НОВОСТИ

	

Новая функция аппроксимации демпфированной синусоиды в системах kSA 400 RHEED

21.08.2018

Аналитическая система kSA 400 RHEED производства компании k-Space Associates Inc. теперь оснащена новой функцией аппроксимации демпфированной синусоиды для измерения скорости роста от RHEED осцилляций интенсивности в режимах реального времени и пост-обработке данных. Новый метод автоматически рассчитывает начальные приближения подгоняемых параметров, таким образом обеспечивая более надежные результаты аппроксимации с минимальным участием пользователя.

В случае послойного роста, интенсивность RHEED пятен колеблется с периодом, равным времени осаждения одного монослоя. Такие осцилляции можно аппроксимировать функцией демпфированной синусоиды для определения скорости роста материала в монослоях/сек или нм/сек (при условии, что известна толщина монослоя). Система kSA 400 использует метод наименьших квадратов, который требует начальные приближения параметров аппроксимирующей функции. Внедряя упрощенную модель автоматического расчета таких приближений, новый kSA анализ демпфированной синусоиды обеспечивает более быструю и надежную аппроксимацию. Он также обеспечивает хорошую работу с сильно изменяющимися фонами.

Аналитические системы kSA 400 RHEED используются во всем мире для приложений молекулярно-пучковой эпитаксии, импульсного лазерного напыления, распыления и других процессов тонкопленочного осаждения.