Каталог вакуумного оборудования

Вакуумные датчики Barocel 65x

Вакуумные датчики Barocel модели 655, 658, 659 – это вакуумные мембранно-емкостные преобразователи, которые измеряют давление с высокой точностью в пределах рабочего диапазона (4 декады). Принцип действия датчиков основан на преобразовании изменения электрической емкости в электрический сигнал, пропорциональный давлению в вакуумной камере. Патентованная конструкция датчиков позволяет устранить нежелательные эффекты, связанные с перепадами давления и повышенным содержанием водяных паров, в откачиваемой парогазовой среде. Термостабилизация датчика способствует улучшению точности показаний и снижает погрешность измерений.

Точность измерения датчиков Barocel не зависит от рода газа. Они могут измерять давления конденсируемых сред, химически активных сред, а также сред с повышенным уровнем загрязнения. И даже радиоактивные вещества не могут повлиять на точность показаний прибора. Вакуумные датчики Barocel являются отличной заменой датчикам Пирани, термопарным датчикам и вакуумметрам Мак-Леода. Они способны измерять давления вблизи атмосферного предела, что делает их идеальными для барометрических приложений.

Для увеличения срока службы в мембранно-емкостных датчиках Barocel используется встроенный геттер, поглощающий газовый поток, который испускается материалами самого датчика.

Достоинства

Широкий диапазон измерений;
Малая погрешность измерений:

0,15% в рабочем диапазоне.

Высокое разрешение:

менее 0,005% во всем диапазоне.

Контроль изменения температуры:

Температура во внутренней области может доходить до 45°С, 100°С и 123°С (зависит от модели датчика);
Стабильность нулевого значения порядка 0,002 %/°С во всем диапазоне измерений.

Стойкость к превышению давления:

Погрешность снижается всего на 0,01% после воздействия давления 2,4 бар.

Независимость от рода газа;
Высокий уровень выходного сигнала:

0-10 В постоянного тока во всем диапазоне, линейная зависимость.

Совместимость со многими устройствами ввода/вывода;
Стойкость к химически активным средам:

Материалы, контактирующие с вакуумом: Inconel/Monel.

Название характеристики	Значение
Диапазон измеряемых давлений	0-50, 0-100 м Торр 0-1, 0-2, 0-5, 0-10, 0-100 Торр и мбар 0-1000 Торр
Относительная погрешность	±0,15%
Повторяемость	±0,01%во всем диапазоне
Разрешение	более чем ±0.005% во всем диапазоне
Время выхода на режим	2 часа
Температура внутри датчика 655 658 659	45°C 100°C 123°C
Рабочая температура окружающей среды 655 658 659	+15 – +40°С +15 – +70°С +15 – +70°С
Температура хранения	+45 – +85°С
Дрейф нуля, связанный с температурными эффектами >1 Торр ≤1 Торр	<0,002 %/°C во всем диапазоне << 0,005 %/°C во всем диапазоне
Влияние температуры на чувствительность	0,02 %/°C при считывании
Влияние барометрического давления	<0,005 % во всем диапазоне при давлении 760 Торр
Влияние относительной влажности (0-95%)	<0,005% во всем диапазоне
Предел превышения давления	3,1 бар
Уровень течи	Менее 1x10^-10 см³/с при давлении 760 Торр
Материалы контактирующие с вакуумом	Инконель и монель, нержавеющая сталь 316 (для вакуумных соединений)
Внутренний объём	8,33 см³
Постоянная времени	8 мсек
Напряжение питания	±15 В d.c ., ±5% регулируемое с точностью 1%
Ток 655 658 659	250 мА (max) 500 мА (max) 700 мА (max)
Выходной сигнал	0-10 В постоянного тока., линейно возрастающий с ростом давления
Выходной импеданс	<0,1Ω
Шумы на выходе	<0,002 % во всем диапазоне
Вес	0,55 кг
Соответствие стандартам Электронное устройство Электромагнитная совместимость	EN 6 1010-1 EN 61326 (класс A для излучений)

Пересчитать