HSR

Компания HSR AG (Лихтенштейн) образована в 1999 году специалистами всемирно известной корпорации BALZERS. Компания вышла на рынок с разработанной и запатентованной линейкой криогенных насосов, превосходящих по ряду характеристик аналогичные насосы других производителей.

Верность лучшим традициям Balzers гарантирует безупречное качество и надёжность продукции, своевременность поставок, что так хорошо знакомо и высоко ценилось клиентами по всему миру на протяжении десятилетий. Сотрудники компании HSR обладают громадным опытом разработки и производства вакуумной и криогенной техники, постоянно совершенствуют свой профессионализм, что выражается в уникальных технических решениях выпускаемой продукции.

Ассортимент компании включает в себя разработку и производство следующих видов продукции:

  • Криогенные насосы с типоразмерами от DN 100 до DN 1250;
  • Криостаты, криопанели, криоловушки;
  • Паромасляные диффузионные насосы с типоразмерами от DN 40 до DN 1000;
  • Высоковакуумные тарельчатые клапаны с типоразмерами DN 250 до DN 1000;
  • Ручные или полностью автоматические откачные посты на базе диффузионных наосов;
  • Титановые сублимационные насосы;
  • Специальные крионасосы для процессов магнетронного распыления;
  • Специальные крионасосы с повышенной скоростью откачки по различным газам, в т.ч. ксенону;
  • Нестандартные изделия по техническому заданию заказчика.

Недавно на мировом рынке была представлена новейшая линейка криогенных насосов для магнетронного распыления VELCO SPUTTER. Особенностью этих крионасосов является специально разработанная конструкция, позволяющего избежать называемого «эффекта аргоновой памяти», сохранить скорость откачки и эффективность насоса при повышенных давлениях и больших потоках аргона вплоть до 1000 см3/мин. Насосы новой серии доступны с типоразмерами DN 250, DN 320 и DN 400. Корпус насоса выполнен из алюминия, а сами насосы доступны как в корпусной версии, так и в исполнении без корпуса.

Другим уникальным продуктом компании являются универсальные ловушки HSR MULTIBAFFLE. Разработана для использования всех охлаждающих носителей: вода, газовые хладагенты, жидкий азот. Новая конструкция обеспечивает высочайшую скорость откачки паров воды, а также проводимость (такую же, как и в простых водяных ловушках). Внутренне устройство оптимизировано для полного исключения обратного тока масла из диффузионных насосов. В настоящее время доступны типоразмеры ловушек от DN 250 до DN 630. Ловушки могут использоваться не только как для предотвращения миграции паров масла из диффузионных насосов, но и как дополнительный насос для откачки паров воды при использовании совместно с турбомолекулярными насосами.

Новейшей разработкой компании являются защитные ловушки для турбомолекулярных насосов Protection Baffle HSB. Ловушки предназначены для защиты турбомолекулярных насосов от осаждения на лопатки роторов продуктов газовыделения с находящихся в камере объектов, а также осаждения покрытий в процессах нанесения тонких плёнок. Конструкция ловушки разборная и состоит из корпуса и съёмного картриджа, что позволяет производить его очистку от загрязнений без отстыковки насоса от камеры. Ловушки работают со всеми охлаждающими средами: вода, газовые хладагенты, жидкий азот. Доступные типоразмеры от DN100 до DN320.


Пересчитать
x