Мембранно-емкостной вакуумный датчик CMC

Датчик мембранный CMC – это температурно- скомпенсированный преобразователь абсолютного давления, обеспечивающий точные и повторяемые измерения вакуума вне зависимости от состава измеряемой среды. Полностью сварная конструкция датчика мембранного и такой материал, как Inconel гарантируют надежную работу даже в процессах с агрессивными средами, например, при нанесении тонких пленок.

В зависимости от варианта исполнения датчик мембранный CMC предлагает диапазоны полной шкалы от 10 до 1000 Торр. Датчик мембранный CMC обеспечивает исключительные характеристики в широком диапазоне рабочих температур, тем самым предлагая альтернативу другим более известным и дорогим непрогреваемым датчикам, причем датчик мембранный CMC на 40% меньше, чем стандартные датчики подобного типа.

Достоинства:

  • На 40% меньше стандартных непрогреваемых мембранно- емкостных датчиков;
  • Высокая точность на уровне дорогостоящих датчиков подобного типа;
  • Полностью сварная конструкция и материал Inconel, обеспечивающие стабильные характеристики.

 
Название характеристики Значение
Диапазон измеряемых давлений 0-10, 0-20, 0-50, 0-100, 0-500, 0-1000 Торр; 0-10, 0-20, 0-100, 0-1000 мбар; 0-1,333, 0-13,33, 0-133,3 кПа.
Относительная погрешность
- Тип А
- Тип B

±0,25%
±0,5%
Разрешение Бесконечно, ограничено выходным шумом ≤0,0006% полной шкалы
Влияние температуры
- На ноль
- На шкалу

±0,005%/°С
±0,027%/°С
Время отклика 20 мс
Рабочая температура 0 – 80°С
Скомпенсированная температура 0 – 50°С
Максимальное давление 3 бар
Материалы контактирующие с вакуумом Inconel, нержавеющая сталь 316 (для вакуумных соединений)
Напряжение питания ±12 – 30 В постоянного тока
Выходной сигнал 0-10 В постоянного тока
Потребляемая мощность < 200 мВт
Электрическое соединение D-SUB 15 контактов, D-SUB 9 контактов, терминальный блок 5 контактов
Вес 0,137 кг

Пересчитать
x