Детали контроллеров жидкостного потока серии LF200 выполнены из фторопласта, который является химически инертным и устойчивым к растворению. Данная конструкция позволяет использовать регуляторы серии LF200 для управления потоками чистых и особо чистых жидкостей, деионизированной воды (и др. типов особо-чистой воды), кислот, щелочей и прочего. К тому же прямая линия потока позволяет измерять двухфазные вещества, такие как CMP шламы, приложение поперечных сил к которым может повредить их или стать причиной агломераций. Устройства серии LF200 используют метод измерения времени прохождения ультразвуковой волны в прямом и обратном направлениях для определения скорости потока жидкости. Применение ультразвукового способа измерения и передовых алгоритмов обработки сигнала обеспечивают высокую точность измерения расхода и превосходный контроль даже при наличии пузырьков в жидкости.
Тип | Модель | Тип клапана | Пропускная способность,мл/мин | Точность | Макс. давление, psig | Входы/ выходы | Питание |
---|---|---|---|---|---|---|---|
Регулятор расхода жидкости | LF200 | Игольчатый | 50-500 | +/-1% от заданного значения | 60 | 0-5 В,
4-20 мА, 0-10 В, RS485 | 24 В, 0,5 А |
Регулятор расхода жидкости | LF205 | Пережимной | 50-1000 | +/-1% от заданного значения | 45 | 0-5 В,
4-20 мА, 0-10 В, RS485 | 24 В, 0,5 А |
Регулятор расхода жидкости | LF210 | Игольчатый | 150-500 | +/-3% от заданного значения | 60 | 0-5 В,
4-20 мА, 0-10 В, RS485 | 24 В, 0,5 А |
Регулятор расхода жидкости | LF215 | Пережимной | 150-1000 | +/-3% от заданного значения | 45 | 0-5 В,
4-20 мА, 0-10 В, RS485 | 24 В, 0,5 А |