Управляемые затворы

Управляемые затворы предназначены для перекрытия вакуумных магистралей и отделения одного вакуумного объема от другого в автоматическом режиме, а также для управления проводимостью за счет изменения сечения. У некоторых управляемых затворов есть опция обратной связи по сигналу от системы измерения вакуума в камере. Затвор диафрагмирует сечение откачки. Это эффективное решение для процессов, идущих при фиксированном давлении и потоке газа. К данной категории относятся дисковые поворотные затворы с интегрированным контроллером, шиберные затворы с интегрированным контроллером, маятниковые затворы с интегрированным контроллером, и также комбинированные затворы. Также к этой категории относятся контроллеры для затворов 61, 62, 64, 65, 67, 95 серий с функцией управления. Контроллеры применяются для приема сигналов с вакуумных датчиков, обеспечения заданного напряжения питания на электрическом входе шагового двигателя шиберных затворов и дистанционно-автоматического управления открытием/закрытием затворов.

НаименованиеОписаниеТип соединенияТипоразмер фланцевПодробная информация

VAT серия 612
(Серия 61.2)
Управляемые дисковые поворотные затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления NW, ISO-F25÷250PDF Eng
VAT серия 615
Серия 61.5
Управляемые дисковые поворотные затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления и отсечкиNW, ISO-F40÷100PDF Eng

VAT серия 641
Контроллеры PM-4/PM-5 для затворов VAT серий 640 и 642--PDF Eng

VAT серия 642
(Серия 64)
Управляемые шиберные затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления и отсечкиISO-F, CF63÷400PDF Eng

VAT серия 650
(Серия 65.0)
Управляемые маятниковые затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления и отсечкиISO-F100÷400PDF Eng

VAT серия 651
(Серия 65.1)
Управляемые маятниковые затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления (с расширенным диапазоном) и изоляцииISO-F, JIS160 ÷ 400PDF Eng

VAT серия 652
(Серия 65.2)
Управляемые маятниковые затворы с интегрированным контроллером для регулировки давления и отсечки с расширенным диапазоном регулированияISO-F200÷250PDF Eng

VAT серия 951
(Серия 95.1)
Комбинированные затворы (управляемый и изолирующий затвор в одном корпусе)NW50PDF Eng

VAT серия 952
(Серия 95.2)
Комбинированные затворы (управляемый и изолирующий затвор в одном корпусе)ISO-F80 ÷ 250PDF Eng
-Контроллеры для затворов серий 61, 62, 64, 65, 67, 95 с функцией управления-- PDF Eng


Пересчитать
x