Вакуумное метрологическое оборудование служит для измерения и индикации давления, создаваемого в вакуумной системе и является незаменимой частью любой вакуумной системы от низкого до сверхвысокого вакуума.

Вакуумное метрологическое оборудование, как правило, включает в себя вакуумный датчик (преобразователь давления) и контроллер, обеспечивающий питание преобразователя и индикацию измеренного давления, или же вакуумметр (комбинация вакуумного датчика и контроллера в одном корпусе).

Вакуумное метрологическое оборудование на базе отдельных контроллеров и вакуумных датчиков:

В первом случае такая система дает возможность подключать несколько датчиков к одному контроллеру, тем самым выводить показания давления с нескольких приборов на один дисплей, установленный, например, в приборной панели, в то время, как сами датчики могут располагаться в труднодоступных местах. В случае выхода из строя одного из датчиков остальные компоненты системы остаются работоспособными, а несправный преобразователь требует замены. Такой вариант вакуумного метрологического оборудования используется в системах, требующих большого количества контрольных точек (от 2 и выше), измерения давления в труднодоступных местах вакуумной системы или же индикации давления на общей приборной панели. Примером такого вакуумного метрологического оборудования являются системы, построенные на базе контроллеров TIC, ADC, TAG и датчиков Edwards, контроллеров VGC-301, B-RAX 3000/3100, FlexRax 4000 и датчиков InstruTech, а также контроллеров MVC-3, Atmigraf 100 и датчиков Vacom.

Рис.1. Общий вид контроллера и вакуумных датчиков.

Помимо управления вакуумными датчиками, контроллеры TIC Turbo & Instrument и TAG способны обеспечивать питание и контролировать работу форвакуумного и турбомолекулярного насосов, а также сопутствующих аксессуаров для турбомолекулярных насосов. Это позволяет строить полноценные вакуумные системы на базе одного контроллера и использовать дополнительные функции, такие как установка давления запуска турбомолекулярного насоса, продувка турбомолекулярного насоса, прогрев входного фланца и др.

Рис.2. Пример построения вакуумной системы на базе контроллера TIC Turbo & Instruments. (A – контроллер TIC Turbo & Instruments; B – кабель питания; C – Блок реле; D, E, F – вакуумные датчики; G – форвакуумный насос; H – турбомолекулярный насос; J – обод прогрева; K – клапан продувки; L – вентилятор).

Вакуумное метрологическое оборудование на базе вакуумметров:

Системы на базе вакуумметров позволяют отображать измеренное давление на корпусе самого измерительного прибора. Как правило, такая система из одного вакуумметра является более дешевым решением, нежели система из одного вакуумного датчика и контроллера, что подходит для небольших вакуумных систем, требующих измерения давления в 1-2 точках.

Рис.3. Общий вид вакуумметров.

Исключением в приборах такого типа является ионизационный вакуумметр с горячим катодом IGM-402 компании InstruTech, способный обеспечивать работу двух форвакуумных конвекционных датчиков CVG-101. Конвекционные вакуумметры CVM-201 и CVM-211 опционально могут быть снабжены автономным блоком питания, работающим от батареек, таким образом вакуумметры могут работать без подключения к эл.сети. Несмотря на модульную конструкцию, вакуумметры имеют аналоговые и цифровые выходы, что позволяет подключать их к сторонним системам управления.

Рис.4. Пример измерительной системы на базе вакуумметра InstruTech IGM-402.

При выборе вакуумного метрологического оборудования необходимо учитывать условия и требования к эксплуатации, а также процесс, в котором предполагается использование тех или иных типов вакуумных датчиков. Так, например, ионизационные вакуумные датчики с холодным катодом не рекомендуется использовать в процессах с большим содержанием частиц масла и других загрязнений. Гораздо лучше в этих условиях себя ведут ионизационные датчики и вакуумметры с горячим катодом, такие как AIGX, IGM-400, IGM-401 и IGM-402. Если откачиваемая среда содержит взрывоопасные вещества или же большое количество паров воды, в этом случае рекомендуется использовать мембранно-емкостные вакуумные датчики CMC, XacTorr, Stera 730 и 760, которые к тому же обеспечивают минимальную погрешность измерений. Для агрессивных сред рекомендуется использовать датчики, внутренние элементы которых изготовлены из коррозионностойких материалов, таких как платина/иридий для форвакуумных датчиков и вольфрам для высоковакуумных.

Специалисты Интек Аналитика, имея большой опыт, всегда готовы подобрать вакуумное метрологическое оборудование, максимально удовлетворяющее Вашим требованиям.