Щелевые затворы применяются для лабораторных нужд при исследовании поверхностей материалов, нанесении тонких плёнок и при производстве полупроводниковых устройств, плоских дисплеев (FPD).
К данной категории затворов относятся затворы для полупроводниковых систем, также различные типы больших затворов для производства плоских панелей дисплеев и фотоэлектрических панелей. Все затворы VAT для полупроводниковой промышленности обладают запатентованными технологиями конструкций и уплотнений. Например, затворы серий 02/03, 02.4, 02.7 отличаются запатентованным уплотнением MONOVAT ®, такая конструкция позволяет снизить износ уплотнения и снизить концентрацию инородных частиц износа уплотнения в камере.. Более подробно о технологиях VAT, используемых для щелевых затворов, можно узнать у наших специалистов.
Наименование | Описание | Тип соединения | Типоразмер фланцев | Подробная информация |
---|---|---|---|---|
Щелевые затворы для полупроводниковых систем VAT | ||||
VAT серия 022/032 (Серия 02.2/03.2) | Щелевые затворы MONOVAT для подложек 200 / 300 / 450 мм | SEMI E21-94, SEMI E21.1-1296 | 32x222 ÷ 100x500мм | PDF Eng |
VAT серия 043/053 (Серия 04.3/05.3) | Щелевые затворы L-MOTION для полупроводниковых процессов | SEMI E21.1-1296 | 50x336 ÷ 100x800 мм | PDF Eng |
VAT cерия 076 (Серия 07.6) | Щелевые затворы L-VAT для шлюзовой загрузочной камеры для установки на атмосферу | SEMI E21.1-1296 | 50x236 ÷ 56x496мм | PDF Eng |
Щелевые затворы для производства плоских панелей дисплеев и фотоэлектрических панелей VAT | ||||
VAT серия 024 (Серия 02.4) | Большие щелевые затворы MONOVAT для производства плоских панелей дисплеев | щель | 50x500 ÷ 150x1250 мм | PDF Eng |
VAT серия 027 (Серия 02.7) | Щелевые затворы MONOVAT типа Roll-to-Roll для непрерывной подачи материала в системах напыления | щель | 50x300 ÷ 50x1250 мм | PDF Eng |
VAT серия 060 (Серия 06.0) | Большие щелевые затворы XL-VAT для производства плоских панелей дисплеев | щель | 100x1300 ÷ 300x3000 мм | PDF Eng |
VAT серия 066 (Серия 06.6) | Большие щелевые затворы SolVAT для производства фотоэлектрических панелей и больших напылительных установок | щель | 50x500 ÷ 300x3000 мм | PDF Eng |
VAT серия 068 (Серия 06.8) | Большие щелевые затворы FlapVAT для производства фотоэлектрических панелей и больших напылительных установок | щель | 50x500 ÷ 100x3000 мм | PDF Eng |
VAT серия 075 (Серия 07.5) | Большие встраиваемые затворы L-VAT для производства плоских панелей дисплеев и фотоэлектрических панелей | - | 25x560 ÷ 80x3500 мм | PDF Eng |
VAT серия 078 (Серия 07.8 «small») | Большие встраиваемые затворы L-VAT для производства плоских панелей дисплеев и фотоэлектрических панелей | - | 81x800 ÷ 200x1200 мм | PDF Eng |
Серия 07.8 | Большие встраиваемые затворы L-VAT для производства плоских панелей дисплеев и фотоэлектрических панелей | - | 81x800 ÷ 250x3000 мм | PDF Eng |