В процессах, где требуется экстремальный вакуум, используются полностью металлические клапаны, предназначенные для работы с давлением ниже 10^-10 мбар. Конструктивно это достигается тем, что не используется пластик и резина для уплотнения – шток уплотняется с помощью сильфона, тарелка и корпус с помощью металлического уплотнения. Благодаря такой конструкции клапаны имеют очень низкое выделение газов, могут прогреваться до температуры 300°C и выше, имеют высокую коррозионную и радиационную стойкость, однако они требуют более частого обслуживания, по сравнению с клапанами с флуороэластомерным уплотнением тарелки.

Серия	Описание	Тип соединения	Типоразмер фланцев	Тип привода	Подробная информация
VAT серия 541 (VAT серия 54)	Угловые полностью металлические легко закрываемые экстремально высоковакуумные (ХHV) клапаны с сильфонным уплотнением штока	CF	16÷63	Ручной	PDF PDF Eng
VAT серия 570 VAT серия 57	Угловые полностью металлические легко закрываемые экстремально высоковакуумные (XHV) клапаны с увеличенным ресурсом	CF	63÷160	Ручной, пневматический	PDF PDF Eng
VAT серия 571 VAT серия 57	Угловые полностью металлические легко закрываемые экстремально высоковакуумные (ХHV) клапаны с увеличенным ресурсом	CF	10÷40	Ручной, пневматический	PDF PDF Eng