Сверхвысоковакуумные затворы предназначены для работы с давлением до 10-10 мбар. Конструктивно такие затворы отличаются металлическим и сильфонным уплотнением корпуса, сильфонным вводом движения и флуороэластомерным уплотнением заслонки. В затворах для экстремально сверхвысокого вакуума используется металлические и сильфонные уплотнения корпуса, и металлические уплотнения заслонки технологии VATRING(R). Благодаря такой конструкции затворы имеют низкое выделение газов. В данную категорию входят мини затворы, (встраиваемые затворы с DIN фланцем, универсальные отсечные затворы, затворы для чистых вакуумных систем, а также затворы больших диаметров).
Наименование | Описание | Тип соединения | Типоразмер фланцев | Подробная информация |
---|---|---|---|---|
Серия 010 (Серия 01.0) | Затворы для анализа газов и снижения давления/Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы малого диаметра общего назначения | NW, CF | 25÷50 | PDF Rus PDF Eng |
VAT серия 108 (Серия 10) | Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы универсального применения | ISO-F, CF | 63÷320 | PDF RUS PDF Eng |
VAT серия 152 (Серия 15.2) | Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы для чистых вакуумных систем с пониженным уровнем частиц механического износа | ISO-F, CF | 63÷200 | PDF PDF Eng |
VAT серия 192 (Серия 19.2) | Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы больших диаметров от DN 400 | ISO-F | 400 ÷ 1250 | PDF Rus PDF Eng |
VAT серия 200 (Серия 20.0) | Сверхвысоковакуумные (UHV) поворотные компактные затворы типа “Vatterfly” (с ручным приводом) | ISO-F, CF-F | 63 ÷ 160 | PDF Rus PDF Eng |
VAT серия 202 (Серия 20.2) | Сверхвысоковакуумные (UHV) поворотные компактные затворы типа “Vatterfly” (с ручным приводом, увеличенной высотой фланца) | ISO-F, CF-F | 63 ÷ 160 | PDF Rus PDF Eng |
VAT серия 481 (Серия 48) | Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы для агрессивных сред | ISO-F, CF | 63÷200 | PDF Rus PDF Eng |
VAT серия 482 (Серия 48) | Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы для агрессивных сред | CF-F | 63 ÷ 160 | PDF Rus PDF Eng |
VAT серия 640 (Серия 64) | Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы c 3-х позиционным пневматическим клапаном для дросселирования и изоляции | ISO-F, CF-F, ASA-LP, ASA-150, JIS | 63 ÷ 400 | PDF Rus PDF Eng |