Каталог вакуумного оборудования

Многоступенчатые рутс/когтевые насосы серии GX

Серия многоступенчатых рутс/когтевых насосов GX производительностью до 100 м3/час или в комбинации с бустером производительностью до 800 м3/час сохраняет в себе все достоинства когтевых насосов, дополняя их высокой производительностью и неприхотливостью в обслуживании механизма Рутса используемого в качестве первой ступени пятиступенчатого вала со специальным патентованным дизайном когтевого механизма. Встроенная система управления скоростью вращения в зависимости от нагрузки обеспечивает оптимально экономичный режим работы двигателя. Серия разработана для быстрой откачки рабочих объемов с атмосферы в том числе с большим содержанием водяных паров (до нескольких л/мин) и поддержания требуемого уровня вакуума при введении в рабочий объем инертных или агрессивных газов потоком до десятков л/мин. Данная серия насосов является наилучшей в своем классе по минимальным размерам и энергопотреблению при аналогичной производительности.

Серия имеет два варианта исполнения: L-вариант – для откачки объемов с атмосферы и работы с инертными газовыми средами (без применения азота в качестве продувочного газа) и N-вариант для работы с агрессивными и токсичными газами (с применением программируемого потока азота для разбавления входных газов до нижних пределов самовоспламенения). Система встроенного управления температурой внутри насоса обеспечивает линейный температурный профиль обеспечивающий предотвращение осаждение легкоконденсирующихся газов и оптимальный режим работы подшипников, что гарантирует максимальный срок работы насоса без проведения планового периодического обслуживания – до 10 лет в зависимости от характеристик откачиваемых газовых смесей.

Достоинства:

  • Минимальное потребление энергоносителей среди подобных систем:
    • возможность регулирования величины расхода азота;
    • регулирование скорости откачки (до 20% экономии по электроэнергии);
    • функция «спящий режим» (пониженное потребление электропитания, азота и охлаждающей воды в автоматическом режиме или при поступлении соответствующего сигнала с технологического оборудования);
    • возможность «трансляции» сигнала «спящий режим» другим устройствам (системы нейтрализации газов, чиллеры и т.д.).
  • Минимальная занимаемая площадь и время выхода в рабочий режим;
  • Низкие значения шума и вибрации позволяют размещать системы в помещении класса чистоты до ISO5 включительно;
  • Управление системой откачки и периферийными устройствами, (изолирующий затвор, скруббер) непосредственно с производственного оборудования;
  • Режим «до полного разрушения»;
  • Поддержка Ethernet протоколов для организации удаленного мониторинга систем.

Области применения:

  • исследовательские вакуумные реакторы различного объема;
  • системы загрузки-выгрузки производственного и исследовательского оборудования;
  • оборудование для производства стерильных материалов;
  • вакуумные камеры технологического оборудования с использованием плазмы;
  • вакуумные камеры напылительного оборудования;
  • вакуумные камеры оборудования по производству «печатных плат»;
  • полупроводниковое технологическое оборудование с низким и средним уровнем применения агрессивных газов.

  • Пересчитать
    x