Крионасосы серии SHI SICERA™

Крионасосы серии SICERA™ имеют уникально низкое энергопотребление по сравнению с другими типами высоковакуумных насосов, используемых в полупроводниковом производстве, производстве плоских дисплеев и связанных с ними. В крионасосах SICERA™ используется запатентованная инвертерная технология, уменьшающая энергопотребление на 20-30%. Уникальные мультинасосная система позволяет запускать до шести насосов от одного компрессора без ухудшения их откачных характеристик, что делает их уникальными для массового производства полупроводниковых пластин.

Комплект поставки крионасосов SICERA™ включает компрессор и контроллер удаленного управления, которые обеспечивают самые высокие требования вакуумных применений. Постоянный контроль параметров работы крионасоса и компрессора позволяет получить наиболее надежную систему криогенной откачки со значительной экономией энергии одновременно с исключительной стабильностью температуры и быстроты действия.

Особенности:

  • Чрезвычайно низкое энергопотребление;
  • Мультинасосная система;
  • Полностью автоматическая регенерация;
  • Стабильные откачные характеристики;

Модель насосаSICERA 8"SICERA 12"
Присоединительный фланец, Ду200250
Скорость откачки, л/сПо воздуху15003300
По воде40009500
По аргону12002700
По водороду22006000
Максимальный поток аргона, торр·л/с8,8
Емкость, стандартные литрыАргон10002000
Водород1630
Параметр запуска, торр·л150
Энергопотребление, кВт0,91,5
Масса, кг3240
КомпрессорCSW-61C/D


Пересчитать
x