG200 |
6,5×10-6 (5×10-8) |
Чертеж | |||
| ICF253 (DN200CF) | 10-7* (10-9*) |
||||||
|
STPA1303C Описание |
1300/800 | ISO200F/ISO200/ ISO250/VG200/ ICF253 (DN200CF) |
10-7* (10-9*) |
1,3×10-2 (1×10-4) |
266 (2) | SCU-800 Control unit |
Чертеж |
|
STPA1603C Описание Описание Eng |
1600/1200 | ISO200F/VG200/ ICF253 (DN200CF) |
Чертеж | ||||
|
STP-iXR1606 (!1) Описание Описание Eng |
1600/1200 | ISO200F/ISO250F/ VG200/VG250/ ICF253 (DN200CF)/ICF305 (DN250CF) |
10-7* (10-9*) |
1,3×10-2 (1×10-4) |
266 (2) | Встроенный | Чертеж |
| 1000/800 | VG150/ISO160F/ ICF203 (DN160CF) |
||||||
|
STP-iS1607 STP-iS1607C Описание Eng |
1000/600 График |
ISO160F/VG150/ICF203 | 10-7 (10-9) | 10 (10-2) | 240 (1,8) | Встроенный | Чертеж |
| 1600/800 График |
ISO200F/VG200/ICF253 | ||||||
|
STPA2203C Описание Описание Eng |
2200/1700 | ISO250F/VG250/ ICF305 (DN250CF) |
10-7* (10-9*) |
2,7 (0,02) | 400 (3) | SCU-1600 Control unit |
Чертеж |
|
STP-iXR2206 (!2) Описание Описание Eng |
2200/1350 | ISO250F/VG250/ ICF305 (DN250CF) |
10-7* (10-9*) |
1,3×10-1 (1×10-3) |
266 (2) | Встроенный | |
|
STP-iXA2206C Описание Описание Eng |
2200/1900 | ISO250F/VG250/ ICF305 (DN250CF) |
10-7* (10-9*) |
1,3×10-1 (1×10-3) |
266 (2) | Встроенный | Чертеж |
|
STP-iS2207C Описание Eng |
2200/750 график |
ISO250F/VG250/ICF305 (DN250CF) | 1×10-6* (1×10-8*) |
- | 200 (1.5) | Встроенный | Чертеж |
|
STP-XA2703C Описание |
2650/2050 | ISO250F/VG250/ ICF305 (DN250CF) |
10-7* (10-9*) |
- | 266 (2) | SCU-1600 Control unit |
Чертеж |
| STP-iX3006 | 2300/2600 | ISO250F/VG250/ ICF305 (СF250) |
- | 133 (1) | Встроенный | Чертеж | |
| 2700/2700 | VG300/VG350/ ISO320F/VF350/ ICF356 (CF320) |
||||||
|
STP-XA3203C Описание |
3200/2300 | ISO320F/VG300 | 10-7* (10-9*) |
- | 266 (2) | SCU-1600 Control unit |
Чертеж |
|
STP-iXA3306 Описание Описание Eng |
2650/2050 | IS0250F/VG250/ ICF305 (DN250CF) |
- | 266 (2) | Встроенный | ||
| 3200/2300 | IS0320F/VG300/ ICF356 (DN320CF) |