Каталог вакуумного оборудования
Таблица серий VAT
В связи с переходом компанией VAT в 2018 году с трехзначного обозначения серий к двухзначному соответствие серий указано в таблице ниже.
| Cерия VAT до 2016 г. | Серия VAT 2016-2018 гг. | Серия VAT c 2018 г. | Описание |
|---|---|---|---|
| 01.0 | 010 | 01.0 | Затворы для анализа газов и снижения давления/Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы малого диаметра общего назначения |
| 01.2 | 012 | 01.2 | Вакуумные затворы малого диаметра общего назначения из бюджетной ценовой группы |
| - | - | 02.1/03.1 | Высоковакуумные (HV) встраиваемые щелевые затворы MONOVAT для полупроводникового производства |
| 02/03 (02.2/03.2) | 022/032 | 02.2/03.2 | Щелевые затворы MONOVAT для подложек 200/300/450 мм |
| 02.4 | 024 | 02.4 | Большие щелевые затворы MONOVAT для производства плоских панелей дисплеев |
| 02.7 | 027 | 02.7 | Щелевые затворы MONOVAT типа Roll-to-Roll для непрерывной подачи материала в системах напыления |
| - | - | 04.1/05.1 | Высоковакуумные (HV) щелевые затворы L-VAT для полупроводникового производства. |
| - | - | 04.2/05.2 | Высоковакуумные (HV) щелевые затворы L-VAT для полупроводникового производства. |
| 04/05 (04.3/05.3) | 043/053 | 04.3/05.3 | Щелевые затворы L-MOTION для полупроводниковых процессов |
| 06.0 | 060 | 06.0/06.2 | Большие щелевые затворы XL-VAT для производства плоских панелей дисплеев |
| - | - | 06.1 | Большие щелевые затворы TwinVAT для производства плоских панелей дисплеев. |
| 06.6 | 066 | 06.6 | Большие щелевые затворы SolVAT для производства фотоэлектрических панелей и больших напылительных установок |
| 06.8 | 068 | 06.8 | Большие щелевые затворы FlapVAT для производства фотоэлектрических панелей и больших напылительных установок |
| 07.5 | 075 | 07.5/07.8 | Большие встраиваемые затворы L-VAT для производства плоских панелей дисплеев и фотоэлектрических панелей |
| 07.6 | 076 | - | Щелевые затворы L-VAT для шлюзовой загрузочной камеры для установки на атмосферу |
| 07.8 | 078 | 07.5/07.8> | Большие встраиваемые затворы L-VAT для производства плоских панелей дисплеев и фотоэлектрических панелей |
| 08 | 081 | 08.1/08.2 | Встраиваемые узко профильные затворы с DIN фланцем |
| 09 | 091 | 09.1 | Высоковакуумные (HV) затворы для “грязных” процессов |
| 10 | 108 | 10/8 | Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы универсального применения |
| 11 | 110 | 11.0 | Высоковакуумные (HV) затворы с сильфонным уплотнением штока из бюджетной ценовой группы |
| 12 | 121 | 12.1 | Отсечные вакуумные затворы универсального применения из бюджетной ценовой группы |
| 14.0 | 140 | 14.0 | Высоковакуумные затворы (HV) больших диаметров для промышленных процессов |
| 14.1 | 141 | - | Высоковакуумные затворы (HV) для промышленных процессов |
| 15.0 | 150 | 15.0/15.1/15.2 | Затворы для чистых вакуумных систем с пониженным уровнем частиц механического износа |
| 15.1 | 151 | 15.0/15.1/15.2 | Высоковакуумные (HV) затворы для чистых вакуумных систем с пониженным уровнем частиц механического износа |
| 15.2 | 152 | 15.0/15.1/15.2 | Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы для чистых вакуумных систем с пониженным уровнем частиц механического износа |
| 16.2 | 162 | 16.2 | Высоковакуумные (HV) маятниковые затворы для агрессивных сред с пониженным уровнем частиц механического износа |
| 16.8 | 168 | 16.8 | Высоковакуумные (HV) маятниковые затворы для напылительных систем и систем производства FPD |
| 17 (17.2, 17.4) | - | 17.2 | Высоковакуумные (HV) затворы для “грязных” процессов с подпружиненной блокировкой уплотнения и портом продувки |
