SHI SICERA™

Крионасосы серии SICERA™ имеют уникально низкое энергопотребление по сравнению с другими типами высоковакуумных насосов, используемых в полупроводниковом производстве, производстве плоских дисплеев и связанных с ними. В крионасосах SICERA™ используется запатентованная инвертерная технология, уменьшающая энергопотребление на 20-30%. Уникальные мультинасосная система позволяет запускать до шести насосов от одного компрессора без ухудшения их откачных характеристик, что делает их уникальными для массового производства полупроводниковых пластин.

Комплект поставки крионасосов SICERA™ включает компрессор и контроллер удаленного управления, которые обеспечивают самые высокие требования вакуумных применений. Постоянный контроль параметров работы крионасоса и компрессора позволяет получить наиболее надежную систему криогенной откачки со значительной экономией энергии одновременно с исключительной стабильностью температуры и быстроты действия.

Особенности:

• Чрезвычайно низкое энергопотребление;
• Мультинасосная система;
• Полностью автоматическая регенерация;
• Стабильные откачные характеристики;