Каталог вакуумного оборудования
Сверхвысоковакуумный натекатель VAT Серия 590
Сверхвысоковакуумные (UHV) натекатель VAT Серия 590 является полностью металлическим вакуумным натекателем из нержавеющей стали. Он предназначен для регулирования небольших газовых потоков. Металлическая конструкция сверхвысоковакуумного натекателя позволяет осуществлять прогрев корпуса до 300°C, а также обеспечивает его защиту от коррозионных и агрессивных газов. Сверхвысоковакуумный натекатель обеспечивает большое количество циклов срабатывания, не требуя при этом повторной смазки на всем сроке его эксплуатации. В качестве привода доступны модели с ручным приводом или с шаговым двигателем с интегрированным контроллером.
Достоинства
- Полностью металлическая конструкция;
- Защита от коррозионных и агрессивных газов;
- Прецизионная и воспроизводимая настройка газового потока.
| Название характеристики | Значение |
|---|---|
| Уровень течи: Корпус, седло натекателя |
< 1 · 10-10 мбар·л/с |
| Диапазон давления | Сверхвысокий вакуум ... 10 бар (абс) |
| Перепад давлений при открытии | ≤ 10 бар |
| Количество циклов срабатывания | 20 000 |
| Температура1 - Корпус клапана - Ручной привод - Шаговый двигатель |
≤ 300°C ≤ 300°C ≤ 50°C |
| Скорость нагрева | ≤ 60°C/ч |
| Материал - Корпус натекателя - Диафрагма |
Нержавеющая сталь AISI 660 (1.4943), AISI 316L (1.4404) Нержавеющая сталь AISI 301 (1.4310), золотое покрытие |
| Монтаж | В любом положении |
| Индикатор положения натекателя | Визуальное (шкала) |
| Проводимость (в молекулярном режиме) | 0,05 л/с |
| Диапазон настраиваемых потоков | 1 · 10-10 мбар·л/с ... 100 мбар·л/с |
| Фланец | DN16CF |
| Шаговый двигатель - Позиционное разрешение - Время закрытия |
100 000 (шаг = 0 - 90°) 3,5 с |
| Масса - Ручной привод - Шаговый двигатель |
0,94 кг 2,5 кг |
x