Сверхвысоковакуумные клапаны предназначены для работы с давлением вплоть до 10^-10 мбар. Конструктивно сверхвысоковакуумные клапаны отличаются металлическим уплотнением корпуса, сильфонным уплотнением штока и флуороэластомерным уплотнением (Viton ®, возможен Kalrez ®) тарелки. Благодаря такой конструкции клапаны имеют очень низкое выделение газов, а также имеют умеренную коррозионную стойкость и подходят для работы с большинством коррозионных газов.

Серия	Описание	Тип соединения	Типоразмер фланцев	Тип привода	Подробная информация
VAT cерия 284 (VAT серия 28)	Угловые сверхвысоковакуумные (UHV) клапаны вращающимися фланцами CF-R	CF	16÷63	Ручной, пневматический	PDF PDF Eng