Технология жидкостной очистки является наиболее распространенным и экономически эффективным способом очистки водорастворимых или вступающих в химическую реакцию с водой отработанных технологических газов, причем данная технология основанная на физико-химических данных веществ является наиболее эффективной как с точки зрения полноты очистки так и экономической эффективности процесса.

Технология применяется для очистки большинства технологических газовых смесей используемых в процессах осаждения нитрида, травления металлов и для очистки кислотных газов.

Система Tempest является наиболее универсальной среди жидкостных скрубберов, многочисленные доработки существенно снизили ее энергоемкость и увеличили время непрерывной работы. Сотовый дизайн очистной колонны – запатентованное изобретение – позволяет обеспечить максимальное время контакта газа с водой в относительно небольшом объеме устройства. Эта же особенность позволяет минимизировать количество воды используемое системой. Особенности конструкции газовых вводов обеспечивают отсутствие контакта технологических газов с их поверхностью, тем самым обеспечивая максимальную непрерывную работоспособность среди систем применяющих данную технологию.

Возможность сегментирования реакционной колонны совместно с независимыми газовыми вводами позволяет применять систему для очистки несовместных газов с разных технологических процессов.

Функциональные особенности системы:

• От 1 до 4 независимых входов;
• Эффективная система самоочистки газовых вводов;
• Минимальные эксплуатационные расходы;
• Максимальная эффективность очистки водорастворимых и реагирующих с водой газовых смесей;
• Эффективная очистка от твердых частиц;
• Опция TMS;
• Встроенное устройство рециркуляции воды;
• Комплекс датчиков температуры, утечки воды и газа обеспечивают безопасность системы в соответствие со стандартами SEMI.
• Программируемая система управления и отображения информации о текущем состоянии системы с предупредительной и аварийной сигнализацией;
• Фронтальный доступ к обслуживанию системы минимизирует занимаемую площадь;
• Встроенный интерфейс обеспечивающий дистанционный мониторинг системы и связь с основным оборудованием.

Инсталляционные требования:

• Вытяжная вентиляция для газа: до 640 л/мин под давлением 2,5*102 - 1,2*103 Ра;
• Азот газообразный: 6 - 8 атм., 10 л/мин;
• Вода: 1,5 – 4 атм., 0,5-5 л/мин, 10-20°С, 5 МОм*см, РН= 5 – 10, Са, Mg менее 3,0 мг/л, максимальный размер частиц – 100 мкм, содержание твердых частиц не более 100ppm;
• Кислотно-щелочной слив.