В практически любой вакуумной камере есть необходимость в управлении последовательностью откачки, которая осуществляется с помощью вакуумных клапанов. Высоковакуумные клапаны предназначены для работы с давлением вплоть до 10^-8 мбар. По статистике этот самый распространенный диапазон давления в вакуумных установках. .Конструктивно высоковакуумные клапаны отличаются флуороэластомерным уплотнением (Viton ®) корпуса и тарелки и сильфонным уплотнением штока. Благодаря такой конструкции клапаны просты в обслуживании, надежны, и поэтому пользуются большой популярностью. Вакуумные клапаны с ручным приводом можно использовать так же для грубого дросселирования газового потока.

Серия	Описание	Тип соединения	Типоразмер фланцев	Тип привода	Подробная информация
VAT серия 23	Система отсечного механизма клапана и откачного порта	NW	16÷40	механизм клапана со самостопорящимся маховиком	PDF Eng
VAT cерия 250 (VAT серия 25.0)	Угловые высоковакуумные (HV) клапаны с цилиндрическим механизмом затвора и скользящим уплотнением штока	NW	16÷40	Пневматический	PDF Rus PDF Eng
VAT cерия 251 (VAT серия 25.1)	Проходные высоковакуумные (HV) клапаны со скользящим уплотнением штока	NW	16÷40	Пневматический	PDF Rus PDF Eng
VAT cерия 252 (VAT серия 25.2)	Высоковакуумные (HV) клапаны с цилиндрическим механизмом затвора и ходом на 3/2 оборота со скользящим уплотнением штока	NW	16÷40	Пневматический	PDF Rus PDF Eng
VAT cерия 263 (VAT серия 26)	Угловые высоковакуумные (HV) клапаны с сильфонным уплотнением штока и высокой пропускной способностью (с 2016 года объединена с серией 264)	NW, ISO-K	100÷160	Ручной, пневматический, электромагнитный	PDF Rus PDF Eng
VAT cерия 264 (VAT серия 26)	Угловые высоковакуумные (HV) клапаны с сильфонным уплотнением штока и ручным или пневматическим или электромагнитным приводом	NW, ISO-K	10÷250	Ручной, пневматический, электромагнитный	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 265 (VAT cерия 26)	Проходные высоковакуумные (HV) клапаны с сильфонным уплотнением штока, с пневматическим, электромагнитным и ручным приводом	NW, ISO-K	10÷250	Ручной, пневматический, электромагнитный	PDF Rus PDF Eng
VAT cерия 290 (VAT серия 29)	Угловые вакуумные клапаны с функцией плавной откачки с сильфонным уплотнением штока	NW, ISO-K	25÷80	Пневматический	PDF Rus PDF Eng
VAT cерия 291 (VAT серия 29)	Проходные вакуумные клапаны с функцией плавной откачки с сильфонным уплотнением штока	NW	25÷50, 80	Пневматический	PDF Rus PDF Eng
VAT cерия 292 (VAT серия 29)	Угловые вакуумные клапаны с функцией плавной откачки	ISO-K	100÷160	Пневматический	PDF Rus PDF Eng
VAT Серия 212	Предохранительные клапаны пружинного принципа действия	NW	16	-	PDF Rus PDF Eng
VAT Серия 213	Клапаны напуска	NW	10	Электромагнитный, ручной	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 214	Угловые и проходные клапаны малого диаметра	NW, OD*	ø5/M14×1	Электромагнитный	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 216	Угловые и проходные малогабаритные клапаны	NW, OD*	ø5/M14×1, 16÷40, 63÷160	Ручной, пневматический, Электропневматический, электромагнитный	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 217 (VAT серия 21.7)	Клапан отсечной предохранительный	NW	16÷100	Электромагнитный	PDF Rus PDF Eng
VAT серия 23	Система отсечного механизма клапана и откачного порта	NW	16÷40	механизм клапана со самостопорящимся маховиком	PDF Eng
Edwards PVPK	Угловые и проходные вакуумные электропневматические клапаны	NW	16÷50	Пневматический	PDF Eng
Edwards PVEK	Угловые и проходные вакуумные электромагнитные клапаны	NW	10÷40	Электромагнитный	PDF Eng
Edwards PVMK	Угловые и проходные вакуумные клапаны с сильфонным уплотнением штока	NW	16÷40	Ручной	PDF Rus PDF Eng
Edwards IPVMK	Проходные вакуумные клапаны с сильфонным уплотнением штока	NW	16÷40	Ручной	PDF Rus PDF Eng