Каталог вакуумного оборудования

Титано-сублимационный насос TSP

Титано-сублимационный насос (TSP) часто используют в комбинации с магниторазрядным насосом или отдельно для откачки химически активных газов из вакуумной системы в качестве дополнительной ступени откачки. В комбинации с магниторазрядным насосом, насос TSP позволяет достичь более глубокого вакуума за меньшее количество времени. При эксплуатации насоса спиральный титановый катод разогревается до 1300°C, за счет чего происходит распыление титана на экран и формируется титановая пленка, которая поглощает или связывает атомы и молекулы откачиваемого газа, кроме метана и инертных газов.

Насос TSP может интегрироваться в магниторазрядный насос TiTan™ с типоразмером от 25 л/с. Для установки отдельно в вакуумную камеру потребуется свободный фланец стандарта CF160 или CF100. В общем случае, титано-сублимационный насос состоит из катодного узла TSP и соответствующего экрана, в который устанавливается катодный узел TPS. Экран может быть без дополнительного охлаждения, либо охлаждаемый жидким азотом, что увеличивает эффективность откачки. Все компоненты TSP могут быть прогреты до 400°C.

Катодный узел TSP

Катодный узел TSP

Катодный узел TSP имеет фланец CF40. Электрический ввод поддерживает три катода из титано-молибденового сплава и общий канал для обеспечения развязки по земле. Каждый катод содержит 1,5 грамма распыляющегося титана; срок службы катода составляет в среднем 20 часов.

Криоэкран TSP

Криоэкран TSP

Охлаждаемый криоэкран имеет цилиндрический корпус с двойными стенками из нержавеющей стали 304L, который оснащен двумя патрубками диаметром 0,375 дюйма под компрессионный фитинг для жидкого азота. Криоэкран обеспечивает 1578 см2 площади поверхности, охлаждаемой жидким азотом, что повышает скорость откачки по водороду до 12000 л/с (см. таблицу). Криоэкран устанавливается на фланец CF200 и имеет фланец CF40 для установки катодного узла TSP.

Неохлаждаемый экран TSP

Неохлаждаемый экран TSP

Неохлаждаемый экран TSP значительно увеличивает площадь поверхности, когда охлаждение нецелесообразно или невозможно. Неохлаждаемый экран обеспечивает площадь поверхности 827 см2, имеющую температуру внешней среды, что повышает скорость откачки по водороду до 2200 л/с (см. таблицу). Неохлаждаемый экран устанавливается на фланец CF200 или CF160, специальная версия с фланцем CF40. Также, экран имеет фланец CF40 для установки катодного узла TSP.


ХАРАКТЕРНЫЕ СКОРОСТИ ОТКАЧКИ TSP

Площадь поверхности (см2)Температура (°С)Скорость откачки (л/с)
H2COH2O
Охлаждаемый криоэкран (8”)70920°С184358145176
1578*-195°С12053779923039
Неохлаждаемый экран (CF200)82720°С215067806037
Неохлаждаемый экран (CF160)62120°С161450924533
* Применимо только для H2O


Пересчитать
x