Интек Аналитика представляет ловушки компании MassVac для защиты технологического оборудования в тех процессах, где возможна конденсация и образование твердых частиц.

Высокопроизводительные многосекционные ловушки MultiiTrap предназначены для установки на входе и выходе вакуумного насоса. Они предотвращают повреждения оборудования, вызванные образованием в линии конденсата и твердых частиц для процессов:

• LPCVD;
• PECVD;
• ALD;
• Etch;
• Ion I mplant;
• MOCVD;
• HVPE.