Каталог вакуумного оборудования

Вакуумные клапаны для химической и полупроводниковой промышленности

В данную категорию входят химические и управляемые вакуумные клапаны.

Химические вакуумные клапаны предназначены для работы с агрессивными или коррозионными средами. Высокая коррозионная стойкость клапана достигается использованием политетрафторэтилена для уплотнения тарелки и перфторвинилэтера или меди для уплотнения корпуса.

Управляемые вакуумные клапаны предназначены для автоматического контроля давления в вакуумной камере за счет дросселирования сечения откачки. В качестве привода в таких клапанах используется шаговый электродвигатель.

СерияОписаниеТип соединенияТипоразмер фланцев Тип приводаПодробная информация

VAT cерия 271
(VAT cерия 27.1)
Угловые химические вакуумные клапаны для агрессивных средтрубка16÷160ПневматическийPDF Eng
PDF Rus

VAT серия 62
Управляемые угловые вакуумные клапаны для высоких температур и высоких давленийISO100Шаговый двигательPDF Eng

VAT cерия 627
Клапан дозирования газаNW, M14x15 ÷ 16Электромагнитный, Шаговый двигательPDF Rus
PDF Eng

VAT серия 66.0
Управляемые угловые химические вакуумные клапаны для агрессивных средNW16÷50Ручной, Шаговый двигательPDF Eng

VAT серия 66.3
Управляемые угловые химические вакуумные клапаны для агрессивных сред CF40÷100Шаговый двигательPDF Eng


Пересчитать
x