Вакуумные датчики Barocel 65x

Вакуумные датчики Barocel модели 655, 658, 659 – это вакуумные мембранно-емкостные преобразователи, которые измеряют давление с высокой точностью в пределах рабочего диапазона (4 декады). Принцип действия датчиков основан на преобразовании изменения электрической емкости в электрический сигнал, пропорциональный давлению в вакуумной камере. Патентованная конструкция датчиков позволяет устранить нежелательные эффекты, связанные с перепадами давления и повышенным содержанием водяных паров, в откачиваемой парогазовой среде. Термостабилизация датчика способствует улучшению точности показаний и снижает погрешность измерений. 

Точность измерения датчиков Barocel не зависит от рода газа. Они могут измерять давления конденсируемых сред, химически активных сред, а также сред с повышенным уровнем загрязнения. И даже радиоактивные вещества не могут повлиять на точность показаний прибора. Вакуумные датчики Barocel являются отличной заменой датчикам Пирани, термопарным датчикам и вакуумметрам Мак-Леода. Они способны измерять давления вблизи атмосферного предела, что делает их идеальными для барометрических приложений. 

Для увеличения срока службы в мембранно-емкостных датчиках Barocel используется встроенный геттер, поглощающий газовый поток, который испускается материалами самого датчика.

Достоинства

  • Широкий диапазон измерений;
  • Малая погрешность измерений:
    • 0,15% в рабочем диапазоне.
  • Высокое разрешение:
    • менее 0,005% во всем диапазоне.
  • Контроль изменения температуры:
    • Температура во внутренней области может доходить до 45°С, 100°С и 123°С (зависит от модели датчика);
    • Стабильность нулевого значения порядка 0,002 %/°С во всем диапазоне измерений.
  • Стойкость к превышению давления:
    • Погрешность снижается всего на 0,01% после воздействия давления 2,4 бар.
  • Независимость от рода газа;
  • Высокий уровень выходного сигнала:
    • 0-10 В постоянного тока во всем диапазоне, линейная зависимость.
  • Совместимость со многими устройствами ввода/вывода;
  • Стойкость к химически активным средам:
    • Материалы, контактирующие с вакуумом: Inconel/Monel.

 
Название характеристики Значение
Диапазон измеряемых давлений 0-50, 0-100 м Торр
0-1, 0-2, 0-5, 0-10, 0-100 Торр и мбар
0-1000 Торр
Относительная погрешность ±0,15%
Повторяемость ±0,01%во всем диапазоне
Разрешение более чем ±0.005% во всем диапазоне
Время выхода на режим 2 часа
Температура внутри датчика
655
658
659

45°C
100°C
123°C
Рабочая температура окружающей среды
655
658
659

+15 – +40°С
+15 – +70°С
+15 – +70°С
Температура хранения +45 – +85°С
Дрейф нуля, связанный с температурными эффектами
>1 Торр
≤1 Торр

<0,002 %/°C во всем диапазоне
<< 0,005 %/°C во всем диапазоне
Влияние температуры на чувствительность 0,02 %/°C при считывании
Влияние барометрического давления <0,005 % во всем диапазоне при давлении 760 Торр
Влияние относительной влажности (0-95%) <0,005% во всем диапазоне
Предел превышения давления 3,1 бар
Уровень течи Менее 1x10-10 см3/с при давлении 760 Торр
Материалы контактирующие с вакуумом Инконель и монель, нержавеющая сталь 316 (для вакуумных соединений)
Внутренний объём 8,33 см3
Постоянная времени 8 мсек
Напряжение питания ±15 В d.c ., ±5% регулируемое с точностью 1%
Ток
655
658
659

250 мА (max)
500 мА (max)
700 мА (max)
Выходной сигнал 0-10 В постоянного тока., линейно возрастающий с ростом давления
Выходной импеданс <0,1Ω
Шумы на выходе <0,002 % во всем диапазоне
Вес 0,55 кг
Соответствие стандартам
Электронное устройство
Электромагнитная совместимость

EN 6 1010-1
EN 61326 (класс A для излучений)

Пересчитать
x