Edwards представляет диффузионные масла с разным давлением паров и физическими свойствами, подходящие для различных приложений. Наиболее летучие рабочие жидкости в основном применяются в бустерных пароструйных и диффузионных насосах, используемых в промышленных процессах (декоративное покрытие и вакуумные печи), где встречаются высокие газовые нагрузки и допустимо высокое форвакуумное давление. Менее летучие жидкости используются для процессов, требующих более высокого вакуума. Наименее летучие жидкости используются в чистых приложениях, требующих сверхвысокого вакуума (масс-спектрометрия, электронно-зондовые аппараты, исследования поверхности и т.д.). Выбор определенного диффузионного масла зависит также от конкретных физических и химических характеристик откачиваемой среды.

Apiezon AP201 – углеводородное диффузионное масло для бустерных паромасляных насосов, созданное с помощью молекулярной концентрации и защищенное от окисления термически стабильной добавкой. Apiezon AP201 имеет температуру самовоспламенения 305°С и обладает достаточной степенью устойчивости к химической деградации. В результате с помощью диффузионного вакуумного масла Apiezon AP201 можно откачивать большие потоки воздуха и водяного пара без ущерба для самого масла. Помимо этого Apizon AP201 способно выдержать случайный прорыв атмосферного воздуха при рабочей температуре. Диффузионное масло имеет невысокую вязкость, не вступает в реакцию с уплотнениями и прокладками вакуумной системы, не вызывает раздражений, нетоксично и является экологически чистым продуктом.

DC702, DC704EU и DC705– вакуумные масла (рабочие жидкости) для диффузионных вакуумных нассоов, представляющие собой синтетические кремнийорганические оксидные полимеры и обладающие исключительной химической стабильностью как при высокой температуре, так и при контакте с большим количеством газов и паров. Данные диффузионные жидкости обеспечивают вакуум от 10^-5 до 10^-9 мбар и, благодаря своей прочности, рекомендованы к использованию в промышленных приложениях. С помощью диффузионных масел DC возможна откачка больших потоков воздуха, водяного пара и агрессивных газов без деградации. Диффузионные масла DC способны выдерживать повторяющиеся напуски атмосферного воздуха при рабочей температуре, а также могут широко использоваться в бесклапанных быстроцикличных откачных процессах. Они обладают низкой токсичностью и хорошей устойчивостью к гамма-излучению. Продукты распада диффузионных масел DC, связанные с бомбардировкой и т.п., как правило, являются электроизоляционными, поэтому использование этих жидкостей для электронных приложений, таких как масс-спектрометры и системы анализа поверхности, не рекомендуется. Диффузионные масла DC являются нейтральными, однако, их разложение катализирует щелочные металлы (цезий), поэтому следует избегать их совместного использования.

Santovac 5. Полифениловый эфир - синтетическое масло для диффузионных вакуумных насосов, разработанное изначально в качестве смазки для космических аппаратов. Оно имеет исключительно низкое давление паров, хорошую термическую стабильность и гораздо большую вязкость, чем у других диффузионных масел. Santovac 5 используется в самых чистых процессах, требующих высокого и сверхвысокого вакуума до 10^-9 мбар (электронные микроскопы, масс-спектрометры и исследования поверхности), где необходимы хорошие характеристики вакуума и низкий уровень миграции паров масла. Диффузионное масло Santovac 5 является химически стабильным, не вызывает коррозии, безопасно и нетоксично при нормальной рабочей температуре. Продукты распада масла, связанные с бомбардировкой и т.п., как правило, электропроводящие. Santovac 5 отличается хорошими смазочными свойствами и находит применение для смазки механизмов в вакуумных системах.

Edwards L9 было разработано для использования с насосами Diffstak. Это нафталин на синтетической основе, который идеально подходит для использования в приложениях, где недопустимо применение кремнийорганических рабочих жидкостей, которые образуют изолирующие пленки. Вакуумное масло для диффузионных насосов Edwards L9 прочное, имеет очень хорошие характеристики вакуума и позволяет достигать предельного давления до 5·10^-9 мбар при 20°C. Кроме того, масло химически стабильно и устойчиво к воздействию кислот, щелочей, галогенов и оксидов азота. Оно не реагирует с наиболее часто используемыми металлами или эластомерами, не растворяется в спиртовых растворителях, ацетоне и трихлортрифторэтане, уровень токсичности Edwards L9 низкий. Указание по технике безопасности: При переходе на это масло насос должен быть очищен, после чего насос необходимо промыть ацетоном и высушить перед повторной заправкой.