Титано-сублимационный насос (TSP) часто используют в комбинации с магниторазрядным насосом или отдельно для откачки химически активных газов из вакуумной системы в качестве дополнительной ступени откачки. В комбинации с магниторазрядным насосом, насос TSP позволяет достичь более глубокого вакуума за меньшее количество времени. При эксплуатации насоса спиральный титановый катод разогревается до 1300°C, за счет чего происходит распыление титана на экран и формируется титановая пленка, которая поглощает или связывает атомы и молекулы откачиваемого газа, кроме метана и инертных газов.
Насос TSP может интегрироваться в магниторазрядный насос TiTan™ с типоразмером от 25 л/с. Для установки отдельно в вакуумную камеру потребуется свободный фланец стандарта CF160 или CF100. В общем случае, титано-сублимационный насос состоит из катодного узла TSP и соответствующего экрана, в который устанавливается катодный узел TPS. Экран может быть без дополнительного охлаждения, либо охлаждаемый жидким азотом, что увеличивает эффективность откачки. Все компоненты TSP могут быть прогреты до 400°C.
Площадь поверхности (см2) | Температура (°С) | Скорость откачки (л/с) | |||
---|---|---|---|---|---|
H2 | CO | H2O | |||
Охлаждаемый криоэкран (8”) | 709 | 20°С | 1843 | 5814 | 5176 |
1578* | -195°С | 12053 | 7799 | 23039 | |
Неохлаждаемый экран (CF200) | 827 | 20°С | 2150 | 6780 | 6037 |
Неохлаждаемый экран (CF160) | 621 | 20°С | 1614 | 5092 | 4533 |