| 19.0 | 190 | 19.0/19.1/19.2 | Вакуумные затворы больших диаметров |
| 19.1 | 191 | 19.0/19.1/19.2 | Высоковакуумные (HV) затворы больших диаметров |
| 19.2 | 192 | 19.0/19.1/19.2 | Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы больших диаметров от DN 400 |
| 20.0 | 200 | - | Сверхвысоковакуумные (UHV) поворотные компактные затворы типа “Vatterfly” (с ручным приводом) |
| 20.2 | 202 | - | Сверхвысоковакуумные (UHV) поворотные компактные затворы типа “Vatterfly” (с ручным приводом, увеличенной высотой фланца) |
| 20.3/20.4 | 203/204 | 20.3/20.4 | Высоковакуумные (HV) поворотные компактные затворы типа “Vatterfly” (с пневматическим приводом)/ (с пневматическим приводом, удлинённым корпусом) |
| - | 210 | 21.0 | Высоковакуумные (HV) дисковые поворотные затворы типа “Butterfly” |
| - | 211 | 21.1 | Натекатель с функцией клапана |
| - | 212 | 21.2 | Предохранительные клапаны пружинного принципа действия |
| - | 213 | 21.3 | Клапаны напуска |
| - | 214 | - | Угловые и проходные клапаны малого диаметра |
| - | 216 | - | Угловые и проходные малогабаритные клапаны |
| - | - | 21.7 | Клапан отсечной предохранительный |
| - | 218 | - | Вакуумные шаровые клапаны |
| 22 | 220 | 22.0 | Диафрагменные вакуумные клапаны |
| - | - | 23.0 | Система, состоящая из отсечного механизма клапана и откачного порта, для редко откачиваемых вакуумных систем. |
| 24 | 244 | 24.4/24.5 | Угловые вакуумные клапаны со скользящим уплотнением штока и ручным или пневматическим приводом |
| 245 | 24.4/24.5 | Проходные вакуумные клапаны со скользящим уплотнением штока и ручным или пневматическим приводом | |
| 25.0 | 250 | 25.0/25.1/25.2 | Угловые высоковакуумные (HV) клапаны с цилиндрическим механизмом затвора со скользящим уплотнением штока |
| 25.1 | 251 | 25.0/25.1/25.2 | Проходные высоковакуумные (HV) клапаны со скользящим уплотнением штока |
| 25.2 | 252 | 25.0/25.1/25.2 | Высоковакуумные (HV) клапаны с цилиндрическим механизмом затвора и ходом 3/2 оборота со скользящим уплотнением штока |
| 26 | 263 | - | Угловые высоковакуумные (HV) клапаны с сильфонным уплотнением штока и высокой пропускной способностью |
| 264 | 26.4/26.5 | Угловые высоковакуумные (HV) клапаны с сильфонным уплотнением штока и пневматическим или электромагнитным или ручным приводом | |
| 265 | 26.4/26.5 | Проходные высоковакуумные (HV) клапаны с сильфонным уплотнением штока, с пневматическим, электромагнитным и ручным приводом | |
| 27 | - | 27.1 | Угловые химические вакуумные клапаны для агрессивных сред |
| 28 | 284 | 28.4 | Угловые сверхвысоковакуумные (UHV) клапаны с вращающимися фланцами CF-R |
| 29 | 290 | 29.0/29.2 | Угловые вакуумные клапаны с функцией плавной откачки с сильфонным уплотнением штока |
| 291 | - | Проходные вакуумные клапаны с функцией плавной откачки с сильфонным уплотнением штока | |
| 292 | 29.0/29.2 | Угловые вакуумные клапаны с функцией плавной откачки | |
| 31 | 311 | 31.1 | Дроссельный клапан плавного старта |
| 47 | 471 | 47.1/47.2 | Полностью металлические RF затворы для применения в СВЧ волноводах |
| 472 | 47.1/47.2 | Экстремально высоковакуумные (XHV) полностью металлические ВЧ затворы для применения с ВЧ контактом или волноводом | |
| 48 | 481 | 48.1/48.2 | Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы для агрессивных сред |
| 482 | 48.1/48.2 | Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы для агрессивных сред | |
| 54 | 541 | 54.1 | Угловые полностью металлические легко закрываемые экстремально высоковакуумные (ХHV) клапаны с сильфонным уплотнением штока |
