Применение клапанов и затворов по сериям

A Затворы и маятниковые затворы

№ серии	Уровень вакуума	Применение
01.0	UHV	Универсальные затворы для изоляции в сверхвысоковакуумных (UHV) системах или других требовательных приложениях.
01.2	Vacuum	Универсальные затворы для изоляции в вакуумных системах.
08	Vacuum	Универсальные затворы, имеющие ограничения на габаритные размеры и применение стандартных фланцев, предназначенные для изоляции в вакуумных системах.
09	HV	Затворы для изоляции в вакуумных насосах с высокими требованиями. Особенно подходят для применения с большим содержанием побочного продукта в газовом потоке.
10	UHV	Стандартные сверхвысоковакуумные (UHV) затворы для изоляции и использования в области научных исследований и промышленности.
11	HV	Универсальные затворы для изоляции в высоковакуумных системах. Чаще используются в насосах.
12	Vacuum	Стандартные вакуумные затворы для изоляции и использования в области научных исследований и промышленности.
14	HV	Универсальные затворы для изоляции в высоко- и низковакуумных системах. Особенно подходят для промышленных процессов.
15	Vacuum, HV, UHV	Изоляционные затворы для вакуумных систем с высокой чувствительностью к частицам и вибрации.
16.2	HV	Клапаны, применимые при требовании компактной конструкции Особенно подходят для коррозионных процессов.
16.8	HV	Клапаны большого диаметра, применимые при требовании компактной конструкции. Особенно подходят для больших напылительных систем и систем производства FPD.
17	HV	Изоляционные затворы для “грязных” процессов.
19	Vacuum, HV, UHV	Изоляционные затворы большого диаметра для применения в области научных исследований и промышленных процессов. Особенно подходят для применения в системах имитации космического пространства.
20.0 / 20.2	UHV	Компактные изоляционные клапаны для процессов в чистых средах.
20.3 / 20.4	HV	Компактные изоляционные клапаны для процессов в грязных и агрессивных средах.
48	XHV	Изоляционные затворы, применяемые в экстремально сверхвысоковакуумных (UHV) системах при высокой температуре или агрессивной среде.

№ серии

Уровень вакуума

Применение

01.0

UHV

Универсальные затворы для изоляции в сверхвысоковакуумных (UHV) системах или других требовательных приложениях.

01.2

Vacuum

Универсальные затворы для изоляции в вакуумных системах.

Vacuum

Универсальные затворы, имеющие ограничения на габаритные размеры и применение стандартных фланцев, предназначенные для изоляции в вакуумных системах.

Затворы для изоляции в вакуумных насосах с высокими требованиями. Особенно подходят для применения с большим содержанием побочного продукта в газовом потоке.

UHV

Стандартные сверхвысоковакуумные (UHV) затворы для изоляции и использования в области научных исследований и промышленности.

Универсальные затворы для изоляции в высоковакуумных системах. Чаще используются в насосах.

Vacuum

Стандартные вакуумные затворы для изоляции и использования в области научных исследований и промышленности.

Универсальные затворы для изоляции в высоко- и низковакуумных системах. Особенно подходят для промышленных процессов.

Vacuum, HV, UHV

Изоляционные затворы для вакуумных систем с высокой чувствительностью к частицам и вибрации.

16.2

Клапаны, применимые при требовании компактной конструкции Особенно подходят для коррозионных процессов.

16.8

Клапаны большого диаметра, применимые при требовании компактной конструкции. Особенно подходят для больших напылительных систем и систем производства FPD.

Изоляционные затворы для “грязных” процессов.

Vacuum, HV, UHV

Изоляционные затворы большого диаметра для применения в области научных исследований и промышленных процессов. Особенно подходят для применения в системах имитации космического пространства.

20.0 / 20.2

UHV

Компактные изоляционные клапаны для процессов в чистых средах.

20.3 / 20.4

Компактные изоляционные клапаны для процессов в грязных и агрессивных средах.

XHV

Изоляционные затворы, применяемые в экстремально сверхвысоковакуумных (UHV) системах при высокой температуре или агрессивной среде.

