Щелевые затворы

Щелевые затворы применяются для лабораторных нужд при исследовании поверхностей материалов, нанесении тонких плёнок и при производстве полупроводниковых устройств, плоских дисплеев (FPD).

К данной категории затворов относятся затворы для полупроводниковых систем, также различные типы больших затворов для производства плоских панелей дисплеев и фотоэлектрических панелей. Все затворы VAT для полупроводниковой промышленности обладают запатентованными технологиями конструкций и уплотнений. Например, затворы серий 02/03, 02.4, 02.7 отличаются запатентованным уплотнением MONOVAT ®, такая конструкция позволяет снизить износ уплотнения и снизить концентрацию инородных частиц износа уплотнения в камере.. Более подробно о технологиях VAT, используемых для щелевых затворов, можно узнать у наших специалистов.

НаименованиеОписание Тип соединенияТипоразмер фланцев Подробная информация
Щелевые затворы для полупроводниковых систем VAT

Серия 02/03
Щелевые затворы MONOVAT для подложек 200 / 300 / 450 ммSEMI E21-94, SEMI E21.1-129632x222 ÷ 100x500ммPDF Eng

Серия 04/05
Щелевые затворы L-MOTION для полупроводниковых процессовSEMI E21.1-1296 50x336 ÷ 100x800 ммPDF Eng

Серия 07.6
Щелевые затворы L-VAT для шлюзовой загрузочной камеры для установки на атмосферу SEMI E21.1-129650x236 ÷ 56x496ммPDF Eng
Щелевые затворы для производства плоских панелей дисплеев и фотоэлектрических панелей VAT

VAT серия 024
(Серия 02.4)
Большие щелевые затворы MONOVAT для производства плоских панелей дисплеев щель50x500 ÷ 150x1250 ммPDF Eng

VAT серия 027
(Серия 02.7)
Щелевые затворы MONOVAT типа Roll-to-Roll для непрерывной подачи материала в системах напылениящель50x300 ÷ 50x1250 ммPDF Eng

VAT серия 060
(Серия 06.0)
Большие щелевые затворы XL-VAT для производства плоских панелей дисплеевщель100x1300 ÷ 300x3000 ммPDF Eng

VAT серия 066
(Серия 06.6)
Большие щелевые затворы SolVAT для производства фотоэлектрических панелей и больших напылительных установокщель50x500 ÷ 300x3000 ммPDF Eng

VAT серия 068
(Серия 06.8)
Большие щелевые затворы FlapVAT для производства фотоэлектрических панелей и больших напылительных установокщель50x500 ÷ 100x3000 ммPDF Eng

VAT серия 075
(Серия 07.5)
Большие встраиваемые затворы L-VAT для производства плоских панелей дисплеев и фотоэлектрических панелей-25x560 ÷ 80x3500 ммPDF Eng

VAT серия 078
(Серия 07.8 «small»)
Большие встраиваемые затворы L-VAT для производства плоских панелей дисплеев и фотоэлектрических панелей-81x800 ÷ 200x1200 ммPDF Eng

Серия 07.8
Большие встраиваемые затворы L-VAT для производства плоских панелей дисплеев и фотоэлектрических панелей-81x800 ÷ 250x3000 ммPDF Eng


Пересчитать
x