Размер насоса (л/с) | 0.2-3 | 3-20 | 20-75 | 100+ |
Процессы в промышленности и медицине |
Радиолокация | ● | | | |
Лампы бегущей волны | ● | | | |
Клистроны | ● | | | |
Ренгеновские трубки | ● | ● | | |
Лечение и диагностика | | ● | ● | |
Полупроводниковая промышленность |
Сканирующие электронные микроскопы | | ● | ● | |
Литография | | | ● | ● |
Измерения |
Электронные микроскопы | | ● | ● | |
Сфокусированные ионные пучки | | ● | ● | |
Сканирующие зондовые микроскопы | | ● | ● | ● |
Анализ поверхности | | | ● | ● |
Масс-спектрометрия | | | ● | ● |
Молекулярно-пучковая эпитаксия | | | ● | ● |
Физика высоких энергий |
Ускорители частиц | | | ● | ● |
Усилители | | | ● | ● |
Накопители | | | ● | ● |
Тракт пучка | | | ● | ● |
Приемники | | | ● | ● |
Лазеры на свободных электронах | | | ● | ● |
Лазерные интерферометры | | | ● | ● |