| 57 | 570 | 57.0/57.1 | Угловые полностью металлические легко закрываемые экстремально высоковакуумные (ХHV) клапаны с увеличенным ресурсом |
| 571 | 57.0/57.1 | Угловые полностью металлические легко закрываемые экстремально (ХHV) с увеличенным ресурсом | |
| 59 | 590 | 59.0 | Сверхвысоковакуумные (UHV) полностью металлические натекатели |
| 61.2 | 612 | 61.2 | Высоковакуумные (HV) управляемые дисковые поворотные затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления |
| 61.5 | 615 | 61.5 | Высоковакуумные (HV) управляемые дисковые поворотные затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления и отсечки |
| 62 | - | 62.0 | Управляемые угловые вакуумные клапаны для высоких температур и высоких давлений |
| - | - | 62.7 | Дозирующий клапан для требовательных к входящему потоку процессов. |
| 64 | 642 | 64.2 | Высоковакуумные (HV) управляемые шиберные затворы с интегрированным контроллером и шаговым двигателем для регулировки давления и изоляции |
| 640 | - | Сверхвысоковакуумные (UHV) затворы c 3-х позиционным пневматическим клапаном для дросселирования и изоляции | |
| - | - | 64.8 | Сверхвысоковакуумные (UHV) управляемые шиберные затворы с интегрированным контроллером и шаговым двигателем для регулировки давления и отсечки |
| 65.0 | 650 | 65.0 | Высоковакуумные (HV) управляемые маятниковые затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления и отсечки |
| 65.1 | 651 | 65.1 | Высоковакуумные (HV) управляемые маятниковые затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления (с расширенным диапазоном) и изоляции |
| 65.2 | 652 | 65.2 | Высоковакуумные (HV) управляемые маятниковые затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления и отсечки с расширенным диапазоном регулирования |
| - | - | 65.5 | Высоковакуумные (HV) управляемые маятниковые затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления и отсечки с расширенным диапазоном регулирования |
| 66.0 | 660 | 66.0/66.3 | Управляемые угловые химические угловые вакуумные клапаны для агрессивных сред |
| 66.3 | 663 | 66.0/66.3 | Управляемые угловые химические угловые вакуумные клапаны для агрессивных сред |
| 67 | - | 67.0 | Управляемые затворы для организации симметричных газовых потоков |
| 75.0 | 750 | 75.0/75.2 | Высоковакуумные (HV) быстрозакрывающиеся изолирующие затворы с миллисекундным временем срабатывания (откидные) |
| 75.2 | 752 | 75.0/75.2 | Высоковакуумные (HV) быстрозакрывающиеся изолирующие затворы с миллисекундным временем срабатывания |
| 77.1 | 771 | 77.1/77.3 | Полностью металлические быстрозакрывающиеся изолирующие затворы с миллисекундным временем срабатывания |
| 77.3 | 773 | 77.1/77.3 | Быстрозакрывающиеся изолирующие затворы с миллисекундным временем срабатывания (линейный тип привода) |
| 79 | 790 | 79.0/79.3 | Высоковакуумные (HV) полностью металлические отсечные задвижки тракта пучка |
| 793 | 79.0/79.3 | Высоковакуумные (HV) полностью металлические отсечные задвижки тракта пучка (без корпуса) | |
| - | - | 92.0 | Встраиваемые изолирующие затворы L-VAT для анализа поверхностей и полупроводникового производства |
| - | - | 94.0 | Специальные щелевые затворы L-MOTION и L-VAT для полупроводникового производства |
| - | - | 94.5 | Специальные щелевые затворы L-VAT для полупроводникового производства |
| 95.1 | 951 | 95.1/95.2 | Высоковакуумные (HV) комбинированные затворы (управляемый и изолирующий затвор в одном корпусе) |
| 95.2 | 952 | 95.1/95.2 | Высоковакуумные (HV) комбинированные затворы (управляемый и изолирующий затвор в одном корпусе) |