B Управляемые затворы

№ серии	Уровень вакуума	Применение
61.2	HV	Управляемые затворы для регулировки выходного давления для SEMI, FPD, PV, SOLAR и промышленных процессов. Оптимально подходят для быстрых и ресурсоемких процессов, например CVD.
61.5	HV	Управляемые дисковые поворотные затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления и изоляции.
64.2	HV	Управляемые затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления и изоляции.
65.0/65.2	HV	Управляемый маятниковый затвор с интегрированным контроллером для регулировки давления и изоляции.

№ серии

Уровень вакуума

Применение

61.2

Управляемые затворы для регулировки выходного давления для SEMI, FPD, PV, SOLAR и промышленных процессов. Оптимально подходят для быстрых и ресурсоемких процессов, например CVD.

61.5

Управляемые дисковые поворотные затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления и изоляции.

64.2

Управляемые затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления и изоляции.

65.0/65.2

Управляемый маятниковый затвор с интегрированным контроллером для регулировки давления и изоляции.

C Трансферные щелевые затворы для полупроводниковых систем (SEMI)

№ серии	Уровень вакуума	Применение
02.2/03.2	HV	Изоляция шлюзовой загрузочной и технологической камеры в полупроводниковой промышленности для подложек 200 мм, 300 мм, 450 мм.
04.3/05.3	HV	Изоляция перегрузочной (шлюзовой) и технологической камеры в полупроводниковой промышленности для подложек 200 мм, 300 мм, 450 мм. Применимы для коррозийных процессов (травление или CVD процесс), производства HB-LED светодиодов.
07.6		Изоляция шлюзовой загрузочной камеры со стороны атмосферы в полупроводниковой промышленности для подложек 200 мм, 300 мм, 450 мм.

№ серии

Уровень вакуума

Применение

02.2/03.2

Изоляция шлюзовой загрузочной и технологической камеры в полупроводниковой промышленности для подложек 200 мм, 300 мм, 450 мм.

04.3/05.3

Изоляция перегрузочной (шлюзовой) и технологической камеры в полупроводниковой промышленности для подложек 200 мм, 300 мм, 450 мм. Применимы для коррозийных процессов (травление или CVD процесс), производства HB-LED светодиодов.

07.6

Изоляция шлюзовой загрузочной камеры со стороны атмосферы в полупроводниковой промышленности для подложек 200 мм, 300 мм, 450 мм.

D Трансферные щелевые затворы для производства плоских панелей дисплеев и фотоэлектрических панелей (FPD и PV)

№ серии	Уровень вакуума	Применение
02.4	Vacuum	Производство FPD (плоских панелей дисплеев) до поколения 6. Затворы применимы для использования в условиях высокого вакуума, например в системах парофазного осаждения для металлорганических соединений.
02.7	Vacuum	Системы напыления с непрерывной подачей.
06.0	Vacuum	Производство плоских панелей дисплеев до поколения 11.
06.6	Vacuum	Производство PV (фотоэлектрических панелей) и больших напылительных установок.
06.8	Vacuum	Производство PV (фотоэлектрических панелей) и больших напылительных установок.
07.5/07.8	Vacuum	Производство FPD и PV (фотоэлектрических и плоских панелей дисплеев).

№ серии

Уровень вакуума

Применение

02.4

Vacuum

Производство FPD (плоских панелей дисплеев) до поколения 6. Затворы применимы для использования в условиях высокого вакуума, например в системах парофазного осаждения для металлорганических соединений.

02.7

Vacuum

Системы напыления с непрерывной подачей.

06.0

Vacuum

Производство плоских панелей дисплеев до поколения 11.

06.6

Vacuum

Производство PV (фотоэлектрических панелей) и больших напылительных установок.

06.8

Vacuum

Производство PV (фотоэлектрических панелей) и больших напылительных установок.

07.5/07.8

Vacuum

Производство FPD и PV (фотоэлектрических и плоских панелей дисплеев).

