Высоковакуумные затворы предназначены для работы с давлением вплоть до 10^-8 мбар. Конструктивной особенностью высоковакуумных затворов является флуороэластомерное уплотнение заслонки, а также герметизация сильфоном штока. Благодаря такой конструкции затворы просты в обслуживании, надежны, и поэтому пользуются большой популярностью. К данной категории относятся затворы для грязных процессов, затворы бюджетной ценовой группы, затворы для чистых вакуумных систем, маятниковые затворы для агрессивных сред, затворы для напылительных систем, поворотные компактные затворы, а также вакуумные затворы больших диаметров.

Наименование	Описание	Тип соединения	Типоразмер фланцев	Подробная информация
VAT серия 091 (Серия 09)	Высоковакуумные затворы (HV) для “грязных” процессов	NW, ISO-F, CF	50÷250	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 110 (Серия 11)	Высоковакуумные (HV) затворы с сильфонным уплотнением штока из бюджетной ценовой группы	ISO-F, CF	63÷320	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 141 (Серия 14.1)	Высоковакуумные затворы (HV) для промышленных процессов Снят с производства (См. VAT серия 140)	ISO-F, CF	63÷320	PDF Eng
VAT серия 140 (Серия 14.0)	Высоковакуумные затворы (HV) больших диаметров для промышленных процессов	ISO-F, CF, ASA, JIS	63-400	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 151 (Серия 15.1)	Высоковакуумные (HV) затворы для чистых вакуумных систем с пониженным уровнем частиц механического износа	ISO-F, CF	63÷250	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 162 (Серия 16.2)	Высоковакуумные (HV) маятниковые затворы для агрессивных сред с пониженным уровнем частиц механического износа	ISO-F	63÷550	PDF RUS PDF Eng
VAT серия 168 (Серия 16.8)	Высоковакуумные (HV) маятниковые затворы для напылительных систем и систем производства FPD	ISO-F	400÷500	PDF RUS PDF Eng
VAT серия 172 (Серия 17.2)	Высоковакуумные (HV) затворы для “грязных” процессов с подпружиненной блокировкой уплотнения и портом продувки Снят с производства	ISO-F, CF, ASA, JIS	40÷320	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 174 (Серия 17.4)	Высоковакуумные (HV) затворы для “грязных” процессов с подпружиненной блокировкой уплотнения и портом продувки	NW, ISO-F, CF	40÷50	PDF Eng
VAT серия 191 (Серия 19.1)	Высоковакуумные (HV) затворы больших диаметров	ISO-F	400÷800	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 203 (Серия 20.3)	Высоковакуумные (HV) поворотные компактные затворы типа «VATTERFLY» (с пневматическим приводом)	ISO-F, CF	63÷80	PDF RUS PDF Eng
VAT серия 204 (Серия 20.4)	Высоковакуумные (HV) поворотные компактные затворы типа «VATTERFLY» (с пневматическим приводом, удлинённым корпусом)	ISO-F, CF	63÷100	PDF RUS PDF Eng
VAT cерия 210	Высоковакуумные (HV) дисковые поворотные затворы типа «Butterfly»	ISO-F	63÷250	PDF Rus PDF Eng