НОВОСТИ

	

Новый дизайн Swing Cathode™

12.10.2017

Популярная модель Swing Cathode™ производства компании Sputtering Components (SCI) теперь доступна и в компактном дизайне. Меньший размер обеспечивает бо́льшую гибкость в конструкции вакуумной камеры и позволяет использовать большее количество катодов в системе.

Swing Cathodes™ применяется совместно с цилиндрическими мишенями и статическими подложками и имеет магнетрон с программируемым поворотным движением. Вращение магнетрона осуществляется независимо от вращения мишени, что делает Swing Cathodes™ идеальными для 3D-покрытий.

Новая модель Swing Cathode™ CM, рассчитанная на мощность до 20 кВт постоянного тока и 80 кГц  переменного тока, обеспечивает работу с мишенями размером 80 мм (ID) длиной до 1 м и 125 мм (ID) длиной до 0,65 м. Кроме того, так же как и предыдущие модели данной серии, новая модель использует магнетронную головку (end block), которая монтируется с внешней стороны вакуумной камеры. Swing Cathode™ CM также имеет запатентованную бесколлекторную систему энергоснабжения SCI и функцию подключения водяного охлаждения. Бесщеточная конструкция исключает загрязнение и необходимость замены щеток, а функция подключения дополнительно уменьшает время смены мишеней.

Как и все магнетронные головки SCI, Swing Cathode™ CM оснащены долговечными вакуумными уплотнениями вращательных соединений. Таким образом, данная линейка оборудования обеспечивает быстрое и легкое техническое обслуживание и не требует ремонта на заводе производителя. Кроме того программное обеспечение SCI Swing-DUOTM (Dynamic Uniformity Optimization) моделирует и оптимизирует профиль движения, используемый для управления перемещением магнитных сборок SCI.