E Угловые, проходные, диафрагменные клапаны и вентили

№ серии	Уровень вакуума	Применение
22	Vacuum	Для изоляции форвакуумной магистрали и грубого дросселирования газов и жидкостей.
24	Vacuum	Для откачки и продувки в вакуумных системах с большим газовым потоком.
26	HV	Для откачки и продувки в высоковакуумных системах.
26	HV	Для откачки и продувки в высоковакуумных системах, в которых не предусмотрена подача сжатого воздуха.
28	UHV	Для откачки и продувки в сверхвысоковакуумных системах, где требуется низкое газовыделение. Применимо для большинства коррозионных газов.
29	Vacuum, HV	Для откачки и продувки в сверхвысоковакуумных системах, в которых важны низкий уровень турбулентности и смещения подложки, малое количество привнесенных частиц и конденсации.
25	HV	Для откачки и продувки в высоковакуумных системах, где важна максимальная проводимость. Для жестких условий эксплуатации (высокая коррозионная стойкость).
54	XHV	Для вакуумных процессов с требованиями экстремально высокого вакуума.
57	XHV	Для вакуумных процессов с требованиями экстремально высокого вакуума и/или при использовании агрессивных сред.
59	XHV	Впускной газовый клапан (натекатель) для контроля давления малых газовых потоков.

№ серии

Уровень вакуума

Применение

Vacuum

Для изоляции форвакуумной магистрали и грубого дросселирования газов и жидкостей.

Vacuum

Для откачки и продувки в вакуумных системах с большим газовым потоком.

Для откачки и продувки в высоковакуумных системах.

Для откачки и продувки в высоковакуумных системах, в которых не предусмотрена подача сжатого воздуха.

UHV

Для откачки и продувки в сверхвысоковакуумных системах, где требуется низкое газовыделение. Применимо для большинства коррозионных газов.

Vacuum, HV

Для откачки и продувки в сверхвысоковакуумных системах, в которых важны низкий уровень турбулентности и смещения подложки, малое количество привнесенных частиц и конденсации.

Для откачки и продувки в высоковакуумных системах, где важна максимальная проводимость. Для жестких условий эксплуатации (высокая коррозионная стойкость).

XHV

Для вакуумных процессов с требованиями экстремально высокого вакуума.

XHV

Для вакуумных процессов с требованиями экстремально высокого вакуума и/или при использовании агрессивных сред.

XHV

Впускной газовый клапан (натекатель) для контроля давления малых газовых потоков.

F Специальные затворы для ускорителей и синхротронов

№ серии	Уровень вакуума	Применение
47	XHV	RF затвор для кольцевых накопителей в ускорителях и синхротронах. Изолирующие затворы в линиях передач СВЧ.
75/77	HV	Для сохранения вакуума в ускорителях и кольцевых накопителях в случае прорыва атмосферы.
79	HV	Отсечная задвижка пучка для широкого применения, например отсечение пучка фотонов.

№ серии

Уровень вакуума

Применение

XHV

RF затвор для кольцевых накопителей в ускорителях и синхротронах. Изолирующие затворы в линиях передач СВЧ.

75/77

Для сохранения вакуума в ускорителях и кольцевых накопителях в случае прорыва атмосферы.

Отсечная задвижка пучка для широкого применения, например отсечение пучка фотонов.

G Специальные клапаны и затворы для газов

№ серии	Уровень вакуума	Применение
01.0	UHV	Затворы для понижения давления в газовых процессах и анализа остаточных газов в базовом давлении при открытом клапане.
27	HV	Затворы для процессов с агрессивными и коррозийными газами.
62	HV	Управляемые изоляционные клапаны регулировки давления для процессов с высокой температурой и высоким давлением (SEMI, MOCVD).
66.0/66.3	HV	Клапаны для процессов с агрессивными и коррозийными газами.
67	HV	Управляемые изоляционные клапаны регулировки давления для SEMI и FPD процессов, если требуются симметричные газовые потоки. Оптимальное решение для высокотехнологичных процессов.

№ серии

Уровень вакуума

Применение

01.0

UHV

Затворы для понижения давления в газовых процессах и анализа остаточных газов в базовом давлении при открытом клапане.

Затворы для процессов с агрессивными и коррозийными газами.

Управляемые изоляционные клапаны регулировки давления для процессов с высокой температурой и высоким давлением (SEMI, MOCVD).

66.0/66.3

Клапаны для процессов с агрессивными и коррозийными газами.

Управляемые изоляционные клапаны регулировки давления для SEMI и FPD процессов, если требуются симметричные газовые потоки. Оптимальное решение для высокотехнологичных процессов.

Vacuum – Вакуум (> 1·10^-7 мбар)
НV – Высокий вакуум (> 1·10^-8 мбар)
UHV – Сверхвысокий вакуум (> 1·10^-10 мбар)
XHV – Экстремально высокий вакуум (< 1·10^-10 